本文总结了无油涡旋真空泵的技术发展与应用

此外，这些泵还可用于抽吸有毒气体的工业/化学应用以及超洁净气体应用：例如，用于半导体行业中的CVD和PVD工艺或排空预真空锁/传输室以及用于平面屏幕的生产M系统可提供的大小范围从250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能数据。

一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了无油涡旋真空泵的基本抽气单元动涡旋盘由偏心轴驱动与静涡旋盘做相对摆动运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成吸气、压缩、排气的循环。　　与其他种类的无油真空泵相比无油涡旋真空泵具有下述特点：　　①无油，无摩擦---非接触，无磨损，不产生微粒尘埃污染，可获得清洁真空；　　②抽气量大---双涡旋盘结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍，节省能源；　　③抽气效率高---带有3-4个抽气单元，压差小；大气与真空之间由0型圈密封，泄漏低；　　④非接触，良好平衡，力矩影响小，噪音低，振动小；　　⑤结构简单紧凑，相同尺寸下，运动半径小，运行平稳；　　⑥体积小，维修方便，维护费用低；　　　　⑦采用空气冷却，无需水冷。　　该涡旋真空泵主要应用于下述领域：　　①半导体行业mdash，mdash，薄膜制备设备、半导体器件封装设备；　　②科学仪器行业mdash，mdash，同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器；　　③机械设备行业mdash，mdash，材料制备设备、真空检测、材料提纯设备；　　④化学工业；　　⑤医疗设备mdash，mdash，牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备；　　⑥包装行业mdash，mdash，食品、药品、生物制品等包装设备。　　该涡旋真空泵能够给用户解决真空系统的污染与振动等基础、共性问题，并且使系统制造与运行成本降低。因此在国外市场扩展迅速，仅日本一个公司产品在中国z*近3年间销售额就增长了10倍。是一项不容忽视的技术与产品。　　本文总结了无油涡旋真空泵的技术发展与应用，内容包括从涡旋技术的发展到无油涡旋真空泵的工作原理、制造工艺、技术指标、特点、基本用途和实际应用方法；对无油涡旋真空泵技术有一个系统的介绍。。

该曲线清楚地表明，这种泵组合的抽速上升了8倍，其极限压力相对于前级泵下降了15倍。

金属转子和定子以及泵的弹性体材料均是由高度耐腐蚀材料制成的泄漏率高气密性以及防止气体通过止回阀从周围空气或排气净化系统或洗涤器回扩的性能使得多级罗茨泵成为腐蚀性气体应用的完美解决方案。封装电机也是防漏概念的一部分。。

它具有结构紧凑、操作方便、抽气能力大、抽气时间短等特点广泛应用于真空冶金、真空脱气、真空镀膜以及空间模拟、低密度风洞等装置中，以抽除非腐蚀性气体，还可用于医药、食品、电子、化工等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。其型号及技术性能见表9-31。。

真空泵机组的接线，会把三芯电缆与外接电缆剥出的铜丝部分对插起来，然后用一根细铜丝按图示样绑扎紧，剩余部分剪去，用剪刀按平，防止扎手；就此进行接线的时候，应该把真空泵三个线头分别用焊锡焊牢，要求焊头表面光滑，无毛刺及假焊现象，如果没有焊牢或不光滑，应对真空泵重新焊接，直到达到要求为止真空泵机组的接线，必须用塑料胶带把三跟线包在一起，包扎两层，层超过每根导线绝缘层末端50mm以上，第二层超过层末端50mm；包扎好之后要取一盆凉水将包扎好的线头安全浸泡在水中，12小时后，用500V兆欧表测量绝缘不能低于50兆欧，否则应重新包扎直到达到要求为止。真空泵机组的接地线也须按潜水电缆接线工艺要求包扎；真空泵机组的接好线之后应该在下井的同时不断的摇测绝缘电阻观测其变化以防井壁挂破电缆绝缘皮，若是发现绝缘程度急速下降到了0.5兆欧以下的时候必须要把机组提上来去检测原因。。

它们的应用包括：■■萃取和压缩低温恒温器上的氦■■萃取和压缩SF6■■各种各样工艺中各种气体和蒸汽的清洁回收，如蒸馏■■抽空分子筛等■■在闭环系统中抽空和循环有毒物质■■抽空体积非常大的容器使用气冷罗茨泵的罗茨泵站可配置各种不同的入口特征构造在极端情况下，在1000hPa这10-3hPa的整个压力范围内可以实现基本恒定的抽速，且各个泵级可按2:1至3:1的比率来选择。然而，要实现这一点，罗茨真空泵必须配备相应强大的电机，并且必须提供向大气侧的出口阀，而不是溢流阀。。

水环式真空泵机械密封的更换拆装步骤：　　1、拆掉水环式真空泵两端机械密封的冷却水管，　　2、拆卸动力端皮带轮（更换非动力端机械密封时无这一步），　　3、分别把动力端和非动力端的机械密封拆下挂在轴上，注意轻拆轻放，这一步尤其重要，避免了损坏完好端的机械密封（注意：如果是单独检修两端的轴承，这一步也是必须的），　　4、拆下要更换机械密封端的轴承压盖，卸下轴承锁紧背帽，　　5、用顶丝把轴承座连同轴承一起顶出拆下。（此时需要用葫芦从拆装端吊住轴，方便轴承的顶出），　　6、把旧机械密封从轴上取下，　　7、把检查完好后的新机械密封小心地套在轴上，　　8、清洗检查轴承是否完好、检查轴承间隙是否合适，　　9、把轴承、轴承座回装轴上，并为轴承加上润滑油脂，上紧内圈锁紧背帽，装上轴承压盖（这一步也需要葫芦吊轴配合），　　10、试盘车看看是否轻松，特别注意此盘车过程中别损坏机械密封，　　11、分别把两端的机械密封从轴上回装至密封箱里面，　　12、回装皮带轮（检修非动力端时无这一步），　　13、回装冷凝水管，通进冷凝水后盘车试漏，　　14、检修完毕，工完场清。。

在检修过程中，水环真空泵故障的诊断是一个关键的环节，今天小编为大家专门介绍水环真空泵无液体提供，供给液体不足或压力不足的问题及解决方法，希望大家可以有针对性地进行水环真空泵故障的诊断，尽快解决问题1.真空泵没有注水或没有适当排气，解决方法：检查真空泵壳和入口管线是否全部注满了液体。2.速度太低，解决方法：检查电机的接线是否正确，电压是否正常或者透平的蒸汽压力是否正常。3.系统水头太高，解决方法：检查系统的水头（特别是磨擦损失）。4.吸程太高，解决方法：检查现有的净压头（入口管线太小或太长会造成很大的磨擦损失）。5.叶轮或管线受堵，解决方法：检查有无障碍物。6.转动方向不对，解决方法：检查转动方向。工作原理：1.s*先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸性等。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。如抽取气体还有腐蚀性，则须选用不锈钢材质。

该泵不适用于抽除对黑色金属有腐蚀的、对泵油起化学反应的，含有颗粒尘埃的气体，以及含氧过高、有爆炸性的有毒气体更不能作为传输泵（即从一个容器抽送到另一个容器）使用。2、XD型旋片式真空泵XD型旋片式真空泵为单级联轴式结构，它的工作性能是高转速，低噪声，抽速快，效率高，泵只需空气冷却，有防返油结构，防止泵油返入被抽系统，泵内装有排气过滤器，有效消除油雾，运转平衡，振动小，可以在任意压强下工作。该泵的技术参数2×10-2，已普遍适用食品真空包装，医药、印刷机械纸张输送，玻璃工业输送，真空夹具，干燥等单位的使用。3、2XZ型旋片式真空泵（1）2XZ型旋片式真空泵是用来对密封容器抽除气体的基本设备之一。它可单独作用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵等的前级泵，维持泵，钛泵的预抽泵用。可用于电真空器件制造、保温瓶制造、真空焊接、印刷、吸塑、制冷设备修理以及仪器仪表配套等。因为它具有体积小、质量轻、操声低等优点，所以更适宜于实验室里使用。（2）在环境温度540范围内，进气口压强小于1.3X103帕的条件下允许长期连续运转，被抽气体相对湿度大于90%时，应开气镇阀。（3）进气口连续畅通大气运转不得超过一分种。（4）不适用于抽除对金属有腐蚀的，对泵油起化学反应的，含有颗粒尘埃的气体，以及含氧过高的，有爆炸性的，有毒的气体。