极高的真空采集系统操作程序

在实验工作中，我们获得了一组最佳的程序来运行系统。 s *首先，对系统进行预处理。郎首先用干燥的氮气冲洗系统，然后进行低真空浸泡。系统烘烤温度为约250℃，时间为约36h。在整个系统烘焙过程中，启动主扩散泵上的氟利昂挡板，并对升华钛泵和测量仪进行彻底脱气。在烘烤过程中，当系统压力降至10 ^ -4Pa时，钛泵和调节器会间歇性脱气，直到系统完全冷却。当泵系统的压力降至10 ^ -9Pa时，脱气停止。系统的冷冻过程必须根据从高压到低压的过程进行，并且在z *之后将极高的真空室冷冻。在冷冻过程中，应注意防止冷漏的发生。首先应启动冷冻的钛升华阱，然后启动冷冻的钛升华泵，以形成分子沉降环境。两者的加热功率分别为1400W和600W。每个工作时间为10分钟。工作大约3mdash，4倍就足够了。应注意消除钛蒸发过程中钛膜脱附的甲烷气体，否则不易获得较低的压力。