机组运行正常、真空稳定情况下高效真空泵组投入运行、原有抽真空设备切除做备用此时蒸汽和不凝结气体进入罗...

XD系列单级旋片式真空泵技术性能见表3-54所示②XD系列单级旋片式真空泵外形及安装尺寸。XD-10、XD-20、XD-40、XD-63、XD-100系列单级旋片式真空泵外形及安装尺寸见表3-55。XD-010、XD-020、XD-040、XD-063、XD-100、XD-160、XD-250型单级旋片式真空泵外形及安装尺寸见表3-56。。

　　激光雕刻机之使用水环真空泵雕刻机的保养方法：　　　　1）水箱水位确定在上水阀能够流出水即可；工作8个小时内就需要注一次水（工作中水蒸发很快，水位会逐渐下降）；水位低于上水阀就必须马上注水；严谨真空泵缺水运转，缺水运转过热会造成机封漏水；　　　　2）过滤罐正确安装，吸附管口接到进气口处，用卡扣固定紧、防止漏气；　　　　3）接线盖打开，三相电分别引到U1/V1/W1三个接线柱上；　　　　4）电机进水阀打开，5分钟后，保证电机泵体内水注满后在通电试运行；　　　　5）开动电机，及时检查电机正反转，反转时把U1和V1处上的电源线交换一下就可以了；然后打开雕刻机吸附阀门、检验一下泵的吸力是否正常；　　　　6）真空吸附设备产品注意不要有粉尘落入真空系统，防治堵塞损坏真空泵，真空泵工作一周时间需要清洗过滤罐内滤网；冬季保持室温0℃以上，以防止真空泵内循环水结冰而损坏真空泵；可以使用防冻液进行防冻处理；　　　　7）水箱内水温不要高于70deg，，在高温下长时间工作会使气量降低吸力下降，将会使密封圈过早老化，而导致真空泵漏水；　　　　8）水箱要经常清洗，每周必须清洗一次。

油封机械泵不适于排除含有大量水蒸气的气体水蒸气在压缩过程中会凝结咸水滴，并与泵油混合形成悬浮液，不仅会使真空度下降，也能使泵腔与转子生锈，破坏密封面。防止的措施有：①使用带有气镇装置的油封机械泵，当泵温为70℃～80℃时，可允许抽除含有水蒸气分压为1times，103Pamdash，4times，103Pa的气体。②装油分离器、离心式分离器或油水分离器，将混有水的机械泵油进行处理，处理过的油再流入泵中使用。③使用吸水性强的干燥剂，如五氧化二磷、三氧化二铝、氯化钙、分子筛等做成捕集阱吸收水蒸气。各种干燥剂性能见表9-6。④使用前级吸附阱，不仅能有效地吸附水蒸气，还可阻挡机械泵油向高真空室的返流。工业上常用前两种方法，实验室及小型抽气系统常用后两种方法。。

这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。5、分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。6、干泵国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。

2）机组运行正常、真空稳定情况下，高效真空泵组投入运行、原有抽真空设备切除做备用，此时蒸汽和不凝结气体进入罗茨泵，加压后经冷却器冷凝进入下级水环真空泵，由于提高了水环真空泵的入口压力，可保证水环真空泵高效稳定运行（见图1、罗茨——水环真空泵组流程图）3）当机组真空系统发生严重泄漏，高效真空泵不能维持凝汽器真空时将原有抽真空设备期中一组投入运行满足真空要求。4）高效真空泵组在检修或设备故障时，原有抽真空设备投入运行，确保真空要求。目前两台真空泵为一运一备方式，改造后机组正常运行时主要以高效真空泵组维持真空，实现一运两备，设备之间有可靠的联锁控制系统。改造后机组的真空系统耗电量明显降低同时安全可靠性大幅提高。具体方案如下（见图2高效真空泵安装示意图）：1）抽气管道安装，真空泵组就位后，从111水环式真空泵抽汽入口手动门前管道采用异径三通（273*159*273mm）接出一路φ159mm管路接入罗茨泵入口，接入罗茨泵前串接一只手动阀（DN150）和速关气动阀（厂家提供）。2）真空泵组水环泵工作水来自原水环式真空泵补水，从111水环式真空泵补水门前接出一路φ32mm管道（材质304），接入自动补水阀进入分离罐，接入补水阀前安装DN25手动阀。3）工作水冷却器冷却水管道安装，由闭冷水至热网密封水管道接出一路φ57mm管道作为冷却器进水，由闭冷水回水母管接出一路φ57mm管道作为冷却器出水，两路管路用DN50手动门作为隔离。4）汽水分离罐排气管道安装，高效真空泵组汽水分离罐排气由一路φ89mm管道接至111水环式真空泵汽水分离罐排气管路上。4.改造后的效果运行参数对比如下：由以上表实测数据表明，在工况近似的情况下，改造后抽真空系统与原抽真空系统相比，均能满足维持凝汽器真空的要求，且改造后抽真空系统能耗水平仅是原有抽真空系统能耗水平的16.8%，即节电率达到近83.2%，每小时折合节约电量1.732×380×183×0.85÷1000≈102kW.h，即每小时节约102度电。按年平均运行6000小时计算每年节约电量61.2万度。

罗茨真空泵命名规则和基本参数（摘自ZB/T7674-95），本标准适用于抽速为30L/smdash，20000L/s，工作时必须有前级泵的单级双叶罗茨真空泵1.罗茨泵型号表示方法说明如下：标记示例：（1）抽速为1200L/s的罗茨真空泵，标记为：ZJ-1200。（2）抽速为300L/s的带旁通阀罗茨真空泵，标记为：ZJP-300。2.罗茨泵基本参数应符合表3-81规定。。

这意味着，它在操作中基本无磨损泵的整体泄漏率小于1middot，10-6Pamiddot，m3middot，s-1。这排除了油泄漏的可能性，过程气体和环境之间也不存在任何交换。M系列标准泵适合于Table4.19中显示的所有应用。此外，这些泵还可用于抽吸有毒气体的工业/化学应用以及超洁净气体应用：例如，用于半导体行业中的CVD和PVD工艺或排空预真空锁/传输室以及用于平面屏幕的生产。M系统可提供的大小范围从250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能数据。

多级罗茨泵ACP范围内的多级罗茨泵实现了紧凑型泵站，抽速高达285m3middot，h-1将ACP前级泵与罗茨泵组合使用，可实现z*终压力高达5middot，10-3hPa。。

　　二、罗茨泵用途　　可广泛用于输送石油及石油产品（汽油可换铜泵叶）和工厂输送各种油类和液体如原油，油漆，润滑油，玻璃胶，油脂酸，牙膏和淡碱性（肥皂加工）液体等，食品加工可输送各种液体，如豆酱，醺母，糖稀等。装卸各种油槽车及油轮等速度快、效率高，使用方便，可以正反转工作。。

当呈现这种现象时两转子啮合变得过紧以至卡死停机后再启动时非常艰难或基本不转动烧坏电机的毛病时有发作所以必需经常清洗泵壳内壁和叶轮转子表面面。清洗液可运用5%氢氧化钠溶液也可运用5%的盐酸溶液酸洗后再用清水冲洗洁净以免腐蚀。　　二、经常检查泵轴的密封状态　　泵轴的密封作用是避免泵内被紧缩的气体从泵轴与泵壳体之间漏出同时也避免外界空气浸入泵内。常采用机械密封和反螺旋密封、石棉盘根密封和橡胶密封圈密封。其中机械密封效果。近期东北工业大学新研制的磁粉密封效果很好。　　三、合理选用罗茨泵的转数　　在罗茨泵的运用中必需按实践需求调整其转数。显然转数的进步可增加理论排气量使容积效率上升出力明显增加但是由此而来的噪音的增加将恶化操作环境。消费中必需以增加转数来进步泵的才能时应在车间噪音允许的范围内调整。通常不采用进步转数的作法。