而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果

在蒸馏的时候，需要通过真空控制器设置合理的真空值，保证蒸馏效率，同时避免爆沸目前隔膜真空泵的极限真空最低可达2mbar，循环水泵的极限真空大约50mbar（0.095kpa）。如果预算允许，真空控制器或真空阀就很有必要，它能控制好蒸馏所需的系统真空值。密封圈：作为承接蒸发管和冷凝管的关键密封件，其耐磨性和耐腐蚀性是关键。常用作密封圈的材质是：PTFE和橡胶，显然PTFE的耐磨性和耐腐蚀性都会更好。个别厂家在密封圈中，加了不锈钢的缓冲弹片，耐磨性更好。真空管材质：一般各厂家没有标配真空管，自行选购的时候，硅胶管自然是首选了，因其老化效率比橡胶管慢。2、加热锅温度加热锅温度越高，溶剂的蒸馏效果越快，但考虑到目标成分的热敏性、操作的安全性，最常用的温度是60℃。再者80°C以上，改用硅油作为介质会带来清洁的问题，一般更建议降低真空值来达到更快的蒸馏效率。目前市面上，最好的隔膜真空泵，极限真空可以达到2mbar，DMF在常温下都可以蒸馏出来。3、蒸发瓶的转速蒸发瓶的转速越快，瓶内表面浸润面积愈大，受热面积大；但同时液膜厚度也愈厚，增大传热温差。

其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中，2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求，4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵，5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。

作为独立泵（也见图4.4），它们在低、中真空段中涵盖了广泛的压力范围由于其内部压缩，它们可在0.1至1000hPa整个入口压力范围内以相对低的驱动电力连续进行工作。在与Okta-Line罗茨泵组合使用时，甚至可实现5middot，10-3hPa的极限压力。多级罗茨泵ACP范围内的多级罗茨泵实现了紧凑型泵站，抽速高达285m3middot，h-1。将ACP前级泵与罗茨泵组合使用，可实现z*终压力高达5middot，10-3hPa。。

故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小和旋片真空泵相比，他可以抽送带有水蒸气的气体，这是旋片真空泵无法具备的优势，但是水环真空泵用水做密封溶剂，旋片真空泵使用真空油做为溶剂介质，所以就真空度而言，略低于旋片真空泵。。

1、激光器不能开启2、激光器不能抽真空3、罗茨泵不能运转或运转3秒钟后停车4、高压不能开启5、放电不能正常进行6、高压开启后立即被过流线路切断

2.罗茨泵基本参数应符合表3-81规定。

　　当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否则将使压缩比过大，造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作　　选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。　　为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。。

其型号及技术性能见表9-31。

⑥在很宽的压力范围内（1times，10^3Pa～1Pa）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的气体，弥补了扩散泵和油封机械泵在（1times，10^3Pamdash，1Pa）耐抽速都很小的缺陷因此，它z*适合作增压泵用。　　罗茨泵的缺点是泵的转子制造较难，抽除氢气的效果不如油增压泵高。　　罗茨泵广泛用于真空冶金工业的真空脱气、真空熔炼、钢水真空处理，以及空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体。也可以用于化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。。

在恒定抽速下，旋片式真空泵在广泛的压力范围内具有极限压力大约为plt，1hPa在气镇阀开启时，罗茨真空泵站实现的极限压力大约为10-2hPa。使用这些类型的泵站，可抽出水蒸气以及很多溶剂蒸汽和气体具有足够高蒸气压且没有化学分解泵油的其他蒸汽。其中的例子包括醇类、卤代烃类以及光的正构烷烃等。。