循环水真空泵的电机不转，应检查电源或保险丝

那么真空泵滤芯怎样维护和保养呢?　　真空泵滤芯，在真空泵运转中主要过滤形式有三种：　　1、进气滤芯（能有效防止固体颗粒及细灰被吸入真空泵降低机械磨损，提高运行可靠性。在延长泵的使用寿命的同时也能有效的保护系统元件.）　　2、排气滤芯（兼顾排气阻力，容尘量，油气分离性能三者的立要求达到最优的平衡。不同的内外位置要用不同的材料以达到不同的分离目的）　　3、油滤芯（用于真空泵的润滑油过滤，延长油的使用期主流式滤清器，安装在油路中）　　使用与维护方法：　　在清扫更换方面，有很多人不得要领，往往是白白花费了力气，却没收到比较好的效果。　　1、松开旋钮式螺栓将过滤器外壳与头部分离。注意不要将橡胶密封圈和纤维质垫圈丢失。　　2，小心地取下弹簧和毛毡垫片然后再取出纸质过芯。　　3、用毛刷清除过滤芯折缝里的灰尘和异物，然后用手将其平放轻拍使剩余的灰尘落下，擦去外壳内壁的灰尘及纤维垫上的灰尘。　　4、按拆卸时相反的顺序将已清扫干净或新的过滤芯装回去。。

　　XG-6型干式旋片真空泵技术性能见表3-115　　XG-6型干式旋片真空泵外形及安装尺寸见表3-116。。

2．特性曲线　　2SK-P水环一大气喷射泵组特性曲线如图3-19所示。

泄漏率高气密性以及防止气体通过止回阀从周围空气或排气净化系统或洗涤器回扩的性能使得多级罗茨泵成为腐蚀性气体应用的完美解决方案封装电机也是防漏概念的一部分。。

近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。

（2）抽速为300L/s的带旁通阀罗茨真空泵，标记为：ZJP-3002.罗茨泵基本参数应符合表3-81规定。。

3.双抽头、双表显，可单独或并联使用4.耐酸、碱、溶剂腐蚀。真空度上不去应首先判断是否被抽容器泄漏或皮管接动松动。如属泵的问题，则检查进水口或各气路是否堵塞或松动漏气。循环水真空泵的电机不转，应检查电源或保险丝。如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。真空泵在工作第一个月内，经100h更换润滑油，以后每隔500h，换一次油。经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。循环水式多用真空泵的使用方法：准备工作。将本机平放于工作台上，首次使用时，打开水箱上盖注入清洁的凉水（亦可经由防水软管加水），当水面即将升至水箱后面的溢水嘴下高度时停止加水，重复开机可不再加水。

首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要6、干泵国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45％以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1％，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，我国应大力研究开发干泵，使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。。

泵体都是按照某一种类型的工作液进行出厂设置只有在使用普发真空建议使用的工作液时，才能保证目录中指定的旋片式真空泵达到极限压力。制造商不接受因使用其他工作液所造成的损害责任。不同类型的油不得混合。一些油不能相混合，因为这样有可能对泵系统造成损害。。

　　由于涡旋式真空泵自身型线的特点，一般情况下，涡旋式真空泵泵的抽速不超过1000L/min；抽速大于4L/s的涡旋泵一般采用双侧涡旋结构，而抽速小于4L/s的则多采用单侧涡旋结构，极限真空在1Pa左右　　二、涡旋式真空泵的工作原理　　涡旋真空泵的工作腔是由一对型线共轭的涡旋盘副啮合安装组成。涡旋盘就是在盘面开有一个或几个渐开线螺旋槽的涡旋型盘状结构体。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘相互交错组装在一起，动、静盘之间由防自转机构保证180°相位差，这样组成的一对涡旋盘副构成了无油涡旋真空泵的抽气机构。　　静涡旋盘与动涡旋盘彼此之间在几条直线（在横截面上是几个点）上接触形成几对月牙形封闭腔，动涡旋盘在曲轴的驱动下绕静涡旋盘的涡旋体中心运动，接触点沿涡旋曲面移动实现吸气、压缩与排气。　　在电机的带动下，曲轴每转一圈，就有一组新的月牙封闭腔形成，从而实现涡旋真空泵的吸气、压缩、排气循环，对被抽气体形成包容和强制输送。　　通过动图我们可以更直观的了解涡旋式真空泵转子的运行模式。　　三、涡旋式真空泵的结构特点　　涡旋式真空泵的结构简单，主要由5个部件组成　　①动静涡旋盘副与基座；②曲轴；③密封件；④防自转机构；⑤电机涡旋真空泵结构　　涡旋式真空泵的主要运动件只有动涡旋盘，动力传递简单，相同尺寸下运动半径小，所以其具备了结构简单紧凑、运行平稳，几乎无磨损，消耗功率小等特点，这是其他类型的干式真空泵所不具备的。　　涡旋式真空泵抽速较小，同时也不适宜用于有毒、易燃易爆气体、腐蚀性气体及药品、溶剂、粉状体等介质工况环境。因此目前涡旋式真空泵较多应用于分析仪器、半导体芯片生产线、液晶显示器生产线和科研设备上。因其可以直接在大气压下启动，很多时候作为分子泵与小型低温泵的前级泵出现。