为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真...

据了解，QSV系列真空泵的新设计不仅坚固耐用，且可实现在客户需要的工作压力段提供的性能，可满足不同客户的需求，适用于印刷与造纸、木工行业、橡胶及塑料、食品加工、肉类包装、研发系统、电子工业、制药、材料处理等领域该款新产品拥有其先进的技术优势和良好的性能特点，这将会为更多的客户提供高效的真空解决方案，从应用的角度可给用户带来极为简便而且坚固耐用的产品，其市场的需求量也会大幅度提升。。

大气侧的密封件包括径向轴密封环标准泵的特点是其坚固、紧凑的设计以及高压缩比，这产生高抽速的泵组合，即使是使用小型前级泵；从而能够提供短的抽空时间。垂直的流动方向使该泵对灰尘和液体极不敏感。表4.19：OktaLine性能数据。

ATEX系列可用于存在潜在爆炸危险环境中的工艺，或用于排空爆炸气体ATEX系统可提供抽速范围从500m3middot，h-1到4000m3middot，h-1。它们是PTFE密封的且由GGG40.3球墨铸铁制成。它们符合指令94/9/EC类别3G组IIB温度等级T3X的防爆要求。一般而言，泵的安全操作需要额外的措施和/或部件，如：启动和关闭程序、特殊的前级泵、回火防止器和压力传感器。整个系统的设计和操作必须符合相应的防爆法规。。

该例中，工作真空度1mbar低于1.5mbar，所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求　　　　　　另外应当考虑的是，对预抽时间的要求问题，如果正常工作时间远比预抽时间长，可选较小的前级泵；假如真空室较大，而且要求很快预抽，就要用较大的前级泵，有时为了更好发挥设备的效率，机组装有较大的预抽泵，在正常工作后停掉它，而用较小的前级泵维持，这样做是为了节约功率。　　　　　　对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对极限真空度要求较高（达1X10－3Pa～1X10－2Pa压力）一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度要求在（1X10－2Pa～1X10－1Pa）之间可选用单级油封机械泵作为前级泵，极限真空度要求在133～1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。　　　　　　当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时，前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2－1/4，不能太大，否则将使压缩比过大，造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。　　　　　　选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。　　　　　　为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。。

　　选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质，是否含有可凝性气体，是大量的还是微量的如果含有腐蚀性气体，就不能选用油封机械泵，油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体，否则将会使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时，也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。　　为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。。

因此，泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点而日前，一种全新型干式螺杆真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功，用国产车床替代价格昂贵的国外设备生产出螺杆转子，不仅节能30%，还具有设备易损件少、真空度高、抽速大、使用寿命长等特点，可在冶金、电子、石油化工、航空航天等100多个领域替代进口产品。　　。

处理之道：依据商品的类型标准替换正确的新真空泵油2、别的也是因为真空泵油形成的真空度低的状况，即是真空泵油乳化变色，或许过脏。处理之道：放干净泵内的一切真空泵油，替换同类型的真空泵油，并处理被抽气体中水蒸气和杂质不进入泵内。3、被抽气体的温度也许过高。处理之道：下降被抽气体的温度，或能够加一个相应的换热器。4、泵内的油路不通或许不畅，泵腔内没有保持一定量的油量。处理之道：查看油路是不是畅通，并加同类型的真空泵油。5、配合的空隙改大。这是长时间被抽气体内富含粉尘等，形成旋片和定子之间磨损后的空隙增大。处理之道：查看空隙是不是过大，替换新的零部件。。

干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中，2）半导体刻蚀工艺在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求，4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵，5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。近年来，干式机械真空泵得到迅速的发展，国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。

5.叶轮或管线受堵，解决方法：检查有无障碍物6.转动方向不对，解决方法：检查转动方向。工作原理：1.s*先应该充分了解被抽气体成分。如气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性、爆炸性等。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。如抽取气体还有腐蚀性，则须选用不锈钢材质。若抽取的气体具有爆炸性，则应该选择水环式真空泵并且配防爆电机，因为水环式真空泵整个工作过程是等温的。2.真空设备或者零部件对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环式真空泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。若要求不严格，可以选择有油泵，并且加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。3.真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。

另一轴通过齿轮箱中的正时齿轮（6）同步进行润滑仅限于齿轮箱和封装的低压和高压轴承（9），其与吸入室（7）通过轴封（8）密封开来。风冷式多级罗茨泵的工作原理由于吸入室中无摩擦，罗茨真空泵可在高达6000rpm的高转速下操作。转子质量围绕轴线对称分布还产生完美的动态平衡，这意味着，尽管其转速很高，泵的运行却极为安静。。