如果真空泵叶轮在汽蚀部位有较大的残余应力，还会引起应力释放，产生裂纹

④使用前级吸附阱，不仅能有效地吸附水蒸气，还可阻挡机械泵油向高真空室的返流工业上常用前两种方法，实验室及小型抽气系统常用后两种方法。。

在气泡凝结破裂的同时，液体质点以很高的速度填充空穴，在此瞬间产生很强烈的水击作用，并以很高的冲击频率打击金属表面，冲击应力达到几百至几千个大气压，冲击频率达到每秒几万次，严重时会将壁厚击穿　　　　在真空泵中产生气泡和气泡破裂使过流部件遭受到破坏的过程就是真空泵中的汽蚀过程。真空泵产生汽蚀后除了对过流部件产生破坏作用，还会产生噪声和振动并导致泵的性能下降，严重时会使泵中液体中断，不能正常工作。　　　　水环泵的汽蚀损坏都是在气泡产生和破裂的部位，金属表面出现点蚀现象，严重的会出现蜂窝状损坏。如果真空泵叶轮在汽蚀部位有较大的残余应力，还会引起应力释放，产生裂纹。由于泵汽蚀时气泡在高压区连续发生突然破裂，以及伴随着强烈水击产生的噪声和振动，可以听到像爆豆似的劈劈啪啪的声音。如果上述气泡在金属表面上破裂，金属表面将受到连续强烈的水击出现麻点，金属晶粒松动并剥落而成蜂窝状甚至穿孔。汽蚀破坏除机械作用外，还伴随着电解、化学腐蚀等多种复杂的作用。实际破坏效果表明，泵过流部件汽蚀破坏的部位，正是气泡消失的地方。真空泵需要用液体作为工作介质。每种液体　　　　在某一温度下都有对应的饱和蒸汽压。

1、国产2XZ型直连旋片式真空泵技术性能见表3-60~表3-622、国产XZ型直连旋片式真空泵技术性能见表3-63。3、TRP型直连旋片式真空泵技术性能见表3-64。。

　　干式真空泵至今没有明确定义，就代替油封式机械泵而言，一般通用的说法是：能在10^5Pa（1大气压）mdash，10^-2Pa的压力范围内工作；在泵腔内不使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接向大气排气的泵称为干式兵空泵，又称无油真空泵　　干式真空泵种类很多，按工作原理可分为两类：①容积式干式真空泵，例如：多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等，这种干式泵的极限压力一般为0.1Pamdash，10Pa，抽速为0.01msup3，/smdash，0.04msup3，/s。②动量传递式干式真空泵，例如：涡轮式干泵。排气侧与大气相接，在粘滞流状态下压缩比较高。可从10^5Pa（1大气压）抽到10^-2Pa在结构上采用径向流和轴向流复合式结构，多级串联。这种涡轮式干泵的极限压力约为10^-2Pa，抽速为0.02msup3，/smdash，0.15msup3，/s牵引型干泵也属于动量传输式干式泵。　　这些干式泵和油封式机械泵相比，在各自的极限压力条件下，其残余气体成分全然不同。分析结果表明，油封泵的残余气体，主要成分为CnHm（碳氢化合物），而于式泵的残余气体的主要成分为空气，这就证实了用干式泵抽气基本上不被油蒸气污染。　　有些干式泵在结构设计上（例如泵的传动齿轮和轴承等）仍在使用润滑油，也有用合成油如PFPE油和其它油脂，不过采取一定的措施可使油蒸气在泵腔内几乎不存在。严格来说这种泵不是全无油泵。经分析，这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的，对大多数电子产业来讲并无影响。

也可以用于化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。

泵参数可实时显示接口泵和系统控制之间可配置定制接口，以提供到生产设备控制单元的连接。水连接泵的水连接和连接冷却水管道的适当快速接头耦合可提供黄铜和不锈钢版本，以提供z*好的耐腐蚀性。所列配件不一定建议用于或适用于本节所描述的泵的各个型号。根据要求，可提供其他配件，如用于其他接口、电气安全、连接或安全运送的配件。。

在实际情况中，真空泵的绝对压力值介于0～101.325KPa之间绝对压力值需要用绝对压力仪表测量，在20℃、海拔高度＝0的地方，仪表的初始值为101.325KPa。相对真空度是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。在没有真空的状态下，表的初始值为0。当测量真空时，它的值介于0到－101.325KPa（一般用负数表示）之间。比如，测量值为－30KPa，则表示泵可以抽到比测量地点的大气压低30KPa的真空状态。同一台泵在不同的地点测量，其相对压力值可能是不同的，因为不同测量地点的大气压是不同的，这是各地的海拔高度、温度等不同客观条件造成的。国际真空行业通用的、也是z*科学的是用绝对压力标识；由于测量相对真空度的方法简便、测量仪器非产普遍、容易买到且价格便宜，因此它也得到广泛应用。当然，理论上二者是可以相互换算的。换算方法如下：绝对压力＝测量地点的气压－相对压力。

当叶轮顺时针旋转时，此时泵体的水会随着叶轮的转动而被甩向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环水环的上部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的下部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的上部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。水环式真空泵的特点：优点：1、结构简单，制造精度要求不高，容易加工。2、结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。3、压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。4、由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。5、吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。

1、激光器不能开启2、激光器不能抽真空3、罗茨泵不能运转或运转3秒钟后停车4、高压不能开启5、放电不能正常进行6、高压开启后立即被过流线路切断

　　一、定片式真空泵　　其结构简单且使用寿命长，检修容易，双级泵的极限真空度可达10ndash，3Torr，但抽速较小，应用很少　　二、旋片式真空泵　　分为单级旋片式真空泵（由定子、旋片、转子等组成，只有一个工作室）和双级旋片式真空泵（它由两个工作室组成，两室前后串联，同向等速旋转，Ⅰ室为Ⅱ室的前级）。　　三、滑阀式真空泵　　主要由泵体及内部做偏心转动的滑阀部件、半圆形的滑阀导轨、排气阀、轴等组成。。