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品质好的干式真空泵生产厂家

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2021-06-12 2:31:33 * 浏览: 29

多段离心风机  干式真空泵种类很多,按工作原理可分为两类:①容积式干式真空泵,例如:多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等,这种干式泵的极限压力一般为0.1Pamdash,10Pa,抽速为0.01msup3,/smdash,0.04msup3,/s②动量传递式干式真空泵,例如:涡轮式干泵。排气侧与大气相接,在粘滞流状态下压缩比较高。可从10^5Pa(1大气压)抽到10^-2Pa在结构上采用径向流和轴向流复合式结构,多级串联。这种涡轮式干泵的极限压力约为10^-2Pa,抽速为0.02msup3,/smdash,0.15msup3,/s牵引型干泵也属于动量传输式干式泵。  这些干式泵和油封式机械泵相比,在各自的极限压力条件下,其残余气体成分全然不同。分析结果表明,油封泵的残余气体,主要成分为CnHm(碳氢化合物),而于式泵的残余气体的主要成分为空气,这就证实了用干式泵抽气基本上不被油蒸气污染。  有些干式泵在结构设计上(例如泵的传动齿轮和轴承等)仍在使用润滑油,也有用合成油如PFPE油和其它油脂,不过采取一定的措施可使油蒸气在泵腔内几乎不存在。严格来说这种泵不是全无油泵。经分析,这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的,对大多数电子产业来讲并无影响。  干式真空泵按转子接触与否又可分为非接触型(罗茨式、爪式、螺杆式)和接触式(叶片式、凸轮式、活塞式)两类。

厦门涡旋真空泵价格使用时可根据不同的用途加以选择。

厦门CPD真空泵而日前,一种全新型干式螺杆真空泵由威海智德真空科技有限公司研制成功,用国产车床替代价格昂贵的国外设备生产出螺杆转子,不仅节能30%,还具有设备易损件少、真空度高、抽速大、使用寿命长等特点,可在冶金、电子、石油化工、航空航天等100多个领域替代进口产品  。

厦门辅助真空泵无油干式机械真空泵(又简称干式机械泵)是指泵能从大气压力下开始抽气,又能将被抽气体直接排到大气中去,泵腔内无油或其他工作介质,而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中,2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒,3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求,4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵,5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。

厦门油封式螺杆泵在吸气口处还安装了真空表和调节真空阀门,可根据需要调整泵的入口压力  该泵的z*大特点是可获得清洁的粗真空,适用于真空吸附、真空包装、食品加工、卷烟生产等行业。  XG-6型干式旋片真空泵技术性能见表3-115。  XG-6型干式旋片真空泵外形及安装尺寸见表3-116。。

当电机带动转子转动时,旋片在离心力的作用下贴紧泵腔的内壁在泵体内形成多个空腔,进气口侧的空腔容积,随转子的转动而增加产生真空而吸气;排气口侧的空腔容积随转子的转动而缩小,产生压力而排气。  由于干式旋片泵在无油状态下工作,所以旋片材料需具备自润滑功能。目前,国内外一般采用碳素材料;同时也因其无油,为减少气体的泄漏,该泵采用多个旋片结构。。