极高真空规：双曲线注射规简介

双弯注射液位计是一种管式电子倍增电离液位计。其调节灵敏度系数为K = 1.5倍，10 ^ 18 [（C /S①/（A.Pa）），测量下限PRle，1倍，10 ^ -10Pa，有望测量到极高的真空度。 10 ^ -12Pa。双弯规的结构原理如图11-54所示。 the离子在偏转极V1的电场作用下通过筛子的中心孔偏转90度，然后穿过。第二筛子的中心孔进入第二偏转极V2，然后偏转90度。它到达CEM电子信号放大器的接收窗口，并由CEM计数。由于离子电流经过两个偏转阶段，因此X射线效应很小。