油封式真空泵的应用　　　　油封式真空泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种

冷凝物与油的混合将导致极限压力增加，并降低工作液的润滑能力这些因素可导致泵内发生腐蚀。在排空蒸汽前，泵必须用气镇预热至少半个小时。较高温度的工作液会减少冷凝。减少冷凝的其他方法包括获得仅可能低的出口压力及分别排出冷凝物。为此，应在入口和出口侧使用凝析油分离器。必须使用油雾过滤器和垂直排气管防止出口处的背压。如有有萃取系统，应将出口与其连接。灰尘、粒子和化学物质在一定的限制条件内，过滤器和分离器可以保护真空泵不受到磨损和腐蚀。装有聚酯纤维（SAS）或环氧树脂玻璃微纤维（DFT）滤芯的分离器能够过滤粘合灰尘。活性炭过滤器（FAK）粘合无机蒸汽，滤芯填充是可更换的。

由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。　　5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。　　6、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。　　7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

真空泵机组的接地线也须按潜水电缆接线工艺要求包扎；真空泵机组的接好线之后应该在下井的同时不断的摇测绝缘电阻观测其变化以防井壁挂破电缆绝缘皮，若是发现绝缘程度急速下降到了0.5兆欧以下的时候必须要把机组提上来去检测原因。

传统工业用真空泵体积普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和润滑机油，介质气体内会含有大量油雾　　　　2、极限真空（通常称为真空度）：将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。　　　　随着仪器仪表工业的发展以及人们对环保的要求，各国的微型无油真空泵应运而生，普遍有以下规律：泵的价格和真空度指标密切相关。真空度指标是各国生产商努力追求的主要指标，它反应了相应的机械加工、密封技术、材料科学等领域的整体实力，也是生产商获取利润的重要手段。要提高真空度指标，就必须有更高的密封条件，因此就需要采用尺寸更、材料性能更优异的零部件，于是生产成本就大幅度提高了。而且价格的增幅远远大于真空度指标的增幅。当然，抽气速率的提高也会引起价格的攀升，但其增幅不大。因此，选择微型真空泵时需要认真考虑真空度指标、抽气速率指标、自己的使用情况等，这样才能z*好地兼顾使用性能和成本。高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件，因此它对工作环境的清洁条件、温度参数、介质成分等均有更高的要求。振动和噪音。

　　激光雕刻机之使用水环真空泵雕刻机的保养方法：　　　　1）水箱水位确定在上水阀能够流出水即可；工作8个小时内就需要注一次水（工作中水蒸发很快，水位会逐渐下降）；水位低于上水阀就必须马上注水；严谨真空泵缺水运转，缺水运转过热会造成机封漏水；　　　　2）过滤罐正确安装，吸附管口接到进气口处，用卡扣固定紧、防止漏气；　　　　3）接线盖打开，三相电分别引到U1/V1/W1三个接线柱上；　　　　4）电机进水阀打开，5分钟后，保证电机泵体内水注满后在通电试运行；　　　　5）开动电机，及时检查电机正反转，反转时把U1和V1处上的电源线交换一下就可以了；然后打开雕刻机吸附阀门、检验一下泵的吸力是否正常；　　　　6）真空吸附设备产品注意不要有粉尘落入真空系统，防治堵塞损坏真空泵，真空泵工作一周时间需要清洗过滤罐内滤网；冬季保持室温0℃以上，以防止真空泵内循环水结冰而损坏真空泵；可以使用防冻液进行防冻处理；　　　　7）水箱内水温不要高于70deg，，在高温下长时间工作会使气量降低吸力下降，将会使密封圈过早老化，而导致真空泵漏水；　　　　8）水箱要经常清洗，每周必须清洗一次。

当容积减少时，气体被压缩，直到气体的压力大于一个大气压，排气阀被打开，将气体排出　　　　用油作密封泵液的必要性　　　　当前大量使用的机械真空泵，即使设计得z*好，相向运动的零件间配合精度即使很高。在泵达到极限真空时，也难以阻止气体由低真空端向入口端ldquo，突破返流。另外，由于泵在设计制造及装配中不可避免地存在有害空间，这也降低泵的极限真空度。油封式真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来；将有害空间充填，使得高压气体反ldquo，突破的机会少得多，密封性能也就好得多，从而使泵能达到较高的真空度。　　　　油封式真空泵的应用　　　　油封式真空泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种。目前，油封式真空泵是国内真空获得技术中应用z*广的一种泵，它可单独用作低真空设备的排气用泵，也可用作高真空排气时的前级真空泵。真空行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑阀泵。因此，它已在国民经济的很多部门，例如电真空、电子、轻化工、钢铁、有色冶炼等工业部门中发挥着越来越大的作用。由于油封式真空泵均装有气镇装置，故也可以抽除潮湿气体。但现在还不适于抽除含氧过高、有爆炸性、对黑色金属有腐蚀性，对泵密封油起化学作用、及含有颗粒灰尘的气体。

泊通过泵体上的缝隙、油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所有的运动表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔之间的密封同时，油还充满了泵腔内的一切有害空腔，以消除它们对极限真空的影响。　　②双级旋片式真空泵的工作原理（图3-23）。　　双级旋片式真空泵由两个工作室组成。两室前后串联，同向等速旋转，工室是Ⅱ室的前级，工室是低真空级，Ⅱ室是较高真空级。被抽气体由进气管道进入Ⅱ室。当进入气体压力较高时，气体经Ⅱ室压缩、压强急增，被压缩的气体除经通道2进人工室外，还能推开排气阀1，从排气阀1排出。　　当进入Ⅱ室的气体压力较低时，虽经Ⅱ室的压缩也推不开排气阀1，气体全部经通道2进入工室，经I室的继续压缩，由排气阀3排出。因而双级旋片式真空泵比单级旋片式真空泵的极限真空高。。

功率小，运转维护费用低⑥在很宽的压力范围内（1times，10^3Pa～1Pa）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的气体，弥补了扩散泵和油封机械泵在（1times，10^3Pamdash，1Pa）耐抽速都很小的缺陷。因此，它z*适合作增压泵用。　　罗茨泵的缺点是泵的转子制造较难，抽除氢气的效果不如油增压泵高。　　罗茨泵广泛用于真空冶金工业的真空脱气、真空熔炼、钢水真空处理，以及空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体。也可以用于化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。。

　　　　　　例如有一系统用罗茨真空泵机组抽气，要求在1mbar入口压力时有600升/秒的抽速，并长期工作，问应选择多大抽速的前级泵　　　　　　先假定用30升/秒的前级泵时，压缩比K＝600：30＝20，查得K＝20时z*大排出压力为30mbar。　　　　　由此得出，当选用30升/秒前级泵时，在入口压力低于1.5mbar以下工作是可行的，但高于1.5mbar入口压力工作时就选用大一些前级泵了。该例中，工作真空度1mbar低于1.5mbar，所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。　　　　　　另外应当考虑的是，对预抽时间的要求问题，如果正常工作时间远比预抽时间长，可选较小的前级泵；假如真空室较大，而且要求很快预抽，就要用较大的前级泵，有时为了更好发挥设备的效率，机组装有较大的预抽泵，在正常工作后停掉它，而用较小的前级泵维持，这样做是为了节约功率。　　　　　　对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对极限真空度要求较高（达1X10－3Pa～1X10－2Pa压力）一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度要求在（1X10－2Pa～1X10－1Pa）之间可选用单级油封机械泵作为前级泵，极限真空度要求在133～1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。　　　　　　当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2－1/4，不能太大，否则将使压缩比过大，造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。　　　　　　选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。　　　　　　为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。

水蒸气在压缩过程中会凝结咸水滴，并与泵油混合形成悬浮液，不仅会使真空度下降，也能使泵腔与转子生锈，破坏密封面防止的措施有：①使用带有气镇装置的油封机械泵，当泵温为70℃～80℃时，可允许抽除含有水蒸气分压为1times，103Pamdash，4times，103Pa的气体。②装油分离器、离心式分离器或油水分离器，将混有水的机械泵油进行处理，处理过的油再流入泵中使用。③使用吸水性强的干燥剂，如五氧化二磷、三氧化二铝、氯化钙、分子筛等做成捕集阱吸收水蒸气。各种干燥剂性能见表9-6。④使用前级吸附阱，不仅能有效地吸附水蒸气，还可阻挡机械泵油向高真空室的返流。工业上常用前两种方法，实验室及小型抽气系统常用后两种方法。。