启动系统主真空泵组开始工作直到真空罐内真空度达到设定的上限值真空泵自动停止运行

z*大差压是溢流阀产生的结果在ATEX系列中，z*大差压小于其他系列，以便满足ATEX准则规定的温度要求。这些泵的壳体由GG铸铁制成，且在100kPa的超压下经过测试。大气侧的密封件包括径向轴密封环。标准泵的特点是其坚固、紧凑的设计以及高压缩比，这产生高抽速的泵组合，即使是使用小型前级泵；从而能够提供短的抽空时间。垂直的流动方向使该泵对灰尘和液体极不敏感。表4.19：OktaLine性能数据。

　　二、旋片式真空泵　　分为单级旋片式真空泵（由定子、旋片、转子等组成，只有一个工作室）和双级旋片式真空泵（它由两个工作室组成，两室前后串联，同向等速旋转，Ⅰ室为Ⅱ室的前级）　　三、滑阀式真空泵　　主要由泵体及内部做偏心转动的滑阀部件、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成。。

此外，这些泵还可用于抽吸有毒气体的工业/化学应用以及超洁净气体应用：例如，用于半导体行业中的CVD和PVD工艺或排空预真空锁/传输室以及用于平面屏幕的生产M系统可提供的大小范围从250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能数据。

如果即将要泵送的介质不会在泵工作压力和气压下冷凝，理想操作条件始终存在蒸汽在压缩阶段可全部或部分在泵中冷凝的蒸汽还必须在蒸馏和干燥过程中被置换。在这种情况下，打开气镇阀有助在无冷凝的情况下通泵来排放蒸汽。然而，蒸气兼容性并不总是足以防止冷凝。冷凝物与油的混合将导致极限压力增加，并降低工作液的润滑能力。这些因素可导致泵内发生腐蚀。在排空蒸汽前，泵必须用气镇预热至少半个小时。较高温度的工作液会减少冷凝。减少冷凝的其他方法包括获得仅可能低的出口压力及分别排出冷凝物。为此，应在入口和出口侧使用凝析油分离器。必须使用油雾过滤器和垂直排气管防止出口处的背压。

气室体积增大时，压强迅速下降，形成一定的真空，吸气侧的气体就进人泵内，气室体积变小时，被迅速压缩后的有压气体就排到泵外该过程（吸气、压缩和排气的过程）在水环式真空泵的运转中高速的反复、连续进行，便可将离心泵泵体内的空气不断抽走，在离心泵泵腔内就会形成一定的“真空”，吸水侧的水就会在大气压力的作用下进入离心泵的泵体。。

防止的措施有：①使用带有气镇装置的油封机械泵，当泵温为70℃～80℃时，可允许抽除含有水蒸气分压为1times，103Pamdash，4times，103Pa的气体②装油分离器、离心式分离器或油水分离器，将混有水的机械泵油进行处理，处理过的油再流入泵中使用。③使用吸水性强的干燥剂，如五氧化二磷、三氧化二铝、氯化钙、分子筛等做成捕集阱吸收水蒸气。各种干燥剂性能见表9-6。④使用前级吸附阱，不仅能有效地吸附水蒸气，还可阻挡机械泵油向高真空室的返流。工业上常用前两种方法，实验室及小型抽气系统常用后两种方法。。

（此时需要用葫芦从拆装端吊住轴，方便轴承的顶出），　　6、把旧机械密封从轴上取下，　　7、把检查完好后的新机械密封小心地套在轴上，　　8、清洗检查轴承是否完好、检查轴承间隙是否合适，　　9、把轴承、轴承座回装轴上，并为轴承加上润滑油脂，上紧内圈锁紧背帽，装上轴承压盖（这一步也需要葫芦吊轴配合），　　10、试盘车看看是否轻松，特别注意此盘车过程中别损坏机械密封，　　11、分别把两端的机械密封从轴上回装至密封箱里面，　　12、回装皮带轮（检修非动力端时无这一步），　　13、回装冷凝水管，通进冷凝水后盘车试漏，　　14、检修完毕，工完场清。

如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵　　为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。。

目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成以触摸屏为人机界面实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。启动系统，主真空泵组开始工作，直到真空罐内真空度达到设定的上限值，真空泵自动停止运行，中央真空系统内的真空由管路上的真空止回阀自动截止而得到维持。如因工作需求真空罐内真空度下降并低于设定的下限值时，备用真空泵组自动启动。由此循环往复，真空系统的真空度能够维持稳定的真空源，满足生产的要求。除了以上产品外，公司同时还供应有莱宝真空泵、普旭真空泵等产品，我们公司具备有最实战的技术专业的运营团队为您创造以用户体验为前提的服务，服务的至善至美是我们永无止境的追求。因为以民为本，所以值得信赖；因为专业专职，所以值得选择.以上信息仅供参考，详情请致电相关工作人员为您解答。1.上海振畅机电科技有限公司坐落于上海市宝山区东太路128号，是一家专业销售进口真空泵及配套设备的企业，目前业务已与上海周边地区广大客户确立了良好的合作关系，公司专业经营销售进口真空产品，并进行专业维修及维护。主营德国莱宝真空泵，同时经营：普旭真空泵等；英国爱德华真空泵等产品。

2X双级旋片式真空泵SZ系列水环式真空泵SK系列水环式真空泵2SK系列两级水环真空泵2XZ旋片式真空泵SKA系列真空泵。