为了满足不同应用领域和不同工况的要求

汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作　　　　根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。　　　　如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀性好。如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能得到自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，泵的使用寿命较长。　　　　二、根据系统所需的气量选择真空泵　　　　初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照：真空计算公式。。

下面贤集网小编来为大家介绍螺杆真空泵日常操作步骤、吹扫功能、泵机头的技术性能主要由哪三个方面的条件来保证？在检漏时有哪些需要注意的地方？故障分析及解决办法、清洗的五个步骤、维护保养方法一起来看看吧！螺杆真空泵日常操作步骤一、开机前的检查与准备1、检查真空泵各个部件是否齐全；2、在不同油位视镜处检查油位，确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处；3、检查确认真空机组各个阀门的状态；（1）工艺入口阀关闭（2）入口过滤器排污阀关闭（3）出口管线畅通，出口管排污阀打开（4）冷却水入口管线和出口管线阀门打开（5）氮气线阀门打开，吹扫气压力为0.5bar，氮封气压力为3bar，吹扫阀关闭。二、螺杆真空泵的开机操作步骤1、现场与中控联系，确认可以启动，通过现场操作柱启动按钮启动真空泵；2、关闭出口管排污阀；3、检查或调节氮封气流量，确认流量在2.5—3L/min；4、打开吹扫阀，确认流量计流量调至，吹扫5—10分钟后，关闭吹扫阀；5、打开工艺入口阀，切入系统；6、真空泵运转过程中，注意观察机体温度，可通过温度调节阀调节水量来控制温度（温度调节阀位于0刻度时水量，位于5刻度时水量最小），要求温度尽量控制在50——75℃，确保不超过80℃。三、螺杆真空泵的停机操作步骤1、关闭工艺入口阀，切出系统；2、打开吹扫阀，吹扫20—40分钟后，关闭吹扫阀；3、通过现场操作柱停止按钮停机；4、关闭氮气阀门；5、关闭冷却水阀门；如冬季长期不用，需排净机体及管线内的冷却水以防冻；6、打开出口管排污阀和入口过滤器排污阀，检查是否有冷凝液。螺杆真空泵的吹扫功能一、螺杆真空泵清洗吹扫清洗吹扫对于抽除腐蚀、有毒或是粘稠物，例如树脂类介质尤为重要。清洗吹扫一般在停泵前关闭真空泵的进气口阀门，并在进气口充入氮气或水蒸气后运转20～30分钟，对腔体内螺杆进行吹扫，清洗腔体内残留的工艺气体或表面粘附的粘稠物质。二、螺杆真空泵冷却吹扫冷却吹扫用于螺杆转子及真空泵内部腔体的冷却。真空泵工作时进气口吸入的工艺气体随着螺杆转子的转动被压缩并送到排气口，压缩过程中气体温度升高，这就需要用冷却吹扫来保护真空泵不会因为过热而被卡住。通常空气会被用来作为冷却吹扫介质，但在特殊情况下则用氮气或冷却后的工艺气体作为吹扫介质。在排气口附近安装有一个过滤器来吸入空气以实现冷却吹扫。三、螺杆真空泵密封吹扫密封吹扫是用氮气加压于前端盖内，使得工艺气体或液体不能进入装有齿轮及轴承的油箱。

这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。6、干泵国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。。

1、试车或运转过程中卡死原因：结垢严重解决方法：拆卸清除或用酸洗原因：填料压盖太紧解决方法：放松压盖螺栓原因：内部机件生锈解决方法：用力扳动转子并用草酸清洗原因：异物卡住泵转子解决方法：用水冲刷并打开检查2、电机短路或过载原因：绕组短路解决方法：检查电机绕组原因：工作液流量过高解决方法：调节入水阀减少工作液流量原因：排气压力过高解决方法：降低排气压力至规定范围原因：吸入气体中液体含量过高解决方法：入口处加装分离器或降低工作液流量3、真空度低原因：皮带打滑引起转速下降解决方法：拉紧皮带原因：供水量不足或温度过高解决方法：调节供水量，降低工作液温度原因：真空系统泄漏解决方法：检查填料函管路和泵内间隙是否有泄漏原因：真空表显示不正确解决方法：更换真空表原因：阀板脱落解决方法：更换阀板4、振动及噪声大原因：轴对中不好解决方法：重新对中和锁紧原因：地脚螺栓松动解决方法：拧紧地脚螺栓原因：工作液流量过高解决方法：安装孔板流量计减少流量原因：吸排气管壁太薄解决方法：采用管壁较厚的气管5、轴承部位发热原因：润滑油脂缺少或过量解决方法：改善润滑条件原因：轴承安装不当解决方法：调整轴承原因：轴承被锈蚀，滚道被划伤解决方法：更换新轴承。

由于内部压缩，脉冲气体量较低这将导致耗电量降低、操作无噪音、泵内温度均匀分布以及冷却水耗量降低。这使得这些泵极具成本效益，虽然其设计坚固耐用。。

设备故障一直是设备使用过程中非常令人头疼的问题，对于无油真空泵工作者来说，面对无油真空泵故障时，我们需要像战士一样去战斗。

3、TRP型直连旋片式真空泵技术性能见表3-64。

SZ型水环式真空泵技术性能分别见表3-15、表3-16；SZ型单级水环式真空泵特征曲线见图3-7，图中水温为摄氏27deg，时的实测值；SZ-1、SZ-2型水环式真空泵外形及安装尺寸分别见表3-18、表3-19所示；SZ-0.5、SZ-1、SZ-2、SZ-6型水环式真空泵外形及安装尺寸分别见表3-20。

排气侧与大气相接，在粘滞流状态下压缩比较高可从10^5Pa（1大气压）抽到10^-2Pa在结构上采用径向流和轴向流复合式结构，多级串联。这种涡轮式干泵的极限压力约为10^-2Pa，抽速为0.02msup3，/smdash，0.15msup3，/s牵引型干泵也属于动量传输式干式泵。　　这些干式泵和油封式机械泵相比，在各自的极限压力条件下，其残余气体成分全然不同。分析结果表明，油封泵的残余气体，主要成分为CnHm（碳氢化合物），而于式泵的残余气体的主要成分为空气，这就证实了用干式泵抽气基本上不被油蒸气污染。　　有些干式泵在结构设计上（例如泵的传动齿轮和轴承等）仍在使用润滑油，也有用合成油如PFPE油和其它油脂，不过采取一定的措施可使油蒸气在泵腔内几乎不存在。严格来说这种泵不是全无油泵。经分析，这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的，对大多数电子产业来讲并无影响。　　干式真空泵按转子接触与否又可分为非接触型（罗茨式、爪式、螺杆式）和接触式（叶片式、凸轮式、活塞式）两类。非接触型的泵可以高速旋转，但z*大压缩比小。接触型的泵转速不能太高，但z*大压缩比大，尤其在大气压附近，因返流变小使后者的压缩比为前者的5倍～8倍。

2SK、2SK-P1系列双级水环式真空泵（Model2SK、2SK-P1WaterRingVacuumPump）主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。JZJS型罗茨mdash，mdash，水环泵机组（ModelJZJSRoots-WaterRingVacuumPumpSystem）本机组由于采用水环泵作为前级泵，因而特别适用于抽除含有大量水蒸气和带有一定腐蚀性和可凝性气体的工艺过程中。如：真空蒸馏、蒸发、脱水、结晶、干燥等工艺过程中。JZJX型罗茨一旋片泵机组（ModelJZJXRoots-SlidingVaneRotaryVacuumPumpSystem）是以罗茨泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成。其结构紧凑，操作方便。适用于抽除空气及其它无可凝性及无腐蚀性的气体，真空泵广泛应用于需要大抽速和高真空的各种真这系统中。如：真空冶炼，电力电容器，变压器，真空浸渍处理，真空镀膜设备中的预抽等。Zj系列罗茨真空泵（ModelZJRootsVacuumPump）是一种旋转式变容真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。HIB--SZ系列化工耐腐陶瓷水环真空泵人们在使用过程中经常碰到输送化学气体，这就需要引进耐腐蚀真空泵的新概念。