对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对极限真空度要求较高（达1X10-3Pa～1X10-2Pa压力）一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。　　例如有一系统用罗茨真空泵机组抽气，要求在1mbar入口压力时有600升/秒的抽速，并长期工作，问应选择多大抽速的前级泵。（2）抽速为300L/s的带旁通阀罗茨真空泵，标记为：ZJP-3002.罗茨泵基本参数应符合表...

为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。　　　　　　为了获得在低入口压力（1~100pa）时的高的抽气速率，可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组，此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。由于罗茨真空泵在技术上是干式泵，所以建议在其附带的液...

这就是罗茨真空泵的分子作用原理。这就是罗茨真空泵的分子作用原理。这就是罗茨真空泵的分子作用原理。

JZJLS型气体循环冷却罗茨真空泵水环泵机组是以ZJL型气体循环冷却罗茨真空泵为主泵或中间泵，以2SK型双级水环式真空泵为前级泵，通过真空继电器、水压继电器来实现各级罗茨泵和水环泵的自动关闭及自动过载安全保护的真空获得设备它除了具有一般罗茨真空泵水环泵机组的某些特点外，由于采用气体循环冷却罗茨真空泵作为主泵或中间泵，因而能在高压缩比，高压差下正常工作，这样就大大缩短了对系统的预抽时间，获得较低的预...

另外，干式真空泵的转速越高，其压缩比越大，因此非接触型干式真空泵的转速多为3000r/min。　　一般对干式真空泵的要求为：①清洁；②安全；③耐磨；④造价低；⑤维修方便；⑥性能稳定；⑦振动小，噪声低。只有这样，干式真空泵才有使用和推广的价值。

干式真空泵种类很多，按工作原理可分为两类：①容积式干式真空泵，例如：多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等，这种干式泵的极限压力一般为0.1Pamdash，10Pa，抽速为0.01msup3，/smdash，0.04msup3，/s。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒，3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干...