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比其它类型真空泵节电35%以上

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-11-26 6:01:41 * 浏览: 54

  ②双级旋片式真空泵的工作原理(图3-23)  双级旋片式真空泵由两个工作室组成。两室前后串联,同向等速旋转,工室是Ⅱ室的前级,工室是低真空级,Ⅱ室是较高真空级。被抽气体由进气管道进入Ⅱ室。当进入气体压力较高时,气体经Ⅱ室压缩、压强急增,被压缩的气体除经通道2进人工室外,还能推开排气阀1,从排气阀1排出。  当进入Ⅱ室的气体压力较低时,虽经Ⅱ室的压缩也推不开排气阀1,气体全部经通道2进入工室,经I室的继续压缩,由排气阀3排出。因而双级旋片式真空泵比单级旋片式真空泵的极限真空高。。

近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。

某些腐蚀性气体可导致水箱内水质变差,产生气泡,影响真空度,故应注意不断循环换水对特殊强腐蚀性气体,应认真判断是否与本设备所使用材料有反应,并谨慎使用。特点1.比其它类型真空泵节电35%以上。2.特制的流体消声器,减少水中气体,使真空度更高更稳;减少气液摩擦,降低噪声。3.双抽头、双表显,可单独或并联使用。4.耐酸、碱、溶剂腐蚀。真空度上不去应首先判断是否被抽容器泄漏或皮管接动松动。如属泵的问题,则检查进水口或各气路是否堵塞或松动漏气。循环水真空泵的电机不转,应检查电源或保险丝。如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。真空泵要停止使用时,先关闭闸阀、压力表,然后停止电机。

动涡旋盘由偏心轴驱动与静涡旋盘做相对摆动运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成吸气、压缩、排气的循环  与其他种类的无油真空泵相比无油涡旋真空泵具有下述特点:  ①无油,无摩擦---非接触,无磨损,不产生微粒尘埃污染,可获得清洁真空;  ②抽气量大---双涡旋盘结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍,节省能源;  ③抽气效率高---带有3-4个抽气单元,压差小;大气与真空之间由0型圈密封,泄漏低;  ④非接触,良好平衡,力矩影响小,噪音低,振动小;  ⑤结构简单紧凑,相同尺寸下,运动半径小,运行平稳;  ⑥体积小,维修方便,维护费用低;    ⑦采用空气冷却,无需水冷。  该涡旋真空泵主要应用于下述领域:  ①半导体行业mdash,mdash,薄膜制备设备、半导体器件封装设备;  ②科学仪器行业mdash,mdash,同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;  ③机械设备行业mdash,mdash,材料制备设备、真空检测、材料提纯设备;  ④化学工业;  ⑤医疗设备mdash,mdash,牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备;  ⑥包装行业mdash,mdash,食品、药品、生物制品等包装设备。  该涡旋真空泵能够给用户解决真空系统的污染与振动等基础、共性问题,并且使系统制造与运行成本降低。因此在国外市场扩展迅速,仅日本一个公司产品在中国z*近3年间销售额就增长了10倍。是一项不容忽视的技术与产品。  本文总结了无油涡旋真空泵的技术发展与应用,内容包括从涡旋技术的发展到无油涡旋真空泵的工作原理、制造工艺、技术指标、特点、基本用途和实际应用方法;对无油涡旋真空泵技术有一个系统的介绍。。

①2XZ型直联真空泵抽气速率与进气口压力曲线如图3-32所示②2XZ-B型直联真空泵抽气速率与进气口压力曲线如图3-33所示。③2X2-2B、2X2-4B、2X2-8D、2XZ、15D型直联旋片式真空泵特性曲线如图3-34所示。。

  在电机的带动下,曲轴每转一圈,就有一组新的月牙封闭腔形成,从而实现涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环,对被抽气体形成包容和强制输送  通过动图我们可以更直观的了解涡旋式真空泵转子的运行模式。  三、涡旋式真空泵的结构特点  涡旋式真空泵的结构简单,主要由5个部件组成  ①动静涡旋盘副与基座;②曲轴;③密封件;④防自转机构;⑤电机涡旋真空泵结构  涡旋式真空泵的主要运动件只有动涡旋盘,动力传递简单,相同尺寸下运动半径小,所以其具备了结构简单紧凑、运行平稳,几乎无磨损,消耗功率小等特点,这是其他类型的干式真空泵所不具备的。  涡旋式真空泵抽速较小,同时也不适宜用于有毒、易燃易爆气体、腐蚀性气体及药品、溶剂、粉状体等介质工况环境。因此目前涡旋式真空泵较多应用于分析仪器、半导体芯片生产线、液晶显示器生产线和科研设备上。因其可以直接在大气压下启动,很多时候作为分子泵与小型低温泵的前级泵出现。真空泵真空泵真空泵的基本特点_真空泵。

无往复运动质量还能提供无故障的动态平衡,这意味着,罗茨真空泵的运转极其安静,尽管其具有高转速设计转子轴轴承安排在两个侧盖中。它们在一侧被设计为固定轴承,在另一侧被设计为可动(松动)轴承,以实现壳体和转子之间不平衡热膨胀。轴承使用通过飞溅圆盘置换到轴承和齿轮的油进行润滑。标准版本上驱动轴馈通与外部通过浸入在密封油中、由FPM制成的径向轴密封环密封。为保护轴,密封环在保护套上运行,该保护套在磨损后可更换。如果与外部之间需要进行严密密封,泵还可通过带有罐装置的永磁体耦合方式驱动。该设计能提供泄漏率QI小于10-6Pam3s-1。泵性能,加热由于罗茨泵没有内部压缩或出口阀,当吸入室打开时,其气体体积回流到吸入室,然后必须对着出口压力重新排放。由于这种影响,特别是在入口和出口之间存在高压差的情况下,产生高能量耗散,这导致泵在低气体流量下显著变热,而低气体流量只能传送少量的热。与壳体相比,旋转罗茨活塞相对难以冷却,因为它们实际上是真空绝缘的。

使用第三级罗茨辅助A1803H型号,可提供紧凑、极其强大的泵站,具有z*大抽速,适合于CVD工艺AD73KH在空运行流程泵上采用变频控制的罗茨泵,罗茨泵在其本身的框架内具有额定抽速4500m3middot,h-1。由于模块化结构,安装很容易,且泵站中的各个泵可单独取出,并在维修工作进行的情况下进行保养。进气侧的罗茨泵变频器允许在广泛的气体吞吐量范围对过程参数进行调整,并允许各种不同的过程气体。普发真空不断监测行业各个领域中工艺的动态发展,并在未来将继续提供优化的泵解决方案以满足这些需求。。

2、国产XZ型直连旋片式真空泵技术性能见表3-633、TRP型直连旋片式真空泵技术性能见表3-64。。

现在就来说说罗茨泵特点和用途  一、罗茨泵特点  在较宽的压强范围内有较大的抽速,  对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感,  转子不必润滑,泵腔内无油,  振动小,转子动平衡条件较好,没有排气阀,  低转速,效率高,体积小,流量大,消耗功率小,自吸能力强,不用引油,使用方便等特点。  二、罗茨泵用途  可广泛用于输送石油及石油产品(汽油可换铜泵叶)和工厂输送各种油类和液体。如原油,油漆,润滑油,玻璃胶,油脂酸,牙膏和淡碱性(肥皂加工)液体等,食品加工可输送各种液体,如豆酱,醺母,糖稀等。装卸各种油槽车及油轮等速度快、效率高,使用方便,可以正反转工作。。