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SK系列水环式真空泵(ModelSZWaterRingVacuumPump)主要用于粗真空

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2021-03-26 4:39:04 * 浏览: 34

M系列标准泵适合于Table4.19中显示的所有应用此外,这些泵还可用于抽吸有毒气体的工业/化学应用以及超洁净气体应用:例如,用于半导体行业中的CVD和PVD工艺或排空预真空锁/传输室以及用于平面屏幕的生产。M系统可提供的大小范围从250m3middot,h-1到6000m3middot,h-1。表4.19:OktaLine性能数据。

选择真空泵时,需要知旋片真空泵道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。  3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。  4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。  5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。  6、正确地选择真空泵的工作点。

在泵的进气管路上应安装阀门进行控制,以便在停车时,防止泵内工作液因系统的真空吸力,回流到系统当作为压缩机使用时,若排气管路存在压力,那么在汽水分离器的排气管路上也应安装阀门。      四、调节结构:      水环真空泵是通过装在进气管在进气管路上的阀门来调整真空度和气量。当作为压缩机使用时,可用安装在排气管路上的阀门调节压气装置的压力。当被压缩气体因为其使用条件不允许排出时,应在进气管和排气管之间装有导气管,其直径与阀门直径相同,以便在z*大限度内调节气量与压力。。

另外,由于泵在设计制造及装配中不可避免地存在有害空间,这也降低泵的极限真空度油封式真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零件间密封起来;将有害空间充填,使得高压气体反ldquo,突破的机会少得多,密封性能也就好得多,从而使泵能达到较高的真空度。    油封式真空泵的应用    油封式真空泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种。目前,油封式真空泵是国内真空获得技术中应用z*广的一种泵,它可单独用作低真空设备的排气用泵,也可用作高真空排气时的前级真空泵。真空行业中广泛使用的油封式机械真空泵大多是中、小型的旋片泵和中、大型的滑阀泵。因此,它已在国民经济的很多部门,例如电真空、电子、轻化工、钢铁、有色冶炼等工业部门中发挥着越来越大的作用。由于油封式真空泵均装有气镇装置,故也可以抽除潮湿气体。但现在还不适于抽除含氧过高、有爆炸性、对黑色金属有腐蚀性,对泵密封油起化学作用、及含有颗粒灰尘的气体。    目前,国内的许多研究单位和生产厂家正在设计和生产出抽除水蒸气和耐腐蚀的油封真空泵系列。随着新技术、新材料的发展和应用,性能更好的、能满足各种工业需要的、适应能力强的各种油封式真空泵必将生产出来。。

①Z型系列油扩散喷射泵主要技术性能见表4-16        ②WZ系列卧式扩散喷射泵技术性能见表4-17    该系列卧式扩散喷射泵为新型泵,具有先进的结构和优良的技术性能。主要特点:a.主泵扩散级为立式结构,喷射级为卧式,能量损失小,装拆维修方便。b.采用圆筒卧式油锅,相对方形油锅而言,油锅压力稳定。c.油锅内设有不锈钢快速水冷管,停止加热60min后,通水冷却60min即可关闭前级泵,节能降耗显著。d.设有油标观察装置,可直观地观察油量、油清洁度、油氧化程度,以便及时添加或更换油。e.特殊的前级冷凝结构,使冷凝效果好,前级反压力高。f.泵配有三点测温孔,可对该泵或真空系统实现自动启动和停泵的自动化控制。    ③ZL系列油扩散喷射泵技术性能见表4-18。。

广泛应用于化工,食品,建材等部门,特别是在真空结晶,干燥,过滤,蒸发等工艺过程中更为适宜2X型旋片式真空泵(Model2XSlidingVaneRotaryVacuumPump)用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用,也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。真空泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理,真空干燥等工艺过程中。2XZ型旋片式真空泵(Model2XZSlidingVaneRotaryVacuumPump)具有结构紧凑,体积小,重量轻,噪音低,振动小等优点。所以,它适用于作扩散泵的前级泵,而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如:质谱仪器,冰箱流水线,真空冷冻干燥机等。XD型旋片式真空泵(ModelXDSlidingVaneRotaryVacuumPump)可以在任意入口压强下工作,已普遍应用于食品的真空包装,塑料工业的真空吸塑成形。印刷行业的纸张输送,真空夹具,以及真空吸引等。SZ、SK系列水环式真空泵(ModelSZWaterRingVacuumPump)主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。

2)机组运行正常、真空稳定情况下,高效真空泵组投入运行、原有抽真空设备切除做备用,此时蒸汽和不凝结气体进入罗茨泵,加压后经冷却器冷凝进入下级水环真空泵,由于提高了水环真空泵的入口压力,可保证水环真空泵高效稳定运行(见图1、罗茨——水环真空泵组流程图)3)当机组真空系统发生严重泄漏,高效真空泵不能维持凝汽器真空时将原有抽真空设备期中一组投入运行满足真空要求。4)高效真空泵组在检修或设备故障时,原有抽真空设备投入运行,确保真空要求。目前两台真空泵为一运一备方式,改造后机组正常运行时主要以高效真空泵组维持真空,实现一运两备,设备之间有可靠的联锁控制系统。改造后机组的真空系统耗电量明显降低同时安全可靠性大幅提高。具体方案如下(见图2高效真空泵安装示意图):1)抽气管道安装,真空泵组就位后,从111水环式真空泵抽汽入口手动门前管道采用异径三通(273*159*273mm)接出一路φ159mm管路接入罗茨泵入口,接入罗茨泵前串接一只手动阀(DN150)和速关气动阀(厂家提供)。2)真空泵组水环泵工作水来自原水环式真空泵补水,从111水环式真空泵补水门前接出一路φ32mm管道(材质304),接入自动补水阀进入分离罐,接入补水阀前安装DN25手动阀。3)工作水冷却器冷却水管道安装,由闭冷水至热网密封水管道接出一路φ57mm管道作为冷却器进水,由闭冷水回水母管接出一路φ57mm管道作为冷却器出水,两路管路用DN50手动门作为隔离。4)汽水分离罐排气管道安装,高效真空泵组汽水分离罐排气由一路φ89mm管道接至111水环式真空泵汽水分离罐排气管路上。4.改造后的效果运行参数对比如下:由以上表实测数据表明,在工况近似的情况下,改造后抽真空系统与原抽真空系统相比,均能满足维持凝汽器真空的要求,且改造后抽真空系统能耗水平仅是原有抽真空系统能耗水平的16.8%,即节电率达到近83.2%,每小时折合节约电量1.732×380×183×0.85÷1000≈102kW.h,即每小时节约102度电。按年平均运行6000小时计算每年节约电量61.2万度。

目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。非接触型的干式泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等,其速度较高,适用大容量,低压缩比(指单级压缩比)。不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。。

(2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。(3)粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。(4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。事实上简单的真空系统只是能获得一个粗真空,而想要获得高真空时,通常在真空系统中串联一个高真空泵,比如罗茨泵和螺杆泵等都是获得高真空的泵。当串联一个高真空泵之后,通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门,以便高真空泵能单独保持真空。如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器,通常在油扩散泵的入口加一个捕集器mdash,mdash,水冷障板。根据要求,还可以在管路中加上除尘器、真空继电器规头、真空软连接管道、真空泵入口放气阀,散热器等等,这样就构成了一个较完善的高真空系统。

表9-22给出了机组型号及技术参数图9-27为抽速曲线,图9-28及图9-29为外形尺寸。。