真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机

　　　　③ZL系列油扩散喷射泵技术性能见表4-18。

整个系统的设计和操作必须符合相应的防爆法规。

　　水环式真空泵在使用一段时间后，会有抖动的现象，并且伴有比较尖锐刺耳的声音，有很多人并不知道是什么原因造成的　　通常情况下，水环式真空泵出现以上情况的话，大概原因有以下几点：　　1、水环式真空泵的零件损坏所致或者由于有固体进入泵腔所致，解决办法是检查泵内的情况，清处泵腔内的杂物。　　2、由于水环式真空泵电动机的轴承或者轴磨损所致，解决办法检查更换新的轴承和电机转子轴。　　3、水环式真空泵的泵体与电动机的轴中心没有校正好，导致联轴器磨损损坏而发出振动及噪声大的现象，解决办法重新更换新的联轴器或者校正好轴中心线。　　4、当真空太大时水环式真空泵也会发出一种特别刺耳的噪声，解决办法这时开一下水环式真空泵的气震阀放点空气进去.泵又能进入正常状态了。。

近年来，水冷螺杆泵和下节中描述的多级罗茨泵已经取代越来越多的先前在高抽速段（100ndash，600m3middot，h-1）中占主导地位的油润滑旋片式真空泵螺杆泵的优势包括：■■在气体置换区域没有润滑剂■■被泵送介质无任何污染■■无工作液处理问题■■因内部压缩而产生的较高效率■■在1和1000hPa之间几乎恒定的抽速。■■良好的液体和灰尘耐受性■■罗茨泵理想的前级泵这使得HeptaDry螺杆泵非常适合于化学应用或产生灰尘的工艺，如用于晶体生长或如果产生大量的冷凝物。在恒温冷却中，水流量将取决于以下参数：入口压力、气体类型、转速和泵大小。由于水流冷却，几乎没有热被耗散到大气中。这减少了任何现有空气调节系统的热负荷并降低其能量消耗。初级螺杆泵的应用概述：■■干燥、冷冻干燥■■电子束焊接■■冶金■■涂料■■预真空锁■■化学应用。

使用标准的泵气镇，水蒸汽耐受性为10hPa且水蒸气的能力为100gmiddot，h-1在特殊泵版本（CV，可冷凝蒸汽）增加气镇吞吐量，可实现水蒸汽耐受性约为100hPa，水蒸气的能力为700至1000gmiddot，h-1，这取决于环境温度。至于旋片式真空泵：在排空蒸汽前，泵体必须用气镇预热至少半个小时。较高温度的泵体减少冷凝。减少冷凝的其他方法包括获得尽可能低的出口压力及分别排出冷凝物。必须使用垂直排气管道防止出口处的背压。如有有萃取系统，应将出口与其连接。灰尘和粒子如果没有对大粒子物质的进入进行控制，在z*坏情况下，ACP系列多级罗茨泵可堵塞并彻底失效。为此，在含尘工艺或如玻璃制造中，在进气侧安装过滤器以防止造成破坏。腐蚀性气体ACP系列泵不适合于抽空大量的腐蚀性气体。在这方面多级罗茨泵可用于半导体、太阳能和涂料行业中的腐蚀性气体工艺（见第4.6节）。

该例中，工作真空度1mbar低于1.5mbar，所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求　　另外应当考虑的是，对预抽时间的要求问题，如果正常工作时间远比预抽时间长，可选较小的前级泵，假如真空室较大，而且要求很快预抽，就要用较大的前级泵，有时为了更好发挥设备的效率，机组装有较大的预抽泵，在正常工作后停掉它，而用较小的前级泵维持，这样做是为了节约功率。　　对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对极限真空度要求较高（达1X10-3Pa～1X10-2Pa压力）一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度要求在（1X10-2Pa～1X10-1Pa）之间可选用单级油封机械泵作为前级泵，极限真空度要求在133～1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。　　当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否则将使压缩比过大，造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。　　选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。　　为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。。

对特殊强腐蚀性气体，应认真判断是否与本设备所使用材料有反应，并谨慎使用特点1.比其它类型真空泵节电35%以上。2.特制的流体消声器，减少水中气体，使真空度更高更稳；减少气液摩擦，降低噪声。3.双抽头、双表显，可单独或并联使用。4.耐酸、碱、溶剂腐蚀。真空度上不去应首先判断是否被抽容器泄漏或皮管接动松动。如属泵的问题，则检查进水口或各气路是否堵塞或松动漏气。循环水真空泵的电机不转，应检查电源或保险丝。如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。真空泵在工作第一个月内，经100h更换润滑油，以后每隔500h，换一次油。

3、TRP型直连旋片式真空泵技术性能见表3-64。

在一个泵中，两个同步反向旋转的转子（1）在单个壳体中非接触旋转（图4.9）该转子具有8字形结构，且相互之间由窄间隙分离开来。有四到六对转子位于转子轴上。每个转子腔通过带有喷气口的定子盘与其他转子分离开来。输送的气体从入口（3）被抽到出口（4）、一个轴由电机（5）驱动。另一轴通过齿轮箱中的正时齿轮（6）同步进行。润滑仅限于齿轮箱和封装的低压和高压轴承（9），其与吸入室（7）通过轴封（8）密封开来。风冷式多级罗茨泵的工作原理由于吸入室中无摩擦，罗茨真空泵可在高达6000rpm的高转速下操作。转子质量围绕轴线对称分布还产生完美的动态平衡，这意味着，尽管其转速很高，泵的运行却极为安静。。

根据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵、中真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵现在就来说说罗茨泵特点和用途。　　一、罗茨泵特点　　在较宽的压强范围内有较大的抽速，　　对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感，　　转子不必润滑，泵腔内无油，　　振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀，　　低转速，效率高，体积小，流量大，消耗功率小，自吸能力强，不用引油，使用方便等特点。　　二、罗茨泵用途　　可广泛用于输送石油及石油产品（汽油可换铜泵叶）和工厂输送各种油类和液体。如原油，油漆，润滑油，玻璃胶，油脂酸，牙膏和淡碱性（肥皂加工）液体等，食品加工可输送各种液体，如豆酱，醺母，糖稀等。装卸各种油槽车及油轮等速度快、效率高，使用方便，可以正反转工作。。