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高真空抽气装置的预抽泵

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-02-05 15:13:20 * 浏览: 67
与低真空单元相比,在分子流状态下工作的高真空排气单元具有较低的工作压力(10 ^ -2Pamdash,10 ^ -4Pa),较小的排气量和较大的抽速。该单元的主泵通常是扩散泵,扩散增压泵,分子泵,钛泵,低温冷凝泵等。这些泵不能直接在大气中工作,因此需要配备预泵或前级维护泵。一些扩散泵高真空抽气单元还配备了前空气储罐,以防止压力波动并提高单元性能。预泵(粗泵)主要用于去除真空室内的大量气体,使真空室内的压力从1倍10 ^ 5Pa降至主泵可以开始工作的真空度。因此,预泵的压力低于主泵的启动工作压力。预泵(例如机械泵)的抽速取决于粗抽时间。可以从公式(9-11)导出