经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气流进行多级压缩，z*后由前级真空泵抽走

真空泵机组的接线，会把三芯电缆与外接电缆剥出的铜丝部分对插起来，然后用一根细铜丝按图示样绑扎紧，剩余部分剪去，用剪刀按平，防止扎手；就此进行接线的时候，应该把真空泵三个线头分别用焊锡焊牢，要求焊头表面光滑，无毛刺及假焊现象，如果没有焊牢或不光滑，应对真空泵重新焊接，直到达到要求为止真空泵机组的接线，必须用塑料胶带把三跟线包在一起，包扎两层，层超过每根导线绝缘层末端50mm以上，第二层超过层末端50mm；包扎好之后要取一盆凉水将包扎好的线头安全浸泡在水中，12小时后，用500V兆欧表测量绝缘不能低于50兆欧，否则应重新包扎直到达到要求为止。真空泵机组的接地线也须按潜水电缆接线工艺要求包扎；真空泵机组的接好线之后应该在下井的同时不断的摇测绝缘电阻观测其变化以防井壁挂破电缆绝缘皮，若是发现绝缘程度急速下降到了0.5兆欧以下的时候必须要把机组提上来去检测原因。。

该曲线清楚地表明，这种泵组合的抽速上升了8倍，其极限压力相对于前级泵下降了15倍。

这就是罗茨真空泵的容积作用原理　　罗茨泵在入口压力很低情况下工作时，由于转子转速很高（1000r/min～3000r/min），转子表面的线速度接近于分子的热运动速度，这时碰撞在转子上的气体分子被转子携带到压力较高的排气口，再被预真空泵排除。这就是罗茨真空泵的分子作用原理。。

国内很多真空生产厂家都有定型的系列（K、KT）产品新的KTD系列高真空低返油扩散泵具有抽速大（300L/smdash，55000L/s），返油率低[le，6times，10^-4g/（cm^2.s）]的优点，该泵将水冷挡油帽和泵体组成一个整体，简化了结构，并提高了真空抽气系统的有效抽速。ZK系列高真空油增扩泵按抽气机理仍属油扩散泵，它的特点是在1.3times，10^-lPa时仍有较大的抽速，并采用内加热方法，缩短了泵的启动时间。。

也正因如此，可抽除可凝性蒸气⑤启动快，能够在短时间内达到极限真空。功率小，运转维护费用低。⑥在很宽的压力范围内（1times，10^3Pa～1Pa）有很大的抽速，能迅速排出突然放出的气体，弥补了扩散泵和油封机械泵在（1times，10^3Pamdash，1Pa）耐抽速都很小的缺陷。因此，它z*适合作增压泵用。　　罗茨泵的缺点是泵的转子制造较难，抽除氢气的效果不如油增压泵高。　　罗茨泵广泛用于真空冶金工业的真空脱气、真空熔炼、钢水真空处理，以及空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体。也可以用于化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。。

SZ型水环式真空泵技术性能分别见表3-15、表3-16；SZ型单级水环式真空泵特征曲线见图3-7，图中水温为摄氏27deg，时的实测值；SZ-1、SZ-2型水环式真空泵外形及安装尺寸分别见表3-18、表3-19所示；SZ-0.5、SZ-1、SZ-2、SZ-6型水环式真空泵外形及安装尺寸分别见表3-20。

　　　　扩散泵油锅中的泵油在真空中加热到沸腾温度（约200℃），产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴定向高速喷出由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压力高于蒸气流中该气体的分压力，所以被抽气体分子就不断地扩散到蒸气流中。油蒸气撞击被抽气体分子，使被抽气体分子沿蒸气流束的方向高速运动。气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流的碰撞而重新沿蒸气流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气流进行多级压缩，z*后由前级真空泵抽走。而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到油锅中重新被加热，如此循环工作。。

产生的热量和温度是入口压力范围产生的结果在高入口压力（接近大气压）时温度z*低，因为此时几乎没有进行任何压缩工作且置换空气足以将泵的热量输送出去。此外，高气体流量也防止气体在末级中振荡。在极限压力（plt，1hPa）下的操作过程中，大气振荡在出口区域产生较高的温度，由于没有气体通过泵，因此没有热量被输送到泵外。HeptaDry泵是干式螺杆泵，具有内部压缩。螺杆转子具有可变螺距的对称几何形状。这些泵没有带有控制孔的端板；相反，气体在大气压下轴向排出。由于内部压缩，脉冲气体量较低。这将导致耗电量降低、操作无噪音、泵内温度均匀分布以及冷却水耗量降低。这使得这些泵极具成本效益，虽然其设计坚固耐用。。

　　当进入Ⅱ室的气体压力较低时，虽经Ⅱ室的压缩也推不开排气阀1，气体全部经通道2进入工室，经I室的继续压缩，由排气阀3排出因而双级旋片式真空泵比单级旋片式真空泵的极限真空高。。

这排除了油泄漏的可能性，过程气体和环境之间也不存在任何交换M系列标准泵适合于Table4.19中显示的所有应用。此外，这些泵还可用于抽吸有毒气体的工业/化学应用以及超洁净气体应用：例如，用于半导体行业中的CVD和PVD工艺或排空预真空锁/传输室以及用于平面屏幕的生产。M系统可提供的大小范围从250m3middot，h-1到6000m3middot，h-1。表4.19：OktaLine性能数据。