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质量好的罗茨真空泵哪家好

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2021-05-08 15:20:32 * 浏览: 19

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厦门佶缔纳士真空泵价格作为独立泵(也见图4.4),它们在低、中真空段中涵盖了广泛的压力范围由于其内部压缩,它们可在0.1至1000hPa整个入口压力范围内以相对低的驱动电力连续进行工作。在与Okta-Line罗茨泵组合使用时,甚至可实现5middot,10-3hPa的极限压力。多级罗茨泵ACP范围内的多级罗茨泵实现了紧凑型泵站,抽速高达285m3middot,h-1。将ACP前级泵与罗茨泵组合使用,可实现z*终压力高达5middot,10-3hPa。。

厦门水封真空泵价格它们是PTFE密封的且由GGG40.3球墨铸铁制成它们符合指令94/9/EC类别3G组IIB温度等级T3X的防爆要求。一般而言,泵的安全操作需要额外的措施和/或部件,如:启动和关闭程序、特殊的前级泵、回火防止器和压力传感器。整个系统的设计和操作必须符合相应的防爆法规。。

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必须使用垂直排气管道防止出口处的背压如有有萃取系统,应将出口与其连接。灰尘和粒子如果没有对大粒子物质的进入进行控制,在z*坏情况下,ACP系列多级罗茨泵可堵塞并彻底失效。为此,在含尘工艺或如玻璃制造中,在进气侧安装过滤器以防止造成破坏。腐蚀性气体ACP系列泵不适合于抽空大量的腐蚀性气体。在这方面多级罗茨泵可用于半导体、太阳能和涂料行业中的腐蚀性气体工艺(见第4.6节)。然而,ACP系列泵至少可用于处理少量的腐蚀性气体。在这种情况下,使用具有惰性气体净化的版本,其中,采用惰性气体幕保护轴承,且过程气体通过在一个泵级中引入惰性气体进行稀释。泄漏率其高气密性能够保证多级罗茨泵的长期使用以及昂贵气体的使用(4He、3He、同位素标记气体)气体回路的z*佳解决方案。轻型气体和高真空多级罗茨泵具有出口阀以防止湿气和氧气扩散回到吸入室,这在腐蚀性气体应用中会导致泵内发生化学反应。如果需要产生真空以防止轻型气体聚集和回流扩散,在应用中,必须定期将该阀打开(如通过气镇)。

  罗茨真空泵不能单独使用,必须配上前级泵组成机组,使用前级真空泵是为了降低罗茨真空泵的排出压力,由于罗茨真空泵的压缩比是有限的,所以选择前级真空泵的抽速是重要的,罗茨真空泵的压缩比是随排出压力而变化的,在高排出压力下,压缩比最多大3:1,而压缩比是在排出压力为1到10mbar之间(1mbar=0.75Torr)可达50:1,甚至更高些  因此,选择前级泵的抽速,要根据罗茨真空泵的长期工作压力范围考虑。  例如有一系统用罗茨真空泵机组抽气,要求在1mbar入口压力时有600升/秒的抽速,并长期工作,问应选择多大抽速的前级泵。  先假定用30升/秒的前级泵时,压缩比K=600:30=20得出K=20时排出压力为30mbar。  由此得出,当选用30升/秒前级泵时,在入口压力低于1.5mbar以下工作是可行的,但高于1.5mbar入口压力工作时就选用大一些前级泵了。该例中,工作真空度1mbar低于1.5mbar,所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。  另外应当考虑的是,对预抽时间的要求问题,如果正常工作时间远比预抽时间长,可选较小的前级泵,假如真空室较大,而且要求很快预抽,就要用较大的前级泵,有时为了更好发挥设备的效率,机组装有较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。  对罗茨真空泵机组的极限压力的要求,也是选择前级泵的必须考虑的,对极限真空度要求较高(达1X10-3Pa~1X10-2Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度要求在(1X10-2Pa~1X10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵,极限真空度要求在133~1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。  当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时,前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4,不能太大,否则将使压缩比过大,造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。  选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质,是否含有可凝性气体,是大量的还是微量的。

还可根据用户需要配置真空测量仪器或仪表整机结构简单、操作方便。本机组可广泛应用于电力工业三大件:变压器、电线电缆、电容器的真空浸渍工艺,真空镀膜,真空冶炼,真空热处理,真空滤油,食品行业冷冻干燥以及含有少量水蒸气或少量可凝性气体、少量粉尘的工艺流程中,对于某些会有较多水分、粉尘的工艺必须配备过滤装置冷凝器等,另外还可增加一台双级水环泵作粗抽,使大量水分、粉尘由水环泵抽除,这样就可延长机组的正常使用寿命,减少前级泵换油次数,降低使用成本,提高生产效率。表9-22给出了机组型号及技术参数。图9-27为抽速曲线,图9-28及图9-29为外形尺寸。。

与P(用于一般工艺)系列泵一样,H系列(用于苛刻工艺)泵配备了温度控制和惰性气体冲洗系统但是,用于优化工艺调节的参数范围比P系列泵更广。该泵系列是基于A203H空运行流程泵。我们已采用了该系列的另外三个型号并辅以罗茨泵用于过程压力范围内提高了的抽速和气体吞吐量。由于使用了特殊材料,这些泵的腐蚀性气体设备使其还可使用强氧化剂,如NF3。该泵广泛的温度范围使其能够适应各种不同的工艺,如低温下的钨沉积或高温下的氮化物沉积。高效的电机产生低压力下的能源节约,并因其高扭矩,在泵停机后提供良好的启动性能。得益于它们相同的接口和相同的介质连接,A3H系列型号可与P系列泵理想兼容。这意味着,如果现有生产设备上发生工艺改变,通过更换泵,使用z*小的安装工作就可获得优化的泵解决方案。使用第三级罗茨辅助A1803H型号,可提供紧凑、极其强大的泵站,具有z*大抽速,适合于CVD工艺。AD73KH在空运行流程泵上采用变频控制的罗茨泵,罗茨泵在其本身的框架内具有额定抽速4500m3middot,h-1。

功率小,运转维护费用低⑥在很宽的压力范围内(1times,10^3Pa~1Pa)有很大的抽速,能迅速排出突然放出的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵在(1times,10^3Pamdash,1Pa)耐抽速都很小的缺陷。因此,它z*适合作增压泵用。  罗茨泵的缺点是泵的转子制造较难,抽除氢气的效果不如油增压泵高。  罗茨泵广泛用于真空冶金工业的真空脱气、真空熔炼、钢水真空处理,以及空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体。也可以用于化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。。