如果需要实现较低的压力，必须在上游连接附加的罗茨真空泵

如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器mdash，mdash，水冷障板根据要求，还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀，散热器等等，这样就构成了一个较完善的高真空系统。。

③2X2-2B、2X2-4B、2X2-8D、2XZ、15D型直联旋片式真空泵特性曲线如图3-34所示。

1、国产2XZ型直连旋片式真空泵技术性能见表3-60~表3-622、国产XZ型直连旋片式真空泵技术性能见表3-63。3、TRP型直连旋片式真空泵技术性能见表3-64。。

真空泵机组的接线，会把三芯电缆与外接电缆剥出的铜丝部分对插起来，然后用一根细铜丝按图示样绑扎紧，剩余部分剪去，用剪刀按平，防止扎手；就此进行接线的时候，应该把真空泵三个线头分别用焊锡焊牢，要求焊头表面光滑，无毛刺及假焊现象，如果没有焊牢或不光滑，应对真空泵重新焊接，直到达到要求为止真空泵机组的接线，必须用塑料胶带把三跟线包在一起，包扎两层，层超过每根导线绝缘层末端50mm以上，第二层超过层末端50mm；包扎好之后要取一盆凉水将包扎好的线头安全浸泡在水中，12小时后，用500V兆欧表测量绝缘不能低于50兆欧，否则应重新包扎直到达到要求为止。真空泵机组的接地线也须按潜水电缆接线工艺要求包扎；真空泵机组的接好线之后应该在下井的同时不断的摇测绝缘电阻观测其变化以防井壁挂破电缆绝缘皮，若是发现绝缘程度急速下降到了0.5兆欧以下的时候必须要把机组提上来去检测原因。。

如果需要实现较低的压力，必须在上游连接附加的罗茨真空泵。

在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求，4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵，5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。

对抽速在0.5升/秒以上真空泵，均装有气镇阀如相对湿度较高，可打开气镇阀净化，可抽除少量水蒸气而不会污染泵油，廷长泵油使用时间，净化完毕后及时关死。从而提高泵的使用性能。6、自吸进油式真空泵，在进气口压力为10OKpa-6Kpa时运转，不得超过3分钟。7、此泵必须安装在清沽，通风、干燥的场所。8、下列情况之一不能使用:（1）不能抽吸含有颗粒，尘埃的气体或胶状、水状、液体及腐蚀性的物质。（2）不能抽吸含爆炸性气体或含氧过高的气体。这种环境应选用我公司生产的防爆真空泵比较合适。（3）不能系统漏气及真空泵匹配的容器过大，在长期抽气下工作。（4）不能作为输气泵，压缩泵等使用。9、泵内设有双重的防返油装置，永不返油。

降低机械磨损，提高运行可靠性在延长泵的使用寿命的同时也能有效的保护系统元件.）　　2、排气滤芯（兼顾排气阻力，容尘量，油气分离性能三者的立要求达到最优的平衡。不同的内外位置要用不同的材料以达到不同的分离目的）　　3、油滤芯（用于真空泵的润滑油过滤，延长油的使用期主流式滤清器，安装在油路中）　　使用与维护方法：　　在清扫更换方面，有很多人不得要领，往往是白白花费了力气，却没收到比较好的效果。　　1、松开旋钮式螺栓将过滤器外壳与头部分离。注意不要将橡胶密封圈和纤维质垫圈丢失。　　2，小心地取下弹簧和毛毡垫片然后再取出纸质过芯。　　3、用毛刷清除过滤芯折缝里的灰尘和异物，然后用手将其平放轻拍使剩余的灰尘落下，擦去外壳内壁的灰尘及纤维垫上的灰尘。　　4、按拆卸时相反的顺序将已清扫干净或新的过滤芯装回去。。

目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。

5、吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便缺点：1、效率低，一般在30%左右，较好的可达50%。2、真空度低，这不仅是因为受到结构上的限制，更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液，极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液，可达130Pa。水环式真空泵的分类1、单级单作用水环泵：单级是指只有一个叶轮，单作用是指叶轮每旋转一周，吸气、排气各进行一次。这种泵的极限真空较高，但抽速和效率较低。2、单级双作用水环泵：单级是指只有一个叶轮，双作用是指叶轮每旋转一周，吸气、排气各进行二次。在相同的抽速条件下，双作用水环泵比单作用水环泵大大减少尺寸和重量。由于工作腔对称分布于泵轮毂两侧，改善了作用在转子上的载荷。此种泵的抽速较大，效率也较高，但极限真空较低。