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限制极限压力的因素概述

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-03-16 1:14:16 * 浏览: 65
极高真空系统的极压的稳态平衡方程:p系统的极限压力[Pa] in,Pamdash,mdash,泵送后系统中原始气体达到的平衡压力[Pa] ,P气体的泄漏率[Pa。 L / s],齐系统除气率[Pa。 L / s],P气的Se系统抽气速度[L / s],f气的Si系统抽气速度[L / s],Pjmdash,mdash,泵对ji气体的极限压力[Pa], -泵到真空室的电导率用于j气体[L / S],Sj-泵用于Ji气体[L / s]。等式(16-1)右侧的第二项等于泄漏空气对极限压力的贡献,第三项代表各种气体释放源对极限压力的贡献,第四项代表泵(极限)从压力(Pj)产生的返回气体对极限压力的贡献。式(16-1),我们可以看到:为了使p达到很高的真空度,每一项的值必须至少达到真空度极高的顺序。每个项目都来自许多分压的总和。极高的真空抽气泵对气体具有选择性,总压力必须表示为分压之和。因此,必须对气体源进行单独的分析,即不仅要分析气体量,还要分析除气成分。这不同于一般的真空系统。还应根据引气量和引气成分来考虑泵的选择,并且不得丢弃两者。