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    前e提取系统的组成

    * 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-22 1:14:28 * 浏览: 238
    它由溅射离子泵，分子筛吸附泵，机械泵和一些超高真空阀组成。分子筛吸附泵或机械泵为溅射离子泵提供必要的启动压力，并在冷凝泵的初始烘烤阶段充当排气泵。启动溅射离子泵后，系统的真空度可达到10 ^ 7Pa。
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