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质量好的干式真空泵多少钱

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2021-04-23 18:08:46 * 浏览: 46

厦门Leybold真空泵  XG-6型干式旋片真空泵外形及安装尺寸见表3-116。

干式真空泵哪家好图3-81为干式旋片真空泵的工作原理图  干式旋片泵的转子偏心地置于泵壳内,上端靠近泵壳内,形成进排气口间的密封。当电机带动转子转动时,旋片在离心力的作用下贴紧泵腔的内壁。在泵体内形成多个空腔,进气口侧的空腔容积,随转子的转动而增加产生真空而吸气;排气口侧的空腔容积随转子的转动而缩小,产生压力而排气。  由于干式旋片泵在无油状态下工作,所以旋片材料需具备自润滑功能。目前,国内外一般采用碳素材料;同时也因其无油,为减少气体的泄漏,该泵采用多个旋片结构。。

厦门煤矿真空泵价格干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中,2)半导体刻蚀工艺在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒,3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求,4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵,5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。

厦门医药真空泵多少钱分析结果表明,油封泵的残余气体,主要成分为CnHm(碳氢化合物),而于式泵的残余气体的主要成分为空气,这就证实了用干式泵抽气基本上不被油蒸气污染  有些干式泵在结构设计上(例如泵的传动齿轮和轴承等)仍在使用润滑油,也有用合成油如PFPE油和其它油脂,不过采取一定的措施可使油蒸气在泵腔内几乎不存在。严格来说这种泵不是全无油泵。经分析,这种合成油的成分在泵入口处是微乎其微的,对大多数电子产业来讲并无影响。  干式真空泵按转子接触与否又可分为非接触型(罗茨式、爪式、螺杆式)和接触式(叶片式、凸轮式、活塞式)两类。非接触型的泵可以高速旋转,但z*大压缩比小。接触型的泵转速不能太高,但z*大压缩比大,尤其在大气压附近,因返流变小使后者的压缩比为前者的5倍~8倍。另外,干式真空泵的转速越高,其压缩比越大,因此非接触型干式真空泵的转速多为3000r/min。  各种干式真空泵的极限压力、特点见表3-114。  一般对干式真空泵的要求为:①清洁;②安全;③耐磨;④造价低;⑤维修方便;⑥性能稳定;⑦振动小,噪声低。只有这样,干式真空泵才有使用和推广的价值。

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