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质量好的干式真空泵哪家好

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2021-07-18 1:50:33 * 浏览: 5

喷射泵价格因此,泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点而日前,一种全新型干式螺杆真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功,用国产车床替代价格昂贵的国外设备生产出螺杆转子,不仅节能30%,还具有设备易损件少、真空度高、抽速大、使用寿命长等特点,可在冶金、电子、石油化工、航空航天等100多个领域替代进口产品。  。

厦门MVR原理  由于干式旋片泵在无油状态下工作,所以旋片材料需具备自润滑功能目前,国内外一般采用碳素材料;同时也因其无油,为减少气体的泄漏,该泵采用多个旋片结构。。

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闪蒸真空泵价格对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中,2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒,3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求,4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵,5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。

厦门负压真空泵多少钱排气侧与大气相接,在粘滞流状态下压缩比较高可从10^5Pa(1大气压)抽到10^-2Pa在结构上采用径向流和轴向流复合式结构,多级串联。这种涡轮式干泵的极限压力约为10^-2Pa,抽速为0.02msup3,/smdash,0.15msup3,/s牵引型干泵也属于动量传输式干式泵。  这些干式泵和油封式机械泵相比,在各自的极限压力条件下,其残余气体成分全然不同。分析结果表明,油封泵的残余气体,主要成分为CnHm(碳氢化合物),而于式泵的残余气体的主要成分为空气,这就证实了用干式泵抽气基本上不被油蒸气污染。  有些干式泵在结构设计上(例如泵的传动齿轮和轴承等)仍在使用润滑油,也有用合成油如PFPE油和其它油脂,不过采取一定的措施可使油蒸气在泵腔内几乎不存在。严格来说这种泵不是全无油泵。经分析,这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的,对大多数电子产业来讲并无影响。  干式真空泵按转子接触与否又可分为非接触型(罗茨式、爪式、螺杆式)和接触式(叶片式、凸轮式、活塞式)两类。非接触型的泵可以高速旋转,但z*大压缩比小。接触型的泵转速不能太高,但z*大压缩比大,尤其在大气压附近,因返流变小使后者的压缩比为前者的5倍~8倍。

  该泵的z*大特点是可获得清洁的粗真空,适用于真空吸附、真空包装、食品加工、卷烟生产等行业  XG-6型干式旋片真空泵技术性能见表3-115。  XG-6型干式旋片真空泵外形及安装尺寸见表3-116。。