如下是真空泵
1、激光器不能开启2、激光器不能抽真空3、罗茨泵不能运转或运转3秒钟后停车4、高压不能开启5、放电不能正常进行6、高压开启后立即被过流线路切断
在抽空对环境有害的物质时,液环真空泵不应与淡水一起使用在这种情况下,必须提供封闭的循环系统来推进合适的工作液经过冷却了的热交换器,以提取压缩热。使用气体喷射装置的液环真空泵罗茨真空泵、气体喷射装置和液环真空泵组合实现0.2hPa的极限压力。如果需要实现较低的压力,必须在上游连接附加的罗茨真空泵。。
①每台机组均应经检验合格并附带产品合格证方可出厂 ②机组的检验分为出厂检验和型式检验。 ③出厂检验: 检验项目见[4.技术要求⑤、⑦、⑧、⑨、⑩和⑩]各条款。其中第⑤条按ZBJ78013的规定进行检测,其余各条用目测方法检查。 ④型式检验: 检验项目除按出厂检验项目检查外,还应检查第4中的第⑥条,检测方法按ZBJ78013的规定。 ⑤有下列情况之一时,应进行型式检验: a.新产品试制定型鉴定, b.正式生产后,当结构、材料、工艺有较大改变,可能影响产品性能时, c.正常生产并形成一定批量时,每年抽检1台~2台, d.产品长期停产后,恢复生产时, e.国家质量监督机构提出进行型式检验时。。
故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小3、压缩气体基本上是等温的,即压缩气体过程温度变化很小。4、由于泵腔内没有金属磨擦表面,无须对泵内进行润滑,而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。5、吸气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修方便。缺点:1、效率低,一般在30%左右,较好的可达50%。2、真空度低,这不仅是因为受到结构上的限制,更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液,极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液,可达130Pa。水环式真空泵的分类1、单级单作用水环泵:单级是指只有一个叶轮,单作用是指叶轮每旋转一周,吸气、排气各进行一次。这种泵的极限真空较高,但抽速和效率较低。
二、根据系统所需的气量选择真空泵 初步选定了泵的类型之后,对于真空泵,还要根据系统所需的气量来选用泵的型号关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照:真空计算公式。。
单级双作用是指叶轮每旋转一周,吸气、排气各进行二次在相同的抽速条件下,双作用水环泵比单作用水环泵大大减少尺寸和重量。由于工作腔对称分布于泵轮毂两侧,改善了作用在转子上的载荷。此种泵的抽速较大,效率也较高,但极限真空较低。(2)两级水环式真空泵有两个叶轮串联工作,可以获得更大的排出压力或更高的真空。大多是单作用泵串联而成。实质上是两个单级单作用的水环泵的叶轮共用一根心轴联接而成。它的主要特点是在较高真空度下,仍然具有较大的抽速,而且工作状况稳定。二、按吸气和排气方式:水环式真空泵有轴向吸排气和径向吸排气之分。(1)轴向吸排气方式,气体的吸人和排出是通过壳体侧盖上的吸气口和排出口进行的,其优点是结构简单、维修方便,缺点是气体进入和排出叶轮时,气体流动方向与叶轮叶片运动方向相垂直,而且气体不能在整个叶片宽度上均匀地进出叶轮,这就加大了气体进入叶轮和流出叶轮时的水力损失,降低了泵的效率。(2)采用径向吸排气方式时,气体进入和排出叶轮是通过设置在叶轮内圆处(相当于轮毂处)的气体分配器上的吸气口和排气口来实现的,其优点是气体可以在叶片全宽范围内进入和流出叶轮,而且还可以借助吸气口和排气口的形状使气体进入和排出叶轮的方向与叶轮运动方向大体一致,这就降低了水力损失,提高了泵的效率,缺点是气俸分配器结构较为复杂、加工和安装精度较高。
1、K形动力密封正常运行时不会有滴漏 2、有冷却水装置的,要检查水流是否正常。 真空泵停泵: 1、旋片式真空泵停泵应先关闭出口阀,以防逆止阀失灵致使出水管压力水倒灌进泵内,引起叶轮反转,造成泵损坏。 2、停泵时如果惯性小,即断电后泵很快就停下来,说明泵内有摩卡或偏心现象。。
5.较高的闪点 主要要求罗茨泵中不携带轻质组分,以免影响油品的饱和蒸气压 6.较低的极限压力 极限压力是罗茨泵油重要的使用性能指标以了解在真空极限压力下罗茨泵的极限压力。
B.首先卸下排气管,打开排放阀,然后倒出泵油C.关闭排放阀,并从加油口注入新的真空泵油D.如果泵油污染严重,则必须添加一些新的泵油并通过运行几分钟进行清洁如果清洁不到位,则必须多次清洁E.更换新的泵油后,让泵开始运行,然后在温度升高后检查真空极限压力。F,在维护过程中需要清洗过滤网上海振畅机电专业经营真空设备,回收二手莱宝真空泵,回收二手普旭真空泵,回收各种品牌的真空泵机械,不限品牌,不限型号。供应全新德国莱宝真空泵,供应全新德国普旭真空泵,真空泵油品,真空泵旋片配件,真空泵过滤器配件,真空泵滤芯配件,莱宝真空计,莱宝真空规管等一切真空设备相关产品,另有真空泵维修,真空泵保养等真空泵相关服务。上海振畅机电科技有限公司地址:宝山区月罗公路2120号真空泵与隔膜泵机械密封的正确使用 机械密封件的好坏,是否正常使用都将影响真空泵,隔膜泵的正常运行,影响到泵的使用寿命。如下是真空泵,隔膜泵机械密封的安装与使用要求: 1、机械密封对机器精度的要求:(以真空泵的机械密封为例) (1)转子轴向窜动不超过0.3mm。 (2)密封腔体与密封端盖结合的定位端面对轴(或轴套)表面的跳动公差最大不超过0.04~0.06mm。 (3)安装机械密封部位的轴(或轴套)的径向跳动公差最大不超过0.04~0.06mm。 2、密封件的确认: (1)安装前要仔细地与总装图对照,零件数量是否齐全。 (2)采用并圈弹簧传动的机械密封,其弹簧有左、右旋之分,须按转轴的旋向来选择。 (3)确认所安装的密封是否与要求的型号一致。
其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中,2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒,3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求,4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵,5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。