按吸气和排气方式:水环式真空泵有轴向吸排气和径向吸排气之分
SZ型水环式真空泵技术性能分别见表3-15、表3-16;SZ型单级水环式真空泵特征曲线见图3-7,图中水温为摄氏27deg,时的实测值;SZ-1、SZ-2型水环式真空泵外形及安装尺寸分别见表3-18、表3-19所示;SZ-0.5、SZ-1、SZ-2、SZ-6型水环式真空泵外形及安装尺寸分别见表3-20。
螺杆泵的优势包括:■■在气体置换区域没有润滑剂■■被泵送介质无任何污染■■无工作液处理问题■■因内部压缩而产生的较高效率■■在1和1000hPa之间几乎恒定的抽速■■良好的液体和灰尘耐受性■■罗茨泵理想的前级泵这使得HeptaDry螺杆泵非常适合于化学应用或产生灰尘的工艺,如用于晶体生长或如果产生大量的冷凝物。在恒温冷却中,水流量将取决于以下参数:入口压力、气体类型、转速和泵大小。由于水流冷却,几乎没有热被耗散到大气中。这减少了任何现有空气调节系统的热负荷并降低其能量消耗。初级螺杆泵的应用概述:■■干燥、冷冻干燥■■电子束焊接■■冶金■■涂料■■预真空锁■■化学应用。
泄漏率高气密性以及防止气体通过止回阀从周围空气或排气净化系统或洗涤器回扩的性能使得多级罗茨泵成为腐蚀性气体应用的完美解决方案封装电机也是防漏概念的一部分。。
该产品系列的抽速范围从100到600m3middot,h-1可实现低于0.1hPa的极限压力。其抽速和可达到的z*终压力取决于电源频率。具有连接和配件的HeptaDry不管所涉及的是什么型号,HeptaDry泵可在其特定工作范围内连续操作。由于泵内各个密封空间之间的回流越来越强,其有效抽速在plt,1hPa的压力范围内下降。对于抽速在高压下的下降也有着类似的原因,因为在这种情况下,气体通过内部压缩被压缩到压力超过气压,且回流因高压差而显著增加。与泵一起的标准设备包括:入口滤网、带恒温阀和温计的水流冷却、消声器,带止回阀和带减震器的框架式设计。该泵由适合于50和60Hz(3000或3600rpm)的三相、温度监控异步电动机驱动。配件灰尘分离器(SAS)可用作螺杆泵的配件。可提供各种类型,以适合于泵上的连接法兰。D1类型二酯油用作工作液。
如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 从提高真空泵应用能力的基础上,对于产品整体应用性的不断发挥,可以加大对产品各方面发展的有效性,以发展的优势推动不断扩大其应用能力的加强,做好产品实用性基础的扩展,以充分发挥其效果的实际应用,做为产品品质的各方面要求,是以不断提高的方式带动其运行的提升,充分发挥其各方面能力的不断扩大,以促进产品整体利用率的提升。 真空泵机组涡旋泵已被广泛应用于诸多领域:①半导体行业:薄膜制造设备、半导体器件封装设备,②科学仪器行业:同步辐射光束线机、电子显微镜、真空泵机组极光试验设备、分析测试仪器,③机械设备行业:材料制备设备、真空检测设备、真空过滤设备、材料提纯设备、超高真空排气设备,④医疗设备行业:牙科仪器、透析机,生物制品行业:材料提纯与药品制备,⑤包装行业:食品、药品、生物制品等包装设备,⑥真空冶金行业:真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备等领域。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的配置。它的主要运动件只有一个动涡旋盘,因而动力传递简单,相同尺寸下运动半径小、零部件少、结构简单紧凑、整机尺寸小,动、静涡旋盘之间、动盘与泵腔之间间隙小,泵内运动件与泵腔无摩擦,所以几乎无磨损,运行平稳,消耗功率小,气体流动损失小,工作可靠性高、寿命长,易于维修,维修费用低,容积效率高。采用空气冷却,无需水冷。。
在相同的抽速条件下,双作用水环泵比单作用水环泵大大减少尺寸和重量由于工作腔对称分布于泵轮毂两侧,改善了作用在转子上的载荷。此种泵的抽速较大,效率也较高,但极限真空较低。(2)两级水环式真空泵有两个叶轮串联工作,可以获得更大的排出压力或更高的真空。大多是单作用泵串联而成。实质上是两个单级单作用的水环泵的叶轮共用一根心轴联接而成。它的主要特点是在较高真空度下,仍然具有较大的抽速,而且工作状况稳定。二、按吸气和排气方式:水环式真空泵有轴向吸排气和径向吸排气之分。(1)轴向吸排气方式,气体的吸人和排出是通过壳体侧盖上的吸气口和排出口进行的,其优点是结构简单、维修方便,缺点是气体进入和排出叶轮时,气体流动方向与叶轮叶片运动方向相垂直,而且气体不能在整个叶片宽度上均匀地进出叶轮,这就加大了气体进入叶轮和流出叶轮时的水力损失,降低了泵的效率。(2)采用径向吸排气方式时,气体进入和排出叶轮是通过设置在叶轮内圆处(相当于轮毂处)的气体分配器上的吸气口和排气口来实现的,其优点是气体可以在叶片全宽范围内进入和流出叶轮,而且还可以借助吸气口和排气口的形状使气体进入和排出叶轮的方向与叶轮运动方向大体一致,这就降低了水力损失,提高了泵的效率,缺点是气俸分配器结构较为复杂、加工和安装精度较高。水环式真空泵的特点(1)水环式真空泵的结构比较简单、紧凑,容易制造及方便维修。
图9-34为该机组抽速曲线。
通过供气无气穴操作的液环泵实现的极限压力约为25至30hPa,罗茨泵和液环泵组合实现的极限压力约为1hPa在抽空对环境有害的物质时,液环真空泵不应与淡水一起使用。在这种情况下,必须提供封闭的循环系统来推进合适的工作液经过冷却了的热交换器,以提取压缩热。使用气体喷射装置的液环真空泵罗茨真空泵、气体喷射装置和液环真空泵组合实现0.2hPa的极限压力。如果需要实现较低的压力,必须在上游连接附加的罗茨真空泵。。
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所渭真空,是指在给定的空间内,压力低于101325Pa的气态静态在真空静态下,气态的稀薄程度通惯用气态的压力值来表示,明显,该压力值越小则表示气态越稀薄。工业上有各样各色的真空泵,鉴于各样泵的机能都有规定的测验方式来捡验,重要系数有:1、极限真空(通常名为真空度):将真空泵与捡测容器相连,放入待测的气态后,开展长时日接连抽气,当容器内的气态压力不再降低而维系某必定值时,此压力名为泵的极限真空。该值越小则说明越近乎理论真空。2、抽气速率:在真空泵的吸气口处,单位时日内流过的气态体积。传统工业用真空泵体积普遍非常非常大,而并且泵的工作需求特别的真空泵油和润滑汽油,介质气态内会含有很多油雾。跟着仪器仪表工业的发展以及人群对环保的要求,各国的小型无油真空泵应运而生,普遍有以下逻辑:泵的单价和真空度指标密切相关。真空度指标是各国出产商发奋追求的重要指标,它衬映了相应的机器抛光、密封技能、材料科学等方面的群体实力,也是出产商获得产值的关键惯技。要调动真空度指标,就必需有更高的密封前提,所以就需求引用比例更、材料机能更的零器件,於是出产成本就大辐度调动了。而并且单价的增幅远弘远于真空度指标的增幅。果然,抽气速率的调动也会产生单价的攀升,但其增幅不大。