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该厂生产的罗茨真空泵机组包括7个系列:①罗茨泵一滑阀泵机组②气冷式罗茨泵一罗茨泵直排机组③气冷式罗茨...

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2020-11-12 0:18:51 * 浏览: 4

结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;    5、压缩比较低,对氢气抽气效果差;    6、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难罗茨真空泵近几年在国内外得到较快的发展。在冶炼、石油化工、电工、电子等行业得到了广泛的应用。。

该厂生产的罗茨真空泵机组包括7个系列:①罗茨泵一滑阀泵机组,②气冷式罗茨泵一罗茨泵直排机组,③气冷式罗茨泵一滑阀泵机组,④气冷式罗茨泵一往复泵机组,⑤罗茨泵一水环泵机组,⑥罗茨一水环一大气泵机组,⑦罗茨泵一油环泵机组图9-25为JZPS300-21P机组抽速曲线。表9-15~表9-21为罗茨泵机组型号及技术参数。

由泵的连续运转,达到连续抽气的目的如果排出的气体通过气道而转入另一级(低真空级),由低真空级抽走,再经低真空级压缩后排至大气中,即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担,因而提高了极限真空度。旋片式真空泵的作用:1、旋片式真空泵是用以抽除特定密封容器内的气体,使该容器取得肯定真空的基本装备,因为现代科学技巧的高度开展,真空泵的运用普及各个科学范畴和各种企业事业单位,可供冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织等科研机关、大专院校、工矿企业作科研和消费与教学之用。2、因为旋片式真空泵是用彩色金属制作,而且对比精细,全部泵的任务都是联络在一起的,所以旋片式真空泵不实用于抽除含氧过高的、有毒的、有爆炸性的浸蚀彩色金属的和对真空油起化学作用的各种气体,也不可做为收缩机和保送泵运用。如有气镇安装的泵,可抽除肯定地的可凝汽体。3、旋片式真空泵能够用来间接取得真空度在10~3托以下的真空作业,以及配合其它真空作业之用。4、旋片式真空泵个别在不低于5℃的室温及不高于90%的绝对温度的环境内运用。旋片式真空泵的注意事项:1、使用旋片式真空泵前,按油标指示刻度加入真空泵油。旋转三通阀,使泵的吸气管与大气相通,而与被抽空容器隔绝,打开排气口。2、用手转动皮带轮,检查运转情况,无异常情况后,再接通电源,注意转动方向。

目前,真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质,在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大,原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题:一是泵的工作介质返流污染被抽容器,而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量,增加设备的维护成本。其次,由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质,使泵不能正常工作。对于普通的无油真空系统来说,虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流,但不能彻底解决问题,而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械真空泵,则可以达到理想的使用效果。干式机械真空泵的应用是广泛的,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中,2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒,3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求,4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵,5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。近年来,干式机械真空泵得到迅速的发展,国外多家大真空公司都研制出了新型的干式械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作,如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前,干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等,这类泵的速度较低,适用于小容量高压缩比(单级压缩比)。

由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器,其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子,从而使压缩热得平衡,所以这种泵可以直排大气为了满足不同极限真空度的要求,这种泵可以串联使用,一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵,所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质,实际上也是属于干泵。目前,这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡。5、分子泵分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。6、干泵国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。

8、如隔膜真空泵口安装电磁阀时,阀与隔膜真空泵应同时动作9、当隔膜真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。隔膜真空泵用途特点为蒸发、蒸馏、结晶、干燥、升华、过滤减压、脱气提供真空条件,以及溶媒回收、各种剧毒、强酸、强碱抽取。1.无需任何工作介质,工作部位无摩擦。2.真空稳定,易于控制真空度,可根据实验需要调节。3.所有与气体接触的部位都用Teflon(PTFE)表面处理,有完全的抗化学腐蚀能力。4.阀片采用进口材料。5.专用电机由知名电机制造商ODM、合理的传动设计、自冷却排风系统,可长期连续运转。6.体积小,重量轻,移动方便,节省实验室空间。7.方便维修和保养。隔膜真空泵隔膜真空泵隔膜真空泵的安装说明_隔膜真空泵。

    ③出厂检验:    检验项目见[4.技术要求⑤、⑦、⑧、⑨、⑩和⑩]各条款其中第⑤条按ZBJ78013的规定进行检测,其余各条用目测方法检查。    ④型式检验:    检验项目除按出厂检验项目检查外,还应检查第4中的第⑥条,检测方法按ZBJ78013的规定。    ⑤有下列情况之一时,应进行型式检验:    a.新产品试制定型鉴定,    b.正式生产后,当结构、材料、工艺有较大改变,可能影响产品性能时,    c.正常生产并形成一定批量时,每年抽检1台~2台,    d.产品长期停产后,恢复生产时,    e.国家质量监督机构提出进行型式检验时。。

  三、合理选用罗茨泵的转数  在罗茨泵的运用中必需按实践需求调整其转数显然转数的进步可增加理论排气量使容积效率上升出力明显增加但是由此而来的噪音的增加将恶化操作环境。消费中必需以增加转数来进步泵的才能时应在车间噪音允许的范围内调整。通常不采用进步转数的作法。由于泵的抽速高于额定运用值时除了用旁路阀门停止调整外还应降低转速减少无功功耗。这样对设备自身来说能够减少毛病减轻振动增加功率储藏进步过载才能同时改善操作环境降低噪音。  四、罗茨真空泵的串联运用  在消费中常常会由于泵的出力达不到请求而将两台泵串联起来运用。普通罗茨泵的高效率工作区为-300~-400mmHg柱之间要到达-500mmHg柱以上单台泵的真空度较难完成因而可运用两台泵串联。顺应这种工艺所采用的串联方式应使放在前面的泵起预抽作用后面的泵的抽速必需大于前吸泵的1.5~2倍。这样才干发挥应有的效能。  国外的罗茨泵串联不只运用同类型的才能大小不同的两泵而且也常采用不同型号的两泵依然是使前吸泵容量小后吸泵容量大设计成同轴传动这样同轴补偿两泵电流变化幅度小操作便当。

图3-81为干式旋片真空泵的工作原理图  干式旋片泵的转子偏心地置于泵壳内,上端靠近泵壳内,形成进排气口间的密封。当电机带动转子转动时,旋片在离心力的作用下贴紧泵腔的内壁。在泵体内形成多个空腔,进气口侧的空腔容积,随转子的转动而增加产生真空而吸气;排气口侧的空腔容积随转子的转动而缩小,产生压力而排气。  由于干式旋片泵在无油状态下工作,所以旋片材料需具备自润滑功能。目前,国内外一般采用碳素材料;同时也因其无油,为减少气体的泄漏,该泵采用多个旋片结构。。

其工作原理类似于具有双齿齿轮的齿轮泵,该泵从将气体从入口(3)泵送到出口(12)一个轴由电机(1)驱动。另一轴通过齿轮室中的一对齿轮(6)同步进行。润滑仅限于两个轴承和齿轮室,它们通过具有压缩环的迷宫密封(5)与吸入室(8)密封开来。由于吸入室中无摩擦,罗茨真空泵可在高转速(1500ndash,3000rpm)下操作。无往复运动质量还能提供无故障的动态平衡,这意味着,罗茨真空泵的运转极其安静,尽管其具有高转速。设计转子轴轴承安排在两个侧盖中。它们在一侧被设计为固定轴承,在另一侧被设计为可动(松动)轴承,以实现壳体和转子之间不平衡热膨胀。轴承使用通过飞溅圆盘置换到轴承和齿轮的油进行润滑。标准版本上驱动轴馈通与外部通过浸入在密封油中、由FPM制成的径向轴密封环密封。为保护轴,密封环在保护套上运行,该保护套在磨损后可更换。