各种干式真空泵的极限压力、特点见表3-114
厦门多级离心风机多少钱而日前,一种全新型干式螺杆真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功,用国产车床替代价格昂贵的国外设备生产出螺杆转子,不仅节能30%,还具有设备易损件少、真空度高、抽速大、使用寿命长等特点,可在冶金、电子、石油化工、航空航天等100多个领域替代进口产品 。
PlV真空泵价格目前,国内外一般采用碳素材料;同时也因其无油,为减少气体的泄漏,该泵采用多个旋片结构。
厦门CV2真空泵价格其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中,2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒,3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求,4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵,5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。
厦门纳西姆真空泵价格 XG-6型干式旋片真空泵技术性能见表3-115 XG-6型干式旋片真空泵外形及安装尺寸见表3-116。。
厦门螺杆鼓风机多少钱严格来说这种泵不是全无油泵经分析,这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的,对大多数电子产业来讲并无影响。 干式真空泵按转子接触与否又可分为非接触型(罗茨式、爪式、螺杆式)和接触式(叶片式、凸轮式、活塞式)两类。非接触型的泵可以高速旋转,但z*大压缩比小。接触型的泵转速不能太高,但z*大压缩比大,尤其在大气压附近,因返流变小使后者的压缩比为前者的5倍~8倍。另外,干式真空泵的转速越高,其压缩比越大,因此非接触型干式真空泵的转速多为3000r/min。 各种干式真空泵的极限压力、特点见表3-114。 一般对干式真空泵的要求为:①清洁;②安全;③耐磨;④造价低;⑤维修方便;⑥性能稳定;⑦振动小,噪声低。只有这样,干式真空泵才有使用和推广的价值。在清洁的要求方面,对于那些用油润滑的干式真空泵都有一个潜在的油蒸气的污染源存在,要采取一定措施加以解决。。
目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中,2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒,3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求,4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵,5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。