环式真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，温度不得超过80C

　　该涡旋真空泵主要应用于下述领域：　　①半导体行业mdash，mdash，薄膜制备设备、半导体器件封装设备；　　②科学仪器行业mdash，mdash，同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器；　　③机械设备行业mdash，mdash，材料制备设备、真空检测、材料提纯设备；　　④化学工业；　　⑤医疗设备mdash，mdash，牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备；　　⑥包装行业mdash，mdash，食品、药品、生物制品等包装设备　　该涡旋真空泵能够给用户解决真空系统的污染与振动等基础、共性问题，并且使系统制造与运行成本降低。因此在国外市场扩展迅速，仅日本一个公司产品在中国z*近3年间销售额就增长了10倍。是一项不容忽视的技术与产品。　　本文总结了无油涡旋真空泵的技术发展与应用，内容包括从涡旋技术的发展到无油涡旋真空泵的工作原理、制造工艺、技术指标、特点、基本用途和实际应用方法；对无油涡旋真空泵技术有一个系统的介绍。。

此设备在运转的时候，两个转子在泵腔内作同步高速反向旋转，由此来产生吸气和排气因为转子经过严格的动平衡校正，并且两个轮子间也留下了合理的间隙，因此泵工作时，转子不会相磨擦，运转平稳，噪音低，并且工作腔内不需润滑油，消耗功率低，具有节能，免维修等优点，特别适用于要环境及噪音要求比较高的环境。下面贤集网小编来为大家介绍螺杆真空泵日常操作步骤、吹扫功能、泵机头的技术性能主要由哪三个方面的条件来保证？在检漏时有哪些需要注意的地方？故障分析及解决办法、清洗的五个步骤、维护保养方法。一起来看看吧！螺杆真空泵日常操作步骤一、开机前的检查与准备1、检查真空泵各个部件是否齐全；2、在不同油位视镜处检查油位，确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处；3、检查确认真空机组各个阀门的状态；（1）工艺入口阀关闭（2）入口过滤器排污阀关闭（3）出口管线畅通，出口管排污阀打开（4）冷却水入口管线和出口管线阀门打开（5）氮气线阀门打开，吹扫气压力为0.5bar，氮封气压力为3bar，吹扫阀关闭。二、螺杆真空泵的开机操作步骤1、现场与中控联系，确认可以启动，通过现场操作柱启动按钮启动真空泵；2、关闭出口管排污阀；3、检查或调节氮封气流量，确认流量在2.5—3L/min；4、打开吹扫阀，确认流量计流量调至，吹扫5—10分钟后，关闭吹扫阀；5、打开工艺入口阀，切入系统；6、真空泵运转过程中，注意观察机体温度，可通过温度调节阀调节水量来控制温度（温度调节阀位于0刻度时水量，位于5刻度时水量最小），要求温度尽量控制在50——75℃，确保不超过80℃。三、螺杆真空泵的停机操作步骤1、关闭工艺入口阀，切出系统；2、打开吹扫阀，吹扫20—40分钟后，关闭吹扫阀；3、通过现场操作柱停止按钮停机；4、关闭氮气阀门；5、关闭冷却水阀门；如冬季长期不用，需排净机体及管线内的冷却水以防冻；6、打开出口管排污阀和入口过滤器排污阀，检查是否有冷凝液。螺杆真空泵的吹扫功能一、螺杆真空泵清洗吹扫清洗吹扫对于抽除腐蚀、有毒或是粘稠物，例如树脂类介质尤为重要。清洗吹扫一般在停泵前关闭真空泵的进气口阀门，并在进气口充入氮气或水蒸气后运转20～30分钟，对腔体内螺杆进行吹扫，清洗腔体内残留的工艺气体或表面粘附的粘稠物质。二、螺杆真空泵冷却吹扫冷却吹扫用于螺杆转子及真空泵内部腔体的冷却。真空泵工作时进气口吸入的工艺气体随着螺杆转子的转动被压缩并送到排气口，压缩过程中气体温度升高，这就需要用冷却吹扫来保护真空泵不会因为过热而被卡住。通常空气会被用来作为冷却吹扫介质，但在特殊情况下则用氮气或冷却后的工艺气体作为吹扫介质。

为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。9、真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的使用方法：1、定期向轴承体内加入轴承润滑机油或黄油。2、使用供应食品行业专用水环式真空泵时，先拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水。特别是机械密封的水环真空泵（2BV2BE）再启动电机3、关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。4、点动电机，试看电机转向是否正确。5、开动电机，当供应食品行业专用水环式真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。6、尽量控制供应食品行业专用水环式真空泵的流量和真空度在标牌上注明的范围内，以保证供应食品行业专用水环式真空泵在效率点运转，才能获得的节能效果。7、环式真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，温度不得超过80C。8、有异常声音应立即停车检查原因。

2．特性曲线　　2SK-P水环一大气喷射泵组特性曲线如图3-19所示。

我们已采用了该系列的另外三个型号并辅以罗茨泵用于过程压力范围内提高了的抽速和气体吞吐量由于使用了特殊材料，这些泵的腐蚀性气体设备使其还可使用强氧化剂，如NF3。该泵广泛的温度范围使其能够适应各种不同的工艺，如低温下的钨沉积或高温下的氮化物沉积。高效的电机产生低压力下的能源节约，并因其高扭矩，在泵停机后提供良好的启动性能。得益于它们相同的接口和相同的介质连接，A3H系列型号可与P系列泵理想兼容。这意味着，如果现有生产设备上发生工艺改变，通过更换泵，使用z*小的安装工作就可获得优化的泵解决方案。使用第三级罗茨辅助A1803H型号，可提供紧凑、极其强大的泵站，具有z*大抽速，适合于CVD工艺。AD73KH在空运行流程泵上采用变频控制的罗茨泵，罗茨泵在其本身的框架内具有额定抽速4500m3middot，h-1。由于模块化结构，安装很容易，且泵站中的各个泵可单独取出，并在维修工作进行的情况下进行保养。进气侧的罗茨泵变频器允许在广泛的气体吞吐量范围对过程参数进行调整，并允许各种不同的过程气体。普发真空不断监测行业各个领域中工艺的动态发展，并在未来将继续提供优化的泵解决方案以满足这些需求。

从而使罗茨泵的真空度降低且时大时小必需及时检修调整叶轮的间隙及端盖与泵壳处的间隙。　　假如叶轮转子间隙过小会使罗茨泵内的紧缩比增大惹起泵内的空气升温发热很快招致齿轮箱及电机发热。两叶轮转子间隙变小的缘由多为助剂、填料、胶料等物附着在叶轮外表。当呈现这种现象时两转子啮合变得过紧以至卡死停机后再启动时非常艰难或基本不转动烧坏电机的毛病时有发作。所以必需经常清洗泵壳内壁和叶轮转子表面面。清洗液可运用5%氢氧化钠溶液也可运用5%的盐酸溶液酸洗后再用清水冲洗洁净以免腐蚀。　　二、经常检查泵轴的密封状态　　泵轴的密封作用是避免泵内被紧缩的气体从泵轴与泵壳体之间漏出同时也避免外界空气浸入泵内。常采用机械密封和反螺旋密封、石棉盘根密封和橡胶密封圈密封。其中机械密封效果。近期东北工业大学新研制的磁粉密封效果很好。

某些腐蚀性气体可导致水箱内水质变差，产生气泡，影响真空度，故应注意不断循环换水对特殊强腐蚀性气体，应认真判断是否与本设备所使用材料有反应，并谨慎使用。特点1.比其它类型真空泵节电35%以上。2.特制的流体消声器，减少水中气体，使真空度更高更稳；减少气液摩擦，降低噪声。3.双抽头、双表显，可单独或并联使用。4.耐酸、碱、溶剂腐蚀。真空度上不去应首先判断是否被抽容器泄漏或皮管接动松动。如属泵的问题，则检查进水口或各气路是否堵塞或松动漏气。循环水真空泵的电机不转，应检查电源或保险丝。如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。

该机组是以罗茨真空泵为主泵，以旋片泵为前级泵并配有电磁阀，管路等组成的真空获得设备它具有结构紧凑、操作方便、抽气能力大、抽气时间短等特点。广泛应用于真空冶金、真空脱气、真空镀膜以及空间模拟、低密度风洞等装置中，以抽除非腐蚀性气体，还可用于医药、食品、电子、化工等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。其型号及技术性能见表9-31。。

还可根据用户需要配置真空测量仪器或仪表整机结构简单、操作方便。本机组可广泛应用于电力工业三大件：变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍工艺，真空镀膜，真空冶炼，真空热处理，真空滤油，食品行业冷冻干燥以及含有少量水蒸气或少量可凝性气体、少量粉尘的工艺流程中，对于某些会有较多水分、粉尘的工艺必须配备过滤装置冷凝器等，另外还可增加一台双级水环泵作粗抽，使大量水分、粉尘由水环泵抽除，这样就可延长机组的正常使用寿命，减少前级泵换油次数，降低使用成本，提高生产效率。表9-22给出了机组型号及技术参数。图9-27为抽速曲线，图9-28及图9-29为外形尺寸。。