水环式真空泵的特点（1）水环式真空泵的结构比较简单、紧凑，容易制造及方便维修

另一轴通过齿轮箱中的正时齿轮（6）同步进行润滑仅限于齿轮箱和封装的低压和高压轴承（9），其与吸入室（7）通过轴封（8）密封开来。风冷式多级罗茨泵的工作原理由于吸入室中无摩擦，罗茨真空泵可在高达6000rpm的高转速下操作。转子质量围绕轴线对称分布还产生完美的动态平衡，这意味着，尽管其转速很高，泵的运行却极为安静。。

无油往复活塞式真空泵的构造和原理与往复式压缩机相同，但它们的目的不同压缩机是为了提高气体的压强，而w型往复活塞式真窄泵则是为了降低入口气体的压强，从而得到尽可能高的真空度。无油往复活塞式真空泵的构造与往复式压缩机相同，是由泵体、气缸、气阀组件、活塞、活塞杆、十字头、连杆、曲轴等零件组成。。

装卸各种油槽车及油轮等速度快、效率高，使用方便，可以正反转工作。

由于工作腔对称分布于泵轮毂两侧，改善了作用在转子上的载荷此种泵的抽速较大，效率也较高，但极限真空较低。（2）两级水环式真空泵有两个叶轮串联工作，可以获得更大的排出压力或更高的真空。大多是单作用泵串联而成。实质上是两个单级单作用的水环泵的叶轮共用一根心轴联接而成。它的主要特点是在较高真空度下，仍然具有较大的抽速，而且工作状况稳定。二、按吸气和排气方式：水环式真空泵有轴向吸排气和径向吸排气之分。（1）轴向吸排气方式，气体的吸人和排出是通过壳体侧盖上的吸气口和排出口进行的，其优点是结构简单、维修方便，缺点是气体进入和排出叶轮时，气体流动方向与叶轮叶片运动方向相垂直，而且气体不能在整个叶片宽度上均匀地进出叶轮，这就加大了气体进入叶轮和流出叶轮时的水力损失，降低了泵的效率。（2）采用径向吸排气方式时，气体进入和排出叶轮是通过设置在叶轮内圆处（相当于轮毂处）的气体分配器上的吸气口和排气口来实现的，其优点是气体可以在叶片全宽范围内进入和流出叶轮，而且还可以借助吸气口和排气口的形状使气体进入和排出叶轮的方向与叶轮运动方向大体一致，这就降低了水力损失，提高了泵的效率，缺点是气俸分配器结构较为复杂、加工和安装精度较高。水环式真空泵的特点（1）水环式真空泵的结构比较简单、紧凑，容易制造及方便维修。（2）水环式真空泵它的排气量比较均匀，工作运行可靠，使用方便。

在高入口压力（接近大气压）时温度z*低，因为此时几乎没有进行任何压缩工作且置换空气足以将泵的热量输送出去此外，高气体流量也防止气体在末级中振荡。在极限压力（plt，1hPa）下的操作过程中，大气振荡在出口区域产生较高的温度，由于没有气体通过泵，因此没有热量被输送到泵外。HeptaDry泵是干式螺杆泵，具有内部压缩。螺杆转子具有可变螺距的对称几何形状。这些泵没有带有控制孔的端板；相反，气体在大气压下轴向排出。由于内部压缩，脉冲气体量较低。这将导致耗电量降低、操作无噪音、泵内温度均匀分布以及冷却水耗量降低。这使得这些泵极具成本效益，虽然其设计坚固耐用。。

无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中，2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求，4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵，5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。

水环真空泵和其它类型的真空泵相比有如下优点：1.由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。2.吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单，维修方便。3.压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。4.结构简单，制造精度要求不高，容易加工。5.结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。和旋片真空泵相比，他可以抽送带有水蒸气的气体，这是旋片真空泵无法具备的优势，但是水环真空泵用水做密封溶剂，旋片真空泵使用真空油做为溶剂介质，所以就真空度而言，略低于旋片真空泵。。

腐蚀性气体版本的多级罗茨泵的优势包括：■■通过调节温度、净化气体吞吐量和转速对相关真空工艺进行理想的调节■■在气体置换区域没有润滑剂■■无工作液处理问题■■高可靠性和系统正常运行时间■■长维修间隔、低能耗和冷却水与冲洗气体介质消耗低，因此具有较低的拥有成本■■占用空间小，在洁净室和泵级别中具有良好的集成性和节约性■■丰富的控制选项，本地或远程控制，集成在一个监控网络中■■z*小泄漏率■■在腐蚀性工艺中是涡轮分子泵和罗茨泵理想的前级泵■■认证符合UL/CSA和SEMIS2要求灰尘和粒子流程泵接触从过程室和前真空管道被输送到泵中的粒子此外，泵本身内副产物反应的冷凝可能产生的粒子和沉淀物必须也能容忍。理想情况下，通过使用可调节加热和控制温度模式，可避免粒子和沉积物的形成。通过在垂直方面抽吸，任何从泵级中掉出的粒子保留在下一级的排污口通道中。在接下来的排气和随后的抽空之后，粒子将通过置换气体被排入到紧接着的下一级中。此排除机构将生成的98%以上的粒子从入口排出到出口。这意味着，可在泵出口处提供一个中央排气净化系统，它不仅捕捉和处理过程化学物质，而且捕捉和处理粒子。只要在适合于腐蚀性、毒性和可冷凝介质的真空解决方案中是可能的，就可避免进气侧上的高保养陷阱。腐蚀性气体P和H系列的多级罗茨泵专为屏幕屏幕半导体、太阳能和涂料行业中腐蚀性气体过程而设计。金属转子和定子以及泵的弹性体材料均是由高度耐腐蚀材料制成的。泄漏率高气密性以及防止气体通过止回阀从周围空气或排气净化系统或洗涤器回扩的性能使得多级罗茨泵成为腐蚀性气体应用的完美解决方案。

吸入口在泵体下方积水无法扫除有时水位比泵转子高出250mm以上假如在这样的状况下自觉启动抽吸的工作介质由气变成了水电机必定过载跳闸。处理的方法是在入口管道上加装单向阀避免白水流入泵内停机后随时扫除积水。。

在延长泵的使用寿命的同时也能有效的保护系统元件.）　　2、排气滤芯（兼顾排气阻力，容尘量，油气分离性能三者的立要求达到最优的平衡不同的内外位置要用不同的材料以达到不同的分离目的）　　3、油滤芯（用于真空泵的润滑油过滤，延长油的使用期主流式滤清器，安装在油路中）　　使用与维护方法：　　在清扫更换方面，有很多人不得要领，往往是白白花费了力气，却没收到比较好的效果。　　1、松开旋钮式螺栓将过滤器外壳与头部分离。注意不要将橡胶密封圈和纤维质垫圈丢失。　　2，小心地取下弹簧和毛毡垫片然后再取出纸质过芯。　　3、用毛刷清除过滤芯折缝里的灰尘和异物，然后用手将其平放轻拍使剩余的灰尘落下，擦去外壳内壁的灰尘及纤维垫上的灰尘。　　4、按拆卸时相反的顺序将已清扫干净或新的过滤芯装回去。。