国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等

两室前后串联，同向等速旋转，工室是Ⅱ室的前级，工室是低真空级，Ⅱ室是较高真空级被抽气体由进气管道进入Ⅱ室。当进入气体压力较高时，气体经Ⅱ室压缩、压强急增，被压缩的气体除经通道2进人工室外，还能推开排气阀1，从排气阀1排出。　　当进入Ⅱ室的气体压力较低时，虽经Ⅱ室的压缩也推不开排气阀1，气体全部经通道2进入工室，经I室的继续压缩，由排气阀3排出。因而双级旋片式真空泵比单级旋片式真空泵的极限真空高。。

　　2、由于水环式真空泵电动机的轴承或者轴磨损所致，解决办法检查更换新的轴承和电机转子轴　　3、水环式真空泵的泵体与电动机的轴中心没有校正好，导致联轴器磨损损坏而发出振动及噪声大的现象，解决办法重新更换新的联轴器或者校正好轴中心线。　　4、当真空太大时水环式真空泵也会发出一种特别刺耳的噪声，解决办法这时开一下水环式真空泵的气震阀放点空气进去.泵又能进入正常状态了。。

2.罗茨泵基本参数应符合表3-81规定。

由于模块化结构，安装很容易，且泵站中的各个泵可单独取出，并在维修工作进行的情况下进行保养进气侧的罗茨泵变频器允许在广泛的气体吞吐量范围对过程参数进行调整，并允许各种不同的过程气体。普发真空不断监测行业各个领域中工艺的动态发展，并在未来将继续提供优化的泵解决方案以满足这些需求。。

2XZ型旋片式真空泵（Model2XZSlidingVaneRotaryVacuumPump）具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。XD型旋片式真空泵（ModelXDSlidingVaneRotaryVacuumPump）可以在任意入口压强下工作，已普遍应用于食品的真空包装，塑料工业的真空吸塑成形。印刷行业的纸张输送，真空夹具，以及真空吸引等。SZ、SK系列水环式真空泵（ModelSZWaterRingVacuumPump）主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。2SK、2SK-P1系列双级水环式真空泵（Model2SK、2SK-P1WaterRingVacuumPump）主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。

图9-30为该机组抽速曲线。

对于普通的无油真空系统来说，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂而使用适当型式的干式机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中，2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求，4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵，5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

4.吸程太高，解决方法：检查现有的净压头（入口管线太小或太长会造成很大的磨擦损失）5.叶轮或管线受堵，解决方法：检查有无障碍物。6.转动方向不对，解决方法：检查转动方向。工作原理：1.s*先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸性等。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。如抽取气体还有腐蚀性，则须选用不锈钢材质。若抽取的气体具有爆炸性，则应该选择水环式真空泵并且配防爆电机，因为水环式真空泵整个工作过程是等温的。2.真空设备或者零部件对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环式真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。若要求不严格，可以选择有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

全新QSV205-110（55-37kW）变频螺杆真空泵系列相比传统真空泵，可实现节能约50%据了解，QSV系列真空泵的新设计不仅坚固耐用，且可实现在客户需要的工作压力段提供的性能，可满足不同客户的需求，适用于印刷与造纸、木工行业、橡胶及塑料、食品加工、肉类包装、研发系统、电子工业、制药、材料处理等领域。该款新产品拥有其先进的技术优势和良好的性能特点，这将会为更多的客户提供高效的真空解决方案，从应用的角度可给用户带来极为简便而且坚固耐用的产品，其市场的需求量也会大幅度提升。。

一个轴由电机（1）驱动另一轴通过齿轮室中的一对齿轮（6）同步进行。润滑仅限于两个轴承和齿轮室，它们通过具有压缩环的迷宫密封（5）与吸入室（8）密封开来。由于吸入室中无摩擦，罗茨真空泵可在高转速（1500ndash，3000rpm）下操作。无往复运动质量还能提供无故障的动态平衡，这意味着，罗茨真空泵的运转极其安静，尽管其具有高转速。设计转子轴轴承安排在两个侧盖中。它们在一侧被设计为固定轴承，在另一侧被设计为可动（松动）轴承，以实现壳体和转子之间不平衡热膨胀。轴承使用通过飞溅圆盘置换到轴承和齿轮的油进行润滑。标准版本上驱动轴馈通与外部通过浸入在密封油中、由FPM制成的径向轴密封环密封。为保护轴，密封环在保护套上运行，该保护套在磨损后可更换。如果与外部之间需要进行严密密封，泵还可通过带有罐装置的永磁体耦合方式驱动。