TRP型直连旋片式真空泵技术性能见表3-64

注意不要将橡胶密封圈和纤维质垫圈丢失2，小心地取下弹簧和毛毡垫片然后再取出纸质过芯。3、用毛刷除过滤芯折缝里的灰尘和异物，然后用手将其平放轻拍使剩余的灰尘落下，擦去外壳内壁的灰尘及纤维垫上的灰尘。4、按拆卸时相反的顺序将已清扫干净或新的过滤芯装回去。

1.罗茨泵型号表示方法说明如下：标记示例：（1）抽速为1200L/s的罗茨真空泵，标记为：ZJ-1200（2）抽速为300L/s的带旁通阀罗茨真空泵，标记为：ZJP-300。2.罗茨泵基本参数应符合表3-81规定。。

这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。6、干泵国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。。

化学工艺的持续发展，特别是在半导体和太阳行业中，对所用真空泵不断地提出新的要求基于多级罗茨泵的可靠技术，普发真空凭借其H系列为这些行业领域中的苛刻工艺提供完美的解决方案。与先前泵解决方案相比，过程压力下的气体吞吐量、粒子耐受性和耐冷凝性已显著提高。与P（用于一般工艺）系列泵一样，H系列（用于苛刻工艺）泵配备了温度控制和惰性气体冲洗系统。但是，用于优化工艺调节的参数范围比P系列泵更广。该泵系列是基于A203H空运行流程泵。我们已采用了该系列的另外三个型号并辅以罗茨泵用于过程压力范围内提高了的抽速和气体吞吐量。由于使用了特殊材料，这些泵的腐蚀性气体设备使其还可使用强氧化剂，如NF3。该泵广泛的温度范围使其能够适应各种不同的工艺，如低温下的钨沉积或高温下的氮化物沉积。高效的电机产生低压力下的能源节约，并因其高扭矩，在泵停机后提供良好的启动性能。得益于它们相同的接口和相同的介质连接，A3H系列型号可与P系列泵理想兼容。

工业上常用前两种方法，实验室及小型抽气系统常用后两种方法。

　　对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对极限真空度要求较高（达1X10-3Pa～1X10-2Pa压力）一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵极限真空度要求在（1X10-2Pa～1X10-1Pa）之间可选用单级油封机械泵作为前级泵，极限真空度要求在133～1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。　　当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否则将使压缩比过大，造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。　　选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。　　为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。。

②2XZ-B型直联真空泵抽气速率与进气口压力曲线如图3-33所示③2X2-2B、2X2-4B、2X2-8D、2XZ、15D型直联旋片式真空泵特性曲线如图3-34所示。。

水环式真空泵的工作原理在水环式真空泵内装有星形叶轮，其工作原理中有一点离心力的作用，不过总体来说还是属于一种容积式泵:是一种依靠容积变化原理来工作的泵在水环式真空泵中装有与泵体相对偏心的星形叶轮，当水环式真空泵要投人运行的时候，打开吸气阀和出气阀，并且适当开启补水阀（补水压力一般在80-150kpa）。开动真空泵后，偏心的叶轮在壳体中旋转，让吸进来的少量补水在壳体内形成水环，星形叶轮的叶片浸没在水环中的深度不断发生变化，这就导致在邻近的叶片和液面之间形成了充满气体的气室，气室的体积交替地增大和缩小。气室体积增大时，压强迅速下降，形成一定的真空，吸气侧的气体就进人泵内，气室体积变小时，被迅速压缩后的有压气体就排到泵外。该过程（吸气、压缩和排气的过程）在水环式真空泵的运转中高速的反复、连续进行，便可将离心泵泵体内的空气不断抽走，在离心泵泵腔内就会形成一定的“真空”，吸水侧的水就会在大气压力的作用下进入离心泵的泵体。。

3、TRP型直连旋片式真空泵技术性能见表3-64。

真空泵的基本特点　　真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。　　一、涡旋式真空泵的基本特点　　涡旋式真空泵由涡旋式压缩机演变而来，机构原理最早由法国人Cruex于1905年发明，但受限于当时的工艺技术并未应用于实际，直到上世纪80年代前后才应用于真空技术领域。其结构简单，零部件少；间隙小、泄漏率小，具有较高的压缩比，在较宽压力范围内有稳定的抽速；并且其压缩腔内容积的变化是连续的，因而驱动力矩变化小，功率变化小；振动噪声小，无需冷却水与润滑油，维护简单，可靠性高。　　由于涡旋式真空泵自身型线的特点，一般情况下，涡旋式真空泵泵的抽速不超过1000L/min；抽速大于4L/s的涡旋泵一般采用双侧涡旋结构，而抽速小于4L/s的则多采用单侧涡旋结构，极限真空在1Pa左右。　　二、涡旋式真空泵的工作原理　　涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘副啮合安装组成。涡旋盘就是在盘面开有一个或几个渐开线螺旋槽的涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错组装在一起，动、静盘之间由防自转机构保证180°相位差，这样组成的一对涡旋盘副构成了无油涡旋真空泵的抽气机构。　　静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线（在横截面上是几个点）上接触形成几对月牙形封闭腔，动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动，接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。　　在电机的带动下，曲轴每转一圈，就有一组新的月牙封闭腔形成，从而实现涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环，对被抽气体形成包容和强制输送。　　通过动图我们可以更直观的了解涡旋式真空泵转子的运行模式。