半磁浮分子泵

半磁浮分子泵TURBOVAC 90 i/iX

涡轮分子真空泵（TURBOVAC）应用于需要清洁的高真空或超高真空的应用中，例如，在研究、开发或工业领域，如半导体工业、分析仪器或涂层技术。 

工作原理 

原则上，涡轮分子泵是在壳体中快速旋转的涡轮，涡轮分子泵（TURBOVAC i）的涡轮截面图的转子级配备有多个转子叶片。位于旋转转子叶片之间的是静止的定子盘，叶片布置在相反的方向上。通过从旋转的转子叶片到气体分子的动量传递，它们最初的无方向热运动转变为从泵进口法兰沿轴向朝前真空法兰的方向运动。在分子流量范围内（即压力低于10-3 mbar（0.75 x 10-3 Torr））气体分子的平均自由程大于转子和定子叶片之间的间距（通常为十分之几毫米）。相应地，分子主要与光学稠密的转子叶片碰撞，产生高效的泵送作用。在层流范围内（即在压力超过10-1 mbar（0.75 x 10-1 Torr））中，转子的作用因分子之间频繁的碰撞而受损。因此，涡轮分子泵不能在大气压下泵送气体。

转子轴承 

莱宝提供不同的转子轴承系统。纯经典机械式转子轴承（TURBOVAC）或磁性转子轴承（TURBOVAC MAG）以及混合式轴承（TURBOVAC i/iX），其中前真空侧的轴承是一个终身润滑的陶瓷球轴承，高真空侧的轴承通过非磨损磁性轴承实现。所有这些类型轴承的典型特点是，它们不需要任何润滑油，在泵停止等情况下，由于缺乏任何泵送作用，这些润滑油可能会扩散回真空室。

 驱动电子/控制单元

 驱动和监测涡轮分子泵需要一个电子变频器（逆变器）。变频器为电机提供驱动电压和输出频率，并自动监控系统。泵转子的最佳启动是通过稳定地增加电压和频率来实现的。达到额定速度后，启动电流以受控方式降低至正常运行所需的水平。

TURBOVAC的变频器和电机设计为即使在高进气压力下，转速下降也很小。这确保了在从分子流到粘性流的过渡范围内，气体的最高吞吐量。

根据给定的系统和安装条件，控制单元可由一系列可选附件进行补充，以方便在现有装置中集成。

 前真空泵

由于涡轮分子泵不能直接在大气压力下进行压缩，因此其操作始终需要一个额定值足够的前真空泵。对于带转子叶片的经典转子布置，通常采用两级旋转叶片泵（TRIVAC）。在某些情况下，也可使用单级旋转叶片真空泵（SOGEVAC BI）或涡旋真空泵（SCROLLVAC）。在大范围变型的情况下，转子配有附加压缩级（复合级），也可使用隔膜真空泵（DIVAC）。

 特征量

 泵送速度（体积流量）

 泵送速度“S”是通过泵的入口口输送的体积流量。这取决于气体的类型，因此，通常针对空气和氮气分别规定标称泵送速度，即泵的最大可达到泵送速度。在高真空工程领域，通常以测量单位[l/s]来表示泵送速度。泵速是入口压力S=S（p1）的非线性函数。

 天然气吞吐量

 气体流量“Q”，计量单位【mbar x l/s】与通过入口压力的泵送速度有关。Q=Q（p1）=p1*S（p1）。

 压缩

 压缩“K”定义为涡轮分子泵前真空侧的压力与高真空侧的压力之比。K=K（pVV）=pVV/pHV。压缩取决于气体的类型。

 极限压力（基础压力）

 可以烘烤的涡轮分子泵的极限压力“pult”是通过测量装置24小时烘烤（脱气）后48小时在试验室中获得的前真空压力和压缩比之间的比值来确定的。脉冲=pFV/K0。

 可达到的最大极限p