经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气流进行多级压缩，z*后由前级真空泵抽走

　　激光雕刻机之使用水环真空泵雕刻机的保养方法：　　　　1）水箱水位确定在上水阀能够流出水即可；工作8个小时内就需要注一次水（工作中水蒸发很快，水位会逐渐下降）；水位低于上水阀就必须马上注水；严谨真空泵缺水运转，缺水运转过热会造成机封漏水；　　　　2）过滤罐正确安装，吸附管口接到进气口处，用卡扣固定紧、防止漏气；　　　　3）接线盖打开，三相电分别引到U1/V1/W1三个接线柱上；　　　　4）电机进水阀打开，5分钟后，保证电机泵体内水注满后在通电试运行；　　　　5）开动电机，及时检查电机正反转，反转时把U1和V1处上的电源线交换一下就可以了；然后打开雕刻机吸附阀门、检验一下泵的吸力是否正常；　　　　6）真空吸附设备产品注意不要有粉尘落入真空系统，防治堵塞损坏真空泵，真空泵工作一周时间需要清洗过滤罐内滤网；冬季保持室温0℃以上，以防止真空泵内循环水结冰而损坏真空泵；可以使用防冻液进行防冻处理；　　　　7）水箱内水温不要高于70deg，，在高温下长时间工作会使气量降低吸力下降，将会使密封圈过早老化，而导致真空泵漏水；　　　　8）水箱要经常清洗，每周必须清洗一次。

由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压力高于蒸气流中该气体的分压力，所以被抽气体分子就不断地扩散到蒸气流中油蒸气撞击被抽气体分子，使被抽气体分子沿蒸气流束的方向高速运动。气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流的碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气流进行多级压缩，z*后由前级真空泵抽走。而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到油锅中重新被加热，如此循环工作。。

这是长时间被抽气体内富含粉尘等，形成旋片和定子之间磨损后的空隙增大处理之道：查看空隙是不是过大，替换新的零部件。。

该例中，工作真空度1mbar低于1.5mbar，所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求　　另外应当考虑的是，对预抽时间的要求问题，如果正常工作时间远比预抽时间长，可选较小的前级泵，假如真空室较大，而且要求很快预抽，就要用较大的前级泵，有时为了更好发挥设备的效率，机组装有较大的预抽泵，在正常工作后停掉它，而用较小的前级泵维持，这样做是为了节约功率。　　对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对极限真空度要求较高（达1X10-3Pa～1X10-2Pa压力）一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度要求在（1X10-2Pa～1X10-1Pa）之间可选用单级油封机械泵作为前级泵，极限真空度要求在133～1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。　　当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否则将使压缩比过大，造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。　　选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。　　为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。。

因此，泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点而日前，一种全新型干式螺杆真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用国产车床替代价格昂贵的国外设备生产出螺杆转子，不仅节能30%，还具有设备易损件少、真空度高、抽速大、使用寿命长等特点，可在冶金、电子、石油化工、航空航天等100多个领域替代进口产品。　　。

国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。

它压缩叶片和工作室之间的间隙，此外还通过热传递确保z*佳温度平衡多级泵旋片式真空泵是内置的单级和两极版。二极泵比单级泵实现相对更低的极限压力。此外，气镇对极限压力的影响较低，因为气镇仅允许在高压力级使用。真空安全阀根据所涉及的泵类型，旋片式真空泵可能配备真空安全阀。真空安全阀在有意或意外停顿的情况下将泵与真空室隔离，并使用置换气体对泵系统进行排气，防止油液上升到真空室中。在开启泵后，一旦泵中的压力已达到真空室中的近似压力，它稍作延迟就打开。。

1、激光器不能开启2、激光器不能抽真空3、罗茨泵不能运转或运转3秒钟后停车4、高压不能开启5、放电不能正常进行6、高压开启后立即被过流线路切断

如果工作液的颜色达到了第6种颜色（从左边数），必须立即更换工作液颜色的变化范围适用于P3泵油。为防止该现象的发生，建议每12个月更换一次真空泵油。（4）如果用户不确定使用的工作液是否耐工艺气体，则需向生产商进行咨询，以确定正确的工作液和泵设计。（5）当抽取氧气的浓度大于空气中氧气的含量，由于氧化和工作液老化的原因，不能使用矿物油。在这种情况下，必须使用经过BAM认证适合于氧气的特殊用油。此时，请注意，在泵的工作温度下，所使用的工作液具有非常低的蒸汽压力，因此在总压力（油液的蒸汽压力）的限制下，可实现所需的极限压力。3、标注进气口和排气管道的尺寸（1）进气口和排气口的公称直径是由生产商根据真空泵的泵速进行设计的。因此，进气管道与真空泵的公称直径是否符合至关重要，否则由于电导损耗，尤其是在分子流范围内的电导损耗会导致泵速严重下降。排气管道也要与泵的公称直径相一致，否侧公称尺寸过小或气体流量过大都会导致不可接受的背压，这给真空泵带来持续的机械压力，并导致泵的磨损和故障增加。另外，噪音水平也会显著上升。

通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级　　从提高真空泵应用能力的基础上，对于产品整体应用性的不断发挥，可以加大对产品各方面发展的有效性，以发展的优势推动不断扩大其应用能力的加强，做好产品实用性基础的扩展，以充分发挥其效果的实际应用，做为产品品质的各方面要求，是以不断提高的方式带动其运行的提升，充分发挥其各方面能力的不断扩大，以促进产品整体利用率的提升。　　真空泵机组涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:①半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备，②科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、真空泵机组极光试验设备、分析测试仪器，③机械设备行业:材料制备设备、真空检测设备、真空过滤设备、材料提纯设备、超高真空排气设备，④医疗设备行业:牙科仪器、透析机，生物制品行业:材料提纯与药品制备，⑤包装行业:食品、药品、生物制品等包装设备，⑥真空冶金行业:真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的配置。它的主要运动件只有一个动涡旋盘，因而动力传递简单，相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小，动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小，泵内运动件与泵腔无摩擦，所以几乎无磨损，运行平稳，消耗功率小，气体流动损失小，工作可靠性高、寿命长，易于维修，维修费用低，容积效率高。采用空气冷却，无需水冷。。