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前e提取系统的组成

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-22 1:14:28 * 浏览: 56
它由溅射离子泵,分子筛吸附泵,机械泵和一些超高真空阀组成。分子筛吸附泵或机械泵为溅射离子泵提供必要的启动压力,并在冷凝泵的初始烘烤阶段充当排气泵。启动溅射离子泵后,系统的真空度可达到10 ^ 7Pa。