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极高的真空采集系统操作程序

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-01-16 1:22:41 * 浏览: 55
在实验工作中,我们获得了一组最佳的程序来运行系统。 s *首先,对系统进行预处理。郎首先用干燥的氮气冲洗系统,然后进行低真空浸泡。系统烘烤温度为约250℃,时间为约36h。在整个系统烘焙过程中,启动主扩散泵上的氟利昂挡板,并对升华钛泵和测量仪进行彻底脱气。在烘烤过程中,当系统压力降至10 ^ -4Pa时,钛泵和调节器会间歇性脱气,直到系统完全冷却。当泵系统的压力降至10 ^ -9Pa时,脱气停止。系统的冷冻过程必须根据从高压到低压的过程进行,并且在z *之后将极高的真空室冷冻。在冷冻过程中,应注意防止冷漏的发生。首先应启动冷冻的钛升华阱,然后启动冷冻的钛升华泵,以形成分子沉降环境。两者的加热功率分别为1400W和600W。每个工作时间为10分钟。工作大约3mdash,4倍就足够了。应注意消除钛蒸发过程中钛膜脱附的甲烷气体,否则不易获得较低的压力。