干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中，2）半导体刻蚀工艺

在一个泵中，两个同步反向旋转的转子（1）在单个壳体中非接触旋转（图4.9）该转子具有8字形结构，且相互之间由窄间隙分离开来。有四到六对转子位于转子轴上。每个转子腔通过带有喷气口的定子盘与其他转子分离开来。输送的气体从入口（3）被抽到出口（4）、一个轴由电机（5）驱动。另一轴通过齿轮箱中的正时齿轮（6）同步进行。润滑仅限于齿轮箱和封装的低压和高压轴承（9），其与吸入室（7）通过轴封（8）密封开来。风冷式多级罗茨泵的工作原理由于吸入室中无摩擦，罗茨真空泵可在高达6000rpm的高转速下操作。转子质量围绕轴线对称分布还产生完美的动态平衡，这意味着，尽管其转速很高，泵的运行却极为安静。。

泵系统包括一个壳体（1）、一个偏心地安装的转子。（2）、在离心力和弹力作用下径向移动的叶片。（3）以及入口和出口。（4）入口阀（如配置）被设计为真空安全阀，该阀在操作过程中始终处于打开状态。（5）工作室位于壳体内，并受到定子、转子和叶片的限制。偏心安装的转子和叶片将工作室分为具有可变容积的两个独立舱。当转子转动时，气体流入扩大的吸入室直至其被第二个叶片封住。封闭气体然后进行压缩，直到出口阀冲破大气压力而开启。出口阀是油封的。当阀打开时，少量的油进入吸入室，不仅能够对其进行润滑，而且能够将叶片与壳体（定子）密封开来。

表9-22给出了机组型号及技术参数图9-27为抽速曲线，图9-28及图9-29为外形尺寸。。

来源：德国莱宝真空泵德国普旭真空泵进口真空泵真空泵油真空连接件上海振畅机电科技有限公司新买来真空泵机组在使用之前只有引出电缆，安装的时候还需要自己另外再接电缆，然而，接电缆的时候一定要注意方法正确，不然对真空泵机组的使用有很大影响，那么，为了更好的为大家服务，接下来我们来为大家讲解一下真空泵机组的接线方式：真空泵机组在进行接线的时候，要注意必须要用涤纶绝缘胶带包扎时一定要压住圈的一半，包扎8-12层，包好后，再用塑料胶带包两层以作强度；关于真空泵机组在进行接线的时候，要处于它的电缆铜芯剥出约30—35mm长，用砂布将铜丝擦干净，发亮为宜，同样将外接三芯电缆的铜丝剥出30—35mm，用砂布擦干净真空泵机组的接线，会把三芯电缆与外接电缆剥出的铜丝部分对插起来，然后用一根细铜丝按图示样绑扎紧，剩余部分剪去，用剪刀按平，防止扎手；就此进行接线的时候，应该把真空泵三个线头分别用焊锡焊牢，要求焊头表面光滑，无毛刺及假焊现象，如果没有焊牢或不光滑，应对真空泵重新焊接，直到达到要求为止。真空泵机组的接线，必须用塑料胶带把三跟线包在一起，包扎两层，层超过每根导线绝缘层末端50mm以上，第二层超过层末端50mm；包扎好之后要取一盆凉水将包扎好的线头安全浸泡在水中，12小时后，用500V兆欧表测量绝缘不能低于50兆欧，否则应重新包扎直到达到要求为止。真空泵机组的接地线也须按潜水电缆接线工艺要求包扎；真空泵机组的接好线之后应该在下井的同时不断的摇测绝缘电阻观测其变化以防井壁挂破电缆绝缘皮，若是发现绝缘程度急速下降到了0.5兆欧以下的时候必须要把机组提上来去检测原因。。

用螺栓将泵盖紧固在泵体上；3、泵装好后，用手转动电机风扇，泵必须旋转顺畅如泵旋转不顺畅或泵旋转过程中出现摩擦声，应拆开泵盖检查叶轮间隙情况等，重新调整。水环式真空泵振动现象该如何处理？一、加装弹簧隔振器1、真空泵弹簧隔振器样式的选择一般选用自立式弹簧减振器，其优点结构简单、造价较低，弹簧裸露在外，便于随时观察弹簧状态，对于需更换的弹簧提前处置，以避免弹簧锈蚀过度损坏时，造成真空泵突然沉降造成设备损害及管路扯断等现像。2、弹簧的选择一般减振器厂家选用弹簧需满足以下要求：弹簧直径应不少于其在额定负载下高度的0.8倍，弹簧须具备一定的额外行程，涡街流量计至少等于额定静挠度的50%，弹簧的水平刚度至少是坚直钢度的100%，以保证减振器的稳定性。3、弹簧减振器挠度的选择通常减振器厂商所提拱的弹簧减振器额定挠度（弹簧额定压缩量）一般为25MM（自频率值约3-4HZ），此挠度可应于650转每分钟的真空泵的隔振。当转速低于650时，建议使用40以下挠度之弹簧隔振器。二、加装橡胶隔振器橡胶隔振器之选择：材质一般为氯丁胶（C.R），天然胶（N.R），一般选用压缩型橡胶减振器，对于重量较轻的真空泵，可选用剪切型橡胶减振器，相较弹簧减振器，橡胶减振器隔振性能相对相差些。三、加装隋性基座为满足更加严格的振动制标准，加装隋性基座时，配合使用弹簧隔振器，无疑是的选择。水环式真空泵汽蚀现象的消除方法水环式真空泵在汽蚀状态下长时间工作，会造成泵的噪声、振动变大，甚至对泵造成损坏，因此应尽量避免水环式真空泵在汽蚀状态下工作，可通过以下方法消除。1、降低水的温度由于真空泵冷却水温升高会导致其抽气能严重降低，真空泵密封水温度必须低于排汽压力对应的饱和温度，否则就会使真空恶化，还会导致真空泵叶轮的汽蚀损坏。因此降低水的温度达防止汽蚀的效果。

处理之道：查看空隙是不是过大，替换新的零部件。

由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压力高于蒸气流中该气体的分压力，所以被抽气体分子就不断地扩散到蒸气流中油蒸气撞击被抽气体分子，使被抽气体分子沿蒸气流束的方向高速运动。气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流的碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气流进行多级压缩，z*后由前级真空泵抽走。而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到油锅中重新被加热，如此循环工作。。

3、水环真空泵开泵（1）确认泵电机已送电，具备开机条件，联系相关岗位操作员，确认泵不转，盘车均匀灵活，打开泵入口阀打开1/3阀位，启动电动机，启动电机后立即将泵体注水线上的阀门，密封液阀打开，使得泵体与汽水分离器内的水达到平衡状态，若出现下列情况立即停泵:异常泄漏，异常振动，异常声音，异味，火花，烟气，电流持续不下（2）调节泵进出口阀，确认泵入口真空度在0。08-0。02Mpa之间，出口流量正常，电动机电流在正常范围内，调整泵流量，联系相关岗位操作员，确认泵进出口压力稳定。注意:水环真空泵严禁无液体空转，以免损坏零件，水环真空泵启动后，在出口阀未开的情况下，严禁长时间运行。3）、启动后确认和调整:确认泵流量，压力正常且稳定，确认泵的振动正常，确认轴承箱外部温度不大于70℃，确认无泄漏，确认冷却水温度，压力正常，确认电动机的电流正常，确认电动机振动声音正常。二、水环真空泵停泵操作规程1、停泵通知相关岗位和班长，关闭泵体注水线上的阀门，关闭密封液阀，停电机，关泵出入口阀，确认泵出入口阀全关。2、隔离，排空关闭泵入口阀，关闭泵出口阀，关闭汽水分离器补水阀，确认泵出入口阀关闭。打开汽水分离器排空阀，打开泵体放空阀，确认泵内介质排干净。3、交付检修确认泵出入口阀关闭，确认泵已与系统完全隔离，，确认泵已排干净，排凝阀打开放空阀打开，确认电动机断电，泵附近准备好以下设施:消防蒸汽带和灭火器。三、水环真空泵切换泵操作规程通知相关岗位和班长，按照水环真空泵的开泵操作启动备用泵，在打开备用泵的进口阀同时，关小运行泵的进口阀，保持联系与相关内操岗位的联系，确保流量与压力不要有大的波动，待运行泵进口阀关小到1/3以后，且流量稳定后按照水环真空泵停泵操作，停用运行泵，调解备用泵流量。

即使排气处的微真空或气镇的使用足以置换甚至连续的氦气体吞吐量，如在蒸发器低温恒温器中，几乎与氮或空气具有相同的性能数据在载气禁止使用的应用中（如在闭合环路应用中），泵出口处必须有真空。。

其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中，2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求，4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵，5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。