它除了具有一般罗茨真空泵机组的一些特点外由于采用水环式真空泵作前级泵因此它特别适用于抽除含较多蒸气及...

1．各级喷嘴的工作点和A/m、Fc/A和G/A比参数的确定具有两级扩散喷嘴、两级喷射喷嘴的四级油扩散喷射泵，在它的工作压力（10^-2Pa～10Pa）范围内，各级喷嘴出口平面上的蒸气流压力值按表4-12选取　　　　油扩散喷射泵在不同喷嘴出口平面上的蒸气射流压力下，比参数A/m、F。/A和G/A的变化关系如图4-23、图4-24和图4-25的曲线所示。图中，A-喷嘴出口平面上的环形抽气面积[cm^2]，F。mdash，mdash，喷嘴的喉部面积[cm2]，G-喷嘴在单位时间内的蒸气喷射量[g/s]，m-泵能抽除的z*大的空气的质量流量[g/s]。　　　　由各级喷嘴的工作点和图4-23、图4-24和图4-25的曲线可以求出各级喷嘴的A/Fc及G值。　　　　2.扩散喷嘴的直径、角度、导致管直径及喷嘴间距的确定　　　　根据空气动力学理论，扩散喷嘴在单位时间内喷出的蒸汽量G为　　　　350　　　　L2mdash，mdash，第二级导流管入口平面与该级喷嘴喉部中心平面间的距离[cm]；　　　　Pmdash，mdash，油锅中的油蒸汽压力[Pa]。　　　　3．喷射喷嘴喉部直径的确定。

　　2.合适的粘度和良好的粘温特性　　罗茨泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性　　3.良好的热氧化安定性　　罗茨泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求罗茨泵油具有良好的热氧化安定性。　　4.良好的抗腐蚀性和抗乳化性　　ZJ型罗茨泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件，吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起罗茨泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。　　5.较高的闪点　　主要要求罗茨泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。　　6.较低的极限压力　　极限压力是罗茨泵油重要的使用性能指标以了解在真空极限压力下罗茨泵的极限压力。

进气侧的罗茨泵变频器允许在广泛的气体吞吐量范围对过程参数进行调整，并允许各种不同的过程气体普发真空不断监测行业各个领域中工艺的动态发展，并在未来将继续提供优化的泵解决方案以满足这些需求。。

不同类型的干式泵具有各自的特点使用时可根据不同的用途加以选择。。

　　干式真空泵至今没有明确定义，就代替油封式机械泵而言，一般通用的说法是：能在10^5Pa（1大气压）mdash，10^-2Pa的压力范围内工作；在泵腔内不使用任何油类和液体，排气口与大气相通，能直接向大气排气的泵称为干式兵空泵，又称无油真空泵　　干式真空泵种类很多，按工作原理可分为两类：①容积式干式真空泵，例如：多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等，这种干式泵的极限压力一般为0.1Pamdash，10Pa，抽速为0.01msup3，/smdash，0.04msup3，/s。②动量传递式干式真空泵，例如：涡轮式干泵。排气侧与大气相接，在粘滞流状态下压缩比较高。可从10^5Pa（1大气压）抽到10^-2Pa在结构上采用径向流和轴向流复合式结构，多级串联。这种涡轮式干泵的极限压力约为10^-2Pa，抽速为0.02msup3，/smdash，0.15msup3，/s牵引型干泵也属于动量传输式干式泵。　　这些干式泵和油封式机械泵相比，在各自的极限压力条件下，其残余气体成分全然不同。分析结果表明，油封泵的残余气体，主要成分为CnHm（碳氢化合物），而于式泵的残余气体的主要成分为空气，这就证实了用干式泵抽气基本上不被油蒸气污染。　　有些干式泵在结构设计上（例如泵的传动齿轮和轴承等）仍在使用润滑油，也有用合成油如PFPE油和其它油脂，不过采取一定的措施可使油蒸气在泵腔内几乎不存在。严格来说这种泵不是全无油泵。经分析，这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的，对大多数电子产业来讲并无影响。

　　　　　　另外应当考虑的是，对预抽时间的要求问题，如果正常工作时间远比预抽时间长，可选较小的前级泵；假如真空室较大，而且要求很快预抽，就要用较大的前级泵，有时为了更好发挥设备的效率，机组装有较大的预抽泵，在正常工作后停掉它，而用较小的前级泵维持，这样做是为了节约功率　　　　　　对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对极限真空度要求较高（达1X10－3Pa～1X10－2Pa压力）一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度要求在（1X10－2Pa～1X10－1Pa）之间可选用单级油封机械泵作为前级泵，极限真空度要求在133～1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。　　　　　　当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2－1/4，不能太大，否则将使压缩比过大，造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。　　　　　　选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。　　　　　　为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。。

图9-25为JZPS300-21P机组抽速曲线表9-15～表9-21为罗茨泵机组型号及技术参数。

它除了具有一般罗茨真空泵机组的一些特点外，由于采用水环式真空泵作前级泵，因此，它特别适用于抽除含较多蒸气及有一定腐蚀性气体的工业流程中例如：化工产品的真空蒸馏、真空蒸发、脱水结晶，轻纺工业的涤纶切片干燥，食品工业的冷冻干燥等工艺均可采用。表9-24给出了JZJS型罗茨泵一水环泵真空机组型号及技术参数。图9-34为该机组抽速曲线。。

遥控遥控允许在泵的集成存储器上设置和保存泵参数泵参数可实时显示。接口泵和系统控制之间可配置定制接口，以提供到生产设备控制单元的连接。水连接泵的水连接和连接冷却水管道的适当快速接头耦合可提供黄铜和不锈钢版本，以提供z*好的耐腐蚀性。所列配件不一定建议用于或适用于本节所描述的泵的各个型号。根据要求，可提供其他配件，如用于其他接口、电气安全、连接或安全运送的配件。。

但在抽宇量多的环境下可以增长几台真空泵并联利用，同样在真空罐上配有远传压力表来监控真空的变革环境，议决智能控制柜时时调解真空泵的启停，同样也可以将这套理论套用至旋片式真空泵的原理上来。