这就是罗茨真空泵的分子作用原理

无油往复活塞式真空泵的构造与往复式压缩机相同，是由泵体、气缸、气阀组件、活塞、活塞杆、十字头、连杆、曲轴等零件组成。

　　　　③ZL系列油扩散喷射泵技术性能见表4-18。

间隙宽度对压缩比具有重大影响然而，由于活塞与壳体不同的热膨胀，它们不得低于一定的z*小值，以避免转子和定子接触。。

图9-25为JZPS300-21P机组抽速曲线表9-15～表9-21为罗茨泵机组型号及技术参数。

　　工作时，被抽气体由进气口进入转子与泵体之间，这时一个转子和泵体把气体与进气口隔开，被隔开的气体（如图上影线部分所示）在转子连续不断的一旋转过程中，被送到排气口在图3-57（a）中，Vo空间是处在封闭状态的，因此，没有压缩和膨胀。但当转子的峰部转到排气口边缘时，由于VO部分的压力较之排气口处的压力低，为了使相连体积内压力均匀，气体就会从排气口处扩散到Vo区域，其扩散方向与转子旋转方向相反。当转子再转动时，把VO处的气体压缩到排气口将其排出。这时转子的另一面与进气口相连部分则吸入气体，当转子不断地旋转时，重复上述抽气过程不断地排出流进来的气体。这种工作过程相当于转子空间由某一z*小值蝤加到z*大值，然后再由z*大值减小到z*小值。这就是罗茨真空泵的容积作用原理。　　罗茨泵在入口压力很低情况下工作时，由于转子转速很高（1000r/min～3000r/min），转子表面的线速度接近于分子的热运动速度，这时碰撞在转子上的气体分子被转子携带到压力较高的排气口，再被预真空泵排除。这就是罗茨真空泵的分子作用原理。。

罗茨真空泵命名规则和基本参数（摘自ZB/T7674-95），本标准适用于抽速为30L/smdash，20000L/s，工作时必须有前级泵的单级双叶罗茨真空泵1.罗茨泵型号表示方法说明如下：标记示例：（1）抽速为1200L/s的罗茨真空泵，标记为：ZJ-1200。（2）抽速为300L/s的带旁通阀罗茨真空泵，标记为：ZJP-300。2.罗茨泵基本参数应符合表3-81规定。。

1、激光器不能开启2、激光器不能抽真空3、罗茨泵不能运转或运转3秒钟后停车4、高压不能开启5、放电不能正常进行6、高压开启后立即被过流线路切断

　　　　④型式检验：　　　　检验项目除按出厂检验项目检查外，还应检查第4中的第⑥条，检测方法按ZBJ78013的规定　　　　⑤有下列情况之一时，应进行型式检验：　　　　a.新产品试制定型鉴定，　　　　b.正式生产后，当结构、材料、工艺有较大改变，可能影响产品性能时，　　　　c.正常生产并形成一定批量时，每年抽检1台～2台，　　　　d.产品长期停产后，恢复生产时，　　　　e.国家质量监督机构提出进行型式检验时。。

M系列可用于对密封有z*严格要求且要求z*长维修间隔的工艺该系列的大部分与标准系列相同，但是，其特点是额外的严密密封的磁耦合代替了径向轴密封环。这意味着，它在操作中基本无磨损。泵的整体泄漏率小于1middot，10-6Pamiddot，m3middot，s-1。这排除了油泄漏的可能性，过程气体和环境之间也不存在任何交换。M系列标准泵适合于Table4.19中显示的所有应用。此外，这些泵还可用于抽吸有毒气体的工业/化学应用以及超洁净气体应用：例如，用于半导体行业中的CVD和PVD工艺或排空预真空锁/传输室以及用于平面屏幕的生产。M系统可提供的大小范围从250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能数据。

而日前，一种全新型干式螺杆真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用国产车床替代价格昂贵的国外设备生产出螺杆转子，不仅节能30%，还具有设备易损件少、真空度高、抽速大、使用寿命长等特点，可在冶金、电子、石油化工、航空航天等100多个领域替代进口产品　　。