真空室的极限真空与哪些因素有关

真空室的极限真空与哪些因素有关

在真空应用中，如何了解自己的真空室能达到什么样的极限真空，与哪些因素有关，螺杆真空泵厂家来告诉您。

螺杆真空泵厂家在真空泵的极限真空度介绍中，介绍过真空泵的极限真空是在不引入气体的状态下经过长时间抽气后所能达到的一个稳定的真空度。但在实际应用中，并不是说选了一个1Pa极限真空的真空泵，就能让真空室达到1Pa的极限真空。因为在真空系统中，不仅仅是真空室，还包括真空泵、管路阀门等等这些，都会存在漏气以及材料本身的放气，还有一些通过器壁渗透进来的气体、材料本身的蒸气（主要是超高真空系统中）。因此真空泵或者真空抽气机组在对真空室的抽气过程中，受这些不断产生的气体影响，很难达到设备本身的极限真空度。

因此真空室所能到达的极限真空，通常总是低于真空泵、真空抽气机组的极限真空的。它的影响因素一方面取决于选型的真空泵设备所能达到的极限真空度，另一方面还取决于真空室抽气口处泵的有效抽速与空载时真空室内的气体负荷（漏气、放气、渗透）。总的来说，真空泵或者真空抽气机组的极限真空度越高，相对有效抽速就会越大，真空室的极限真空度也就越高；同时空载时真空室内的气体负荷越小，它的极限真空也更高。

用式子来表达就是：真空室的极限真空=真空泵或真空机组的极限真空+（真空室的漏气流量+材料放气、解吸流量+器壁渗透气体流量）/抽气口真空泵有效抽速+真空室材料饱和蒸气压力。对于常见的中低真空应用中，真空室的气体负荷一般只考虑漏气，也就是：真空室的极限真空=真空泵或真空机组的极限真空+真空室的漏气流量/抽气口真空泵有效抽速。