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氦质谱仪检漏仪

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-03-03 0:32:44 * 浏览: 46
可以将用于真空残留气体分析的质谱仪用于泄漏检测(泄漏的材料可以是氢气,氦气,氩气等),但是泄漏检测的灵敏度不同,请参见表13-14。自从1940年代质谱仪用于泄漏检测以来,泄漏检测技术已经取得了长足的进步。用于泄漏检测的质谱仪称为质谱仪。具有灵敏度高,性能稳定的特点。特别地,使用氦气作为泄漏指示气体的质谱仪泄漏检测器是具有高灵敏度z *且在真空泄漏检测中通常使用z *的泄漏检测仪器。