服务热线:
18150379315

技术知识

当前位置:技术知识

D30型辉光离子渗氮炉结构

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-20 1:16:26 * 浏览: 56
图10-121是离子氮化炉的示意图。整个装置由氨气供应系统,真空系统,测量系统和电源系统组成。 ①氨气供应系统。氨气瓶1容纳液氨。工作时,请打开氨阀2,待稳定后进入LZB-6浮子流量计3。根据真空室中所需的氨压力,调节流量计阀4以控制氨流量。氨气通过氨气管道进入真空室。需要氨气供应系统中稳定的气源压力和灵活的进气门调节。 ②真空系统。真空系统包括由真空泵21,放气阀18,真空蝶阀19,电磁阀20和排气管组成的真空室(辉光室)。真空室采用双层水冷结构。用橡胶垫密封真空盖和炉底之间。工作时,启动真空泵(2X-15型)以将真空室抽空至所需的真空度,并从排气管中排出废气。 ③测量系统。包括测量温度,测量压力以及测量电流和电压。它们可以反映氮化处理。用于温度测量的热电偶16插入阴极机架,并通过连接线或热电偶补偿线连接到XCT-101可调毫伏表,以实现工件温度的测量。当压力低于1.3倍102Pa时,通过热电偶真空计14进行测量;当压力为1.3倍102Pa〜1.3倍103Pa时,使用U型管汞压力表进行测量。 。 ④电源系统。电源系统是电源。它由三相变压器,整流器,电感器,电容器和振荡灭弧器组成。输入电压为AC 380V,输出为高压DC纹波电流。最大z *输出电压为1000V,最大z *输出电流为30A。