D30型辉光离子渗氮炉结构

图10-121是离子氮化炉的示意图。整个装置由氨气供应系统，真空系统，测量系统和电源系统组成。 ①氨气供应系统。氨气瓶1容纳液氨。工作时，请打开氨阀2，待稳定后进入LZB-6浮子流量计3。根据真空室中所需的氨压力，调节流量计阀4以控制氨流量。氨气通过氨气管道进入真空室。需要氨气供应系统中稳定的气源压力和灵活的进气门调节。 ②真空系统。真空系统包括由真空泵21，放气阀18，真空蝶阀19，电磁阀20和排气管组成的真空室（辉光室）。真空室采用双层水冷结构。用橡胶垫密封真空盖和炉底之间。工作时，启动真空泵（2X-15型）以将真空室抽空至所需的真空度，并从排气管中排出废气。 ③测量系统。包括测量温度，测量压力以及测量电流和电压。它们可以反映氮化处理。用于温度测量的热电偶16插入阴极机架，并通过连接线或热电偶补偿线连接到XCT-101可调毫伏表，以实现工件温度的测量。当压力低于1.3倍102Pa时，通过热电偶真空计14进行测量；当压力为1.3倍102Pa〜1.3倍103Pa时，使用U型管汞压力表进行测量。 。 ④电源系统。电源系统是电源。它由三相变压器，整流器，电感器，电容器和振荡灭弧器组成。输入电压为AC 380V，输出为高压DC纹波电流。最大z *输出电压为1000V，最大z *输出电流为30A。