不同真空范围内的抽气时间计算

　根据真空系统的使用目的而决定所需的真空度和抽气时间，然后选择合适的真空泵。本节介绍不同真空范围内的抽气时间计算。

1、大气压-低真空领域的抽气时间计算

　　这里所指的低真空领域，是指真空度在100 KPa至0.2 KPa，低真空领域真空腔体和泵的连接管内，气体分子是黏性流时，抽气时间可以通过初期压强p1、到达压强p2、抽气速度S和容积V(含配管)来计算。

　　式中:

   　p1———初期压强(大气压)[Pa]；

　　p2———到达压强[Pa]；

　　t———抽气时间[min]；

　　V———容积[L]；

　　Se———实际抽气速度[L/min]。

　　考虑到导管和阀门的瓶颈效应，实际抽气速度大致可以估算为理论抽气速度的80%。

2、中真空领域的抽气时间计算

　　这里所指的高真空至超高真空领域，是指真空度在200 Pa 至 0.2Pa之间，中真空领域导管内的气体分子，处于黏性流和分子流的中间状态，不能单纯地像低真空或下面第三章节讲解的高真空那样简单地计算。一般情况下，通过两种方式分别计算抽气时间，然后取计算值较大的结果。

　　真空抽气要考虑的要素：

　　(1)到达真空度；

　　(2)抽气速度；

　　(3)导通率；

　　(4)实际抽气速度；

　　(5)气体放出率；

　　(6)漏率。

　　用真空泵对真空腔体抽气时，最初腔体内的压强迅速降低，但是经过一段时间后压强下降变缓，并且趋于一个恒定值。导致这种现象的主要原因是材料的表面放气。如图1所示，压强变化的不同领域，分别称之为空间抽气和表面抽气。为了进一步提高真空度，通常采用的对策如下：

图1  压强和抽气时间的关系

　　(1)选择表面放出气体少的材料；

　　(2)通过电解抛光等手段，减小材料表面积，继而减少气体分子的吸附