无油往复活塞式真空泵的构造与往复式压缩机相同，是由泵体、气缸、气阀组件、活塞、活塞杆、十字头、连杆、曲轴等零件组成

由于通过吸附的气体输送，在范围低于10-4hPa下使用罗茨泵不再可行具有各种前级泵的泵站的抽速和极限压力表现如Figure4.19所示。该曲线清楚地表明，这种泵组合的抽速上升了8倍，其极限压力相对于前级泵下降了15倍。。

因其可以直接在大气压下启动，很多时候作为分子泵与小型低温泵的前级泵出现。

　　XG-6型干式旋片真空泵外形及安装尺寸见表3-116。

那么无油真空泵故障有哪些呢？面对这些棘手的问题，我们是否有相应的解决办法呢？　　1、泵不排液　　故障分析：灌泵不足；泵轴转向不对；滤网堵塞，底阀不灵；　　解决办法：重新灌装；调整泵轴转向；停机检查，清楚杂物；　　2、泵排液后中断　　故障分析：吸入管路漏气；灌泵时吸入侧气体未排净；吸入侧突然被异物堵塞；　　解决办法：检查吸入管连接处及机械密封的密封情况；重新按要求灌泵；停机并清理杂物；　　3、流量不足　　故障分析：管路漏气，漏液；阻力损失增加；叶轮磨损，堵塞，腐蚀；　　解决办法：重新灌装；调整泵轴转向；停机检查，清楚杂物；　　综上所述，我们可以发现即使是同一个问题，产生的原因可能也不止一个，对于无油真空泵使用者来说，这不仅增大了解决问题的难度，同时也可能耽误生产设备故障一直是设备使用过程中非常令人头疼的问题，对于无油真空泵工作者来说，面对无油真空泵故障时，我们需要像战士一样去战斗。。

①Z型系列油扩散喷射泵主要技术性能见表4-16　　　　　　　　②WZ系列卧式扩散喷射泵技术性能见表4-17　　　　该系列卧式扩散喷射泵为新型泵，具有先进的结构和优良的技术性能。主要特点：a.主泵扩散级为立式结构，喷射级为卧式，能量损失小，装拆维修方便。b.采用圆筒卧式油锅，相对方形油锅而言，油锅压力稳定。c.油锅内设有不锈钢快速水冷管，停止加热60min后，通水冷却60min即可关闭前级泵，节能降耗显著。d.设有油标观察装置，可直观地观察油量、油清洁度、油氧化程度，以便及时添加或更换油。e.特殊的前级冷凝结构，使冷凝效果好，前级反压力高。f.泵配有三点测温孔，可对该泵或真空系统实现自动启动和停泵的自动化控制。　　　　③ZL系列油扩散喷射泵技术性能见表4-18。。

这就是罗茨真空泵的分子作用原理。

在特殊泵版本（CV，可冷凝蒸汽）增加气镇吞吐量，可实现水蒸汽耐受性约为100hPa，水蒸气的能力为700至1000gmiddot，h-1，这取决于环境温度至于旋片式真空泵：在排空蒸汽前，泵体必须用气镇预热至少半个小时。较高温度的泵体减少冷凝。减少冷凝的其他方法包括获得尽可能低的出口压力及分别排出冷凝物。必须使用垂直排气管道防止出口处的背压。如有有萃取系统，应将出口与其连接。灰尘和粒子如果没有对大粒子物质的进入进行控制，在z*坏情况下，ACP系列多级罗茨泵可堵塞并彻底失效。为此，在含尘工艺或如玻璃制造中，在进气侧安装过滤器以防止造成破坏。腐蚀性气体ACP系列泵不适合于抽空大量的腐蚀性气体。在这方面多级罗茨泵可用于半导体、太阳能和涂料行业中的腐蚀性气体工艺（见第4.6节）。然而，ACP系列泵至少可用于处理少量的腐蚀性气体。

冲洗装置冲洗装置可用于在吸入室有沉积物形成的过程该装置的设计可根据具体要求与客户进行单独协调。标准泵的冲洗装置要求使用密封气体，防止冲洗液体达到轴承或齿轮室。表面保护如果要泵送的介质是腐蚀性的，可为与产品接触的部件提供耐用的表面保护。等离子聚合物薄膜层系统包括一个粘接剂层、一个防腐蚀保护层和一个非粘性涂层。层的厚度小于1mm。根据要求，吸入室可被磷酸化、使用氮排空以及进行真空密封，以便提供短期表面保护，如用于仓储和运输。密封件罗茨真空泵出厂配置FKM制成的O型圈。对于特殊的应用，所有的泵都可配置具体的O型圈或相应应用要求的密封件。。

无油往复活塞式真空泵的构造和原理与往复式压缩机相同，但它们的目的不同压缩机是为了提高气体的压强，而w型往复活塞式真窄泵则是为了降低入口气体的压强，从而得到尽可能高的真空度。无油往复活塞式真空泵的构造与往复式压缩机相同，是由泵体、气缸、气阀组件、活塞、活塞杆、十字头、连杆、曲轴等零件组成。。

当园地影响而导致循环用水压力不够时可以外加增长泵对管道增长，从而让真空泵的供水量富足从理论上来讲，真空便是不存在任何物质的空间状态。人们通常用帕斯卡或托尔做为压力的单位。而我们说到工业真空并不是指不存在任何物质的空间，以现在的科学技能还无法到达绝对的真空状态。它是指具有稀薄的气体状态气压且比一尺度大气压小的气体空间。一样平常环境，一台真空泵、一个汽水疏散器、一个真空罐和、电压力表和控制柜都可以组成一个简略的真空机组体系。但在抽宇量多的环境下可以增长几台真空泵并联利用，同样在真空罐上配有远传压力表来监控真空的变革环境，议决智能控制柜时时调解真空泵的启停，同样也可以将这套理论套用至旋片式真空泵的原理上来。。