真空泵油具有氧化稳定性：长期在高温条件下与空气、树脂、化学原料等直接接触亦不易变质减少有害漆膜和油垢的形成

2X双级旋片式真空泵SZ系列水环式真空泵SK系列水环式真空泵2SK系列两级水环真空泵2XZ旋片式真空泵SKA系列真空泵。

下面，贤集网小编就介绍一下真空泵油和使用注意事项真空泵油一种专门为真空设备上的真空泵而研制的润滑油，分矿物油和合成油两种。真空泵油需要较强的抗乳化能力，要根据设备制造商用油规定，选用适当使用性能和粘度等级的真空泵油。真空泵油具有氧化稳定性：长期在高温条件下与空气、树脂、化学原料等直接接触亦不易变质，减少有害漆膜和油垢的形成，提供较长的换油周期。防锈防腐蚀性：能在金属表面形成非常有效的防腐膜，从而可以全面防止因吸入腐蚀性气体和水分而导致的系统腐蚀。能迅速将油液中夹带的水分分离出来，达到所需的真空度。具较底的蒸汽压，防止油品从泵的内腔向真空系统返流扩散造成返油。从而保证有足够的极限真空。真空泵油的使用注意事项1、要根据设备制造商用油规定，选用适当使用性能和粘度等级的真空泵油。2、为保证真空系统的正常工作，在使用及储运过程中要防止污染物如机械杂质及水的进入，以免影响真空油的使用寿命和系统的正常工作。3、残油往往含有大量的污染物和老化产物，会严重地影响新油的使用质量和寿命，因此在换油时，油箱及油路要清洗干净。

二、涡旋式真空泵的工作原理涡旋式真空泵工作原理涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘副啮合安装组成涡旋盘就是在盘面开有一个或几个渐开线螺旋槽的涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错组装在一起，动、静盘之间由防自转机构保证180°相位差，这样组成的一对涡旋盘副构成了无油涡旋真空泵的抽气机构。静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线（在横截面上是几个点）上接触形成几对月牙形封闭腔，动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动，接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。在电机的带动下，曲轴每转一圈，就有一组新的月牙封闭腔形成，从而实现涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环，对被抽气体形成包容和强制输送。通过动图我们可以更直观的了解涡旋式真空泵转子的运行模式。涡旋式真空泵运行图涡旋式真空泵转子动态运行图三、涡旋式真空泵的结构特点涡旋式真空泵的结构简单，主要由5个部件组成①动静涡旋盘副与基座；②曲轴；③密封件；④防自转机构；⑤电机涡旋真空泵结构涡旋式真空泵简易结构图涡旋式真空泵的主要运动件只有动涡旋盘，动力传递简单，相同尺寸下运动半径小，所以其具备了结构简单紧凑、运行平稳，几乎无磨损，消耗功率小等特点，这是其他类型的干式真空泵所不具备的。涡旋式真空泵抽速较小，同时也不适宜用于有毒、易燃易爆气体、腐蚀性气体及药品、溶剂、粉状体等介质工况环境。因此目前涡旋式真空泵较多应用于分析仪器、半导体芯片生产线、液晶显示器生产线和科研设备上。因其可以直接在大气压下启动，很多时候作为分子泵与小型低温泵的前级泵出现。。

2.罗茨泵基本参数应符合表3-81规定。

该厂生产的罗茨真空泵机组包括7个系列：①罗茨泵一滑阀泵机组，②气冷式罗茨泵一罗茨泵直排机组，③气冷式罗茨泵一滑阀泵机组，④气冷式罗茨泵一往复泵机组，⑤罗茨泵一水环泵机组，⑥罗茨一水环一大气泵机组，⑦罗茨泵一油环泵机组图9-25为JZPS300-21P机组抽速曲线。表9-15～表9-21为罗茨泵机组型号及技术参数。

真空行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑阀泵因此，它已在国民经济的很多部门，例如电真空、电子、轻化工、钢铁、有色冶炼等工业部门中发挥着越来越大的作用。由于油封式真空泵均装有气镇装置，故也可以抽除潮湿气体。但现在还不适于抽除含氧过高、有爆炸性、对黑色金属有腐蚀性，对泵密封油起化学作用、及含有颗粒灰尘的气体。　　　　目前，国内的许多研究单位和生产厂家正在设计和生产出抽除水蒸气和耐腐蚀的油封真空泵系列。随着新技术、新材料的发展和应用，性能更好的、能满足各种工业需要的、适应能力强的各种油封式真空泵必将生产出来。。

2、国产XZ型直连旋片式真空泵技术性能见表3-633、TRP型直连旋片式真空泵技术性能见表3-64。。

目前，国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快，技术上已经成熟由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。5、分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。

　　由于干式旋片泵在无油状态下工作，所以旋片材料需具备自润滑功能目前，国内外一般采用碳素材料；同时也因其无油，为减少气体的泄漏，该泵采用多个旋片结构。。

一般而言，泵的安全操作需要额外的措施和/或部件，如：启动和关闭程序、特殊的前级泵、回火防止器和压力传感器整个系统的设计和操作必须符合相应的防爆法规。。