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如钛升华泵对氢有很高的抽速但不能抽氦而三极型溅射离子泵(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽...

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-09-14 12:33:25 * 浏览: 34

如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。  5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。  6、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。  7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。  8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。

  无油真空泵在使用过程中,因为自身的原因或者是其他众多因素,它在使用过程中,还是有比较多要求需要注意,如果在无油真空泵使用过程中忽视了这些问题的存在,就容易产生无油真空泵故障那么无油真空泵故障有哪些呢?面对这些棘手的问题,我们是否有相应的解决办法呢?  1、泵不排液  故障分析:灌泵不足;泵轴转向不对;滤网堵塞,底阀不灵;  解决办法:重新灌装;调整泵轴转向;停机检查,清楚杂物;  2、泵排液后中断  故障分析:吸入管路漏气;灌泵时吸入侧气体未排净;吸入侧突然被异物堵塞;  解决办法:检查吸入管连接处及机械密封的密封情况;重新按要求灌泵;停机并清理杂物;  3、流量不足  故障分析:管路漏气,漏液;阻力损失增加;叶轮磨损,堵塞,腐蚀;  解决办法:重新灌装;调整泵轴转向;停机检查,清楚杂物;  综上所述,我们可以发现即使是同一个问题,产生的原因可能也不止一个,对于无油真空泵使用者来说,这不仅增大了解决问题的难度,同时也可能耽误生产。设备故障一直是设备使用过程中非常令人头疼的问题,对于无油真空泵工作者来说,面对无油真空泵故障时,我们需要像战士一样去战斗。。

动涡旋盘由偏心轴驱动与静涡旋盘做相对摆动运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成吸气、压缩、排气的循环  与其他种类的无油真空泵相比无油涡旋真空泵具有下述特点:  ①无油,无摩擦---非接触,无磨损,不产生微粒尘埃污染,可获得清洁真空;  ②抽气量大---双涡旋盘结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍,节省能源;  ③抽气效率高---带有3-4个抽气单元,压差小;大气与真空之间由0型圈密封,泄漏低;  ④非接触,良好平衡,力矩影响小,噪音低,振动小;  ⑤结构简单紧凑,相同尺寸下,运动半径小,运行平稳;  ⑥体积小,维修方便,维护费用低;    ⑦采用空气冷却,无需水冷。  该涡旋真空泵主要应用于下述领域:  ①半导体行业mdash,mdash,薄膜制备设备、半导体器件封装设备;  ②科学仪器行业mdash,mdash,同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器;  ③机械设备行业mdash,mdash,材料制备设备、真空检测、材料提纯设备;  ④化学工业;  ⑤医疗设备mdash,mdash,牙科仪器、透析机、生物制品与药品制备;  ⑥包装行业mdash,mdash,食品、药品、生物制品等包装设备。  该涡旋真空泵能够给用户解决真空系统的污染与振动等基础、共性问题,并且使系统制造与运行成本降低。因此在国外市场扩展迅速,仅日本一个公司产品在中国z*近3年间销售额就增长了10倍。是一项不容忽视的技术与产品。  本文总结了无油涡旋真空泵的技术发展与应用,内容包括从涡旋技术的发展到无油涡旋真空泵的工作原理、制造工艺、技术指标、特点、基本用途和实际应用方法;对无油涡旋真空泵技术有一个系统的介绍。。

XD-010、XD-020、XD-040、XD-063、XD-100、XD-160、XD-250型单级旋片式真空泵外形及安装尺寸见表3-56。

④在泵腔内并不发生像机械真空泵那样的压缩现象,因此它不需要排气阀也正因如此,可抽除可凝性蒸气。⑤启动快,能够在短时间内达到极限真空。功率小,运转维护费用低。⑥在很宽的压力范围内(1times,10^3Pa~1Pa)有很大的抽速,能迅速排出突然放出的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵在(1times,10^3Pamdash,1Pa)耐抽速都很小的缺陷。因此,它z*适合作增压泵用。  罗茨泵的缺点是泵的转子制造较难,抽除氢气的效果不如油增压泵高。  罗茨泵广泛用于真空冶金工业的真空脱气、真空熔炼、钢水真空处理,以及空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体。也可以用于化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。。

这缩短了排空时间。

蒸汽在压缩阶段可全部或部分在泵中冷凝的蒸汽还必须在蒸馏和干燥过程中被置换在这种情况下,打开气镇阀有助在无冷凝的情况下通泵来排放蒸汽。然而,蒸气兼容性并不总是足以防止冷凝。冷凝物与油的混合将导致极限压力增加,并降低工作液的润滑能力。这些因素可导致泵内发生腐蚀。在排空蒸汽前,泵必须用气镇预热至少半个小时。较高温度的工作液会减少冷凝。减少冷凝的其他方法包括获得仅可能低的出口压力及分别排出冷凝物。为此,应在入口和出口侧使用凝析油分离器。必须使用油雾过滤器和垂直排气管防止出口处的背压。如有有萃取系统,应将出口与其连接。

其型号及技术性能见表9-31。

但是这种声音会对有人的环境产生影响,所以当打开放气阀的时候会相应削弱这种声音,所以水环真空泵的放气阀的作用就在于此。

在无气体置换(入口法兰关闭)操作时的压缩比K0取决于出口压力p2抽速范围从200m3middot,h-1到几千m3middot,h-1。典型的K0值在10和75之间。压缩比受到两方面的不利影响:■■回流到活塞和壳体之间的间隙■■通过活塞表面吸附而沉积在出口侧并在转向吸入侧后又重新解吸的气体。在出口压力为10-2至1hPa的情况下,分子流在密封间隙中占主导地位,由于其低电导率,这导致少量回流。然而,通过吸附被吸回的气体体积,这与泵送的气体体积相比相对较高,降低了压缩比。在1至10hPa范围内,K0是z*高的,因为分子流因泵密封间隙的低入口压力而仍然占主导地位,因此回流较低。由于通过吸附的气体输送不是压力的作用,它远没有通过抽速输送的压力比例气体流量重要。在压力超过10hPa时,间隙中出现层流且间隙电导率显著增加,这导致压缩比下降。这种影响在气冷罗茨泵中特别明显,该泵实现的压缩比仅约为K0=10。间隙宽度对压缩比具有重大影响。