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所谓绝对压力是指真空泵与检测容器相连经过足够时间连续抽气后容器内的压力不再继续下降而维持某一定值

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2021-03-06 3:08:30 * 浏览: 36

(5)当抽取氧气的浓度大于空气中氧气的含量,由于氧化和工作液老化的原因,不能使用矿物油在这种情况下,必须使用经过BAM认证适合于氧气的特殊用油。此时,请注意,在泵的工作温度下,所使用的工作液具有非常低的蒸汽压力,因此在总压力(油液的蒸汽压力)的限制下,可实现所需的极限压力。3、标注进气口和排气管道的尺寸(1)进气口和排气口的公称直径是由生产商根据真空泵的泵速进行设计的。因此,进气管道与真空泵的公称直径是否符合至关重要,否则由于电导损耗,尤其是在分子流范围内的电导损耗会导致泵速严重下降。排气管道也要与泵的公称直径相一致,否侧公称尺寸过小或气体流量过大都会导致不可接受的背压,这给真空泵带来持续的机械压力,并导致泵的磨损和故障增加。另外,噪音水平也会显著上升。(2)如果排气管道向上延伸,那么其点处应形成虹吸管一样的形状,这样管道中上升的冷凝蒸汽就不会重新流回到泵体内。虹吸管可以通过底部出口清空。另外,在排气管道中,冷凝分离器可以安装在泵喷头上方20-50cm米处,这样也可以对冷凝液进行收集。我们不建议将过滤器直接安装在真空泵的排气管道上,因为直接相连,泵体的热量就会传递到冷凝器上,导致冷凝效果降低。

对于抽速在高压下的下降也有着类似的原因,因为在这种情况下,气体通过内部压缩被压缩到压力超过气压,且回流因高压差而显著增加与泵一起的标准设备包括:入口滤网、带恒温阀和温计的水流冷却、消声器,带止回阀和带减震器的框架式设计。该泵由适合于50和60Hz(3000或3600rpm)的三相、温度监控异步电动机驱动。配件灰尘分离器(SAS)可用作螺杆泵的配件。可提供各种类型,以适合于泵上的连接法兰。D1类型二酯油用作工作液。。

(2)抽速为300L/s的带旁通阀罗茨真空泵,标记为:ZJP-3002.罗茨泵基本参数应符合表3-81规定。。

因此,选择微型真空泵时需要认真考虑真空度指标、抽气速率指标、自己的使用情况等,这样才能z*好地兼顾使用性能和成本高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件,因此它对工作环境的清洁条件、温度参数、介质成分等均有更高的要求。振动和噪音。泵的抽气速率和真空度越高,振动和噪音也越大。二、真空度单位的解释对于真空度的标识通常有两种方法,一是用绝对压力(即:绝对真空度)标识,二是用相对压力(即:相对真空度)标识。所谓绝对压力是指,真空泵与检测容器相连,经过足够时间连续抽气后,容器内的压力不再继续下降而维持某一定值,这时容器内的气体压力值就是泵的绝对压力。如果容器内绝对没有气体,那么绝对压力就是零,这是理论真空状态。在实际情况中,真空泵的绝对压力值介于0~101.325KPa之间。绝对压力值需要用绝对压力仪表测量,在20℃、海拔高度=0的地方,仪表的初始值为101.325KPa。相对真空度是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值。用普通真空表测量。

⑥在很宽的压力范围内(1times,10^3Pa~1Pa)有很大的抽速,能迅速排出突然放出的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵在(1times,10^3Pamdash,1Pa)耐抽速都很小的缺陷因此,它z*适合作增压泵用。  罗茨泵的缺点是泵的转子制造较难,抽除氢气的效果不如油增压泵高。  罗茨泵广泛用于真空冶金工业的真空脱气、真空熔炼、钢水真空处理,以及空间模拟、低密度风洞等装置中抽除非腐蚀性气体。也可以用于化工、食品、医药、电机制造等工业的蒸馏、蒸发、干燥等生产过程。。

本标准规定了抽速为30L/smdash,5000L/s的罗茨真空泵机组的型式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存    本标准适用于以罗茨真空泵为主泵或主泵和中间泵,以滑阀真空泵、旋片真空泵、液(水、油)环真空泵为前级泵所组成的二级或三级罗茨真空泵机组(以下简称机组)o。

当代真空技术在半导体工业、电子工业、薄膜制备等工艺过程中的应用,迫切要求无油蒸气污染的清洁真空此外在这些制造工艺中,被抽气体往往有腐蚀性蒸气或固体颗粒,严重影响油封泵的使用寿命。因此,近年来世界各国相继研制出工作在10^5Pamdash,0.1Pa区域内的干式真空泵,以满足对无油排气工艺的要求。  干式真空泵至今没有明确定义,就代替油封式机械泵而言,一般通用的说法是:能在10^5Pa(1大气压)mdash,10^-2Pa的压力范围内工作;在泵腔内不使用任何油类和液体,排气口与大气相通,能直接向大气排气的泵称为干式兵空泵,又称无油真空泵。  干式真空泵种类很多,按工作原理可分为两类:①容积式干式真空泵,例如:多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵和涡旋式泵等,这种干式泵的极限压力一般为0.1Pamdash,10Pa,抽速为0.01msup3,/smdash,0.04msup3,/s。②动量传递式干式真空泵,例如:涡轮式干泵。排气侧与大气相接,在粘滞流状态下压缩比较高。可从10^5Pa(1大气压)抽到10^-2Pa在结构上采用径向流和轴向流复合式结构,多级串联。这种涡轮式干泵的极限压力约为10^-2Pa,抽速为0.02msup3,/smdash,0.15msup3,/s牵引型干泵也属于动量传输式干式泵。  这些干式泵和油封式机械泵相比,在各自的极限压力条件下,其残余气体成分全然不同。分析结果表明,油封泵的残余气体,主要成分为CnHm(碳氢化合物),而于式泵的残余气体的主要成分为空气,这就证实了用干式泵抽气基本上不被油蒸气污染。

M系列可用于对密封有z*严格要求且要求z*长维修间隔的工艺该系列的大部分与标准系列相同,但是,其特点是额外的严密密封的磁耦合代替了径向轴密封环。这意味着,它在操作中基本无磨损。泵的整体泄漏率小于1middot,10-6Pamiddot,m3middot,s-1。这排除了油泄漏的可能性,过程气体和环境之间也不存在任何交换。M系列标准泵适合于Table4.19中显示的所有应用。此外,这些泵还可用于抽吸有毒气体的工业/化学应用以及超洁净气体应用:例如,用于半导体行业中的CVD和PVD工艺或排空预真空锁/传输室以及用于平面屏幕的生产。M系统可提供的大小范围从250m3middot,h-1到6000m3middot,h-1。表4.19:OktaLine性能数据。

使用这些类型的泵站,可抽出水蒸气以及很多溶剂蒸汽和气体具有足够高蒸气压且没有化学分解泵油的其他蒸汽其中的例子包括醇类、卤代烃类以及光的正构烷烃等。。

一个轴由电机(1)驱动另一轴通过齿轮室中的一对齿轮(6)同步进行。润滑仅限于两个轴承和齿轮室,它们通过具有压缩环的迷宫密封(5)与吸入室(8)密封开来。由于吸入室中无摩擦,罗茨真空泵可在高转速(1500ndash,3000rpm)下操作。无往复运动质量还能提供无故障的动态平衡,这意味着,罗茨真空泵的运转极其安静,尽管其具有高转速。设计转子轴轴承安排在两个侧盖中。它们在一侧被设计为固定轴承,在另一侧被设计为可动(松动)轴承,以实现壳体和转子之间不平衡热膨胀。轴承使用通过飞溅圆盘置换到轴承和齿轮的油进行润滑。标准版本上驱动轴馈通与外部通过浸入在密封油中、由FPM制成的径向轴密封环密封。为保护轴,密封环在保护套上运行,该保护套在磨损后可更换。如果与外部之间需要进行严密密封,泵还可通过带有罐装置的永磁体耦合方式驱动。